熱紅外顯微鏡是半導體失效分析與缺陷定位的三大主流手段之一(EMMI、THERMAL、OBIRCH),通過捕捉故障點產生的異常熱輻射,實現(xiàn)精細定位。存在缺陷或性能退化的器件通常表現(xiàn)為局部功耗異常,導致微區(qū)溫度升高。顯微熱分布測試系統(tǒng)結合熱點鎖定技術,能夠高效識別這些區(qū)域。熱點鎖定是一種動態(tài)紅外熱成像方法,通過調節(jié)電壓提升分辨率與靈敏度,并借助算法優(yōu)化信噪比。在集成電路(IC)分析中,該技術廣泛應用于定位短路、ESD損傷、缺陷晶體管、二極管失效及閂鎖問題等關鍵故障。鎖相熱成像系統(tǒng)讓電激勵下的缺陷無所遁形。廠家鎖相紅外熱成像系統(tǒng)功能
鎖相熱成像系統(tǒng)是一種將光學成像技術與鎖相技術深度融合的先進無損檢測設備,其工作原理頗具科學性。它首先通過特定的周期性熱源對被測物體進行激勵,這種激勵可以是光、電、聲等多種形式,隨后利用高靈敏度的紅外相機持續(xù)捕捉物體表面因熱激勵產生的溫度場變化。關鍵在于,系統(tǒng)能夠借助鎖相技術從繁雜的背景噪聲中提取出與熱源頻率相同的信號,這一過程如同在嘈雜的環(huán)境中捕捉到特定頻率的聲音,極大地提升了檢測的靈敏度。即便是物體內部微小的缺陷,如材料中的細微裂紋、分層等,也能被清晰識別。憑借這一特性,它在材料科學領域可用于研究材料的熱性能和結構完整性,在電子工業(yè)中能檢測電子元件的潛在故障,應用場景十分重要。非破壞性分析鎖相紅外熱成像系統(tǒng)方案電激勵模塊是通過源表向被測物體施加周期性方波電信號,通過焦耳效應使物體產生周期性的溫度波動。
在當今科技飛速發(fā)展的時代,電子設備的性能與可靠性至關重要。從微小的芯片到復雜的電路板,任何一個環(huán)節(jié)出現(xiàn)故障都可能導致整個系統(tǒng)的崩潰。在這樣的背景下,蘇州致晟光電科技有限公司自主研發(fā)的實時瞬態(tài)鎖相熱分析系統(tǒng)(RTTLIT)應運而生,猶如一顆璀璨的明星,為電子行業(yè)的失效分析領域帶來了全新的解決方案。
致晟光電成立于 2024 年,總部位于江蘇蘇州,公司秉持著 “需求為本、科技創(chuàng)新” 的理念,專注于電子產品失效分析儀器設備的研發(fā)與制造。
OBIRCH與EMMI技術在集成電路失效分析領域中扮演著互補的角色,其主要差異體現(xiàn)在檢測原理及應用領域。具體而言,EMMI技術通過光子檢測手段來精確定位漏電或發(fā)光故障點,而OBIRCH技術則依賴于激光誘導電阻變化來識別短路或阻值異常區(qū)域。這兩種技術通常被整合于同一檢測系統(tǒng)(即PEM系統(tǒng))中,其中EMMI技術在探測光子發(fā)射類缺陷,如漏電流方面表現(xiàn)出色,而OBIRCH技術則對金屬層遮蔽下的短路現(xiàn)象具有更高的敏感度。例如,EMMI技術能夠有效檢測未開封芯片中的失效點,而OBIRCH技術則能有效解決低阻抗(<10 ohm)短路問題。鎖相熱成像系統(tǒng)提升電激勵檢測的缺陷識別率。
RTTLIT 系統(tǒng)采用了先進的鎖相熱成像(Lock-In Thermography)技術,這是一種通過調制電信號來大幅提升特征分辨率與檢測靈敏度的創(chuàng)新方法。在傳統(tǒng)的熱成像檢測中,由于背景噪聲和熱擴散等因素的影響,往往難以精確檢測到微小的熱異常。而鎖相熱成像技術通過對目標物體施加特定頻率的電激勵,使目標物體產生與激勵頻率相同的熱響應,然后通過鎖相放大器對熱響應信號進行解調,只提取與激勵頻率相關的熱信號,從而有效地抑制了背景噪聲,極大地提高了檢測的靈敏度和分辨率。 電激勵強度可控,保護鎖相熱成像系統(tǒng)檢測元件。半導體鎖相紅外熱成像系統(tǒng)型號
鎖相熱成像系統(tǒng)放大電激勵下的微小溫度差異。廠家鎖相紅外熱成像系統(tǒng)功能
鎖相頻率越高,得到的空間分辨率則越高。然而,對于鎖相紅外熱成像系統(tǒng)來說,較高的頻率往往會降低待檢測的熱發(fā)射。這是許多 LIT系統(tǒng)的限制。RTTLIT系統(tǒng)通過提供一個獨特的系統(tǒng)架構克服了這一限制,在該架構中,可以在"無限"的時間內累積更高頻率的 LIT 數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)采集持續(xù)延長,數(shù)據(jù)分辨率提高。系統(tǒng)采集數(shù)據(jù)的時間越長,靈敏度越高。當試圖以極低的功率級采集數(shù)據(jù)或必須從弱故障模式中采集數(shù)據(jù)時,鎖相紅外熱成像RTTLIT系統(tǒng)的這一特點尤其有價值。廠家鎖相紅外熱成像系統(tǒng)功能