參照附圖說明應(yīng)用了本說明書所公開的電子元件安裝方法及電子元件安裝機(jī)的各實(shí)施方式。首先,參照?qǐng)D1來說明實(shí)施方式中的電子元件安裝機(jī)1(以下稱為“元件安裝機(jī)1”)的結(jié)構(gòu)。如圖1所示,元件安裝機(jī)1主要具備:基板輸送裝置10、元件供給裝置20、元件移載裝置30、元件相機(jī)41、基板相機(jī)42及控制裝置100(參照?qǐng)D3)。另外,以下,將元件安裝機(jī)1的左右方向定義為x軸方向,將前后方向定義為y軸方向,將鉛垂方向定義為z軸方向?;遢斔脱b置10由沿著x軸方向架設(shè)的一對(duì)帶式輸送機(jī)11等構(gòu)成?;遢斔脱b置10將搬入的電路基板k向x軸方向依次輸送,并對(duì)被輸送至預(yù)定位置的電路基板k進(jìn)行定位。另外,基板輸送裝置10在電子元件p(以下稱為“元件p”)對(duì)于被定位的電路基板k的安裝處理結(jié)束時(shí),將電路基板k向元件安裝機(jī)1的機(jī)外搬出。元件供給裝置20供給向電路基板k安裝的元件p。元件供給裝置20具備沿著x軸方向排列的多個(gè)插槽21。此外,元件供給裝置20具備以可更換的方式分別安設(shè)于多個(gè)插槽21的多個(gè)供料器22。供料器22使卷繞于卷軸23的載帶進(jìn)行進(jìn)給移動(dòng),將收納于載帶的元件p向設(shè)于供料器22的前端側(cè)(圖1右上側(cè))的元件供給位置供給。元件移載裝置30拾取由元件供給裝置20供給的元件p。電子料回收,就選上海海谷電子有限公司有限公司,用戶的信賴之選,有想法可以來我司咨詢!貴州專業(yè)電子料回收市場
基于上述分度角度信息和上述準(zhǔn)備拍攝部進(jìn)行拍攝時(shí)的上述旋轉(zhuǎn)頭的多個(gè)分度角度,而從多個(gè)上述準(zhǔn)備位置信息之中提取特定位置信息;元件拍攝部,在使上述旋轉(zhuǎn)頭的分度角度與上述特定位置信息中的上述旋轉(zhuǎn)頭的分度角度一致的狀態(tài)下,使上述多個(gè)元件保持部全部收于上述視野內(nèi),而拍攝保持于上述多個(gè)元件保持部的上述電子元件;及測定部,測定根據(jù)上述特定位置信息而識(shí)別出的上述多個(gè)元件保持部的位置與根據(jù)通過上述元件拍攝部的拍攝而得到的元件圖像而識(shí)別出的上述電子元件的位置之間的位置偏差量。發(fā)明效果本公開的電子元件安裝方法在提取工序中從多個(gè)準(zhǔn)備位置信息之中提取特定位置信息,在元件保持工序中,在使旋轉(zhuǎn)頭的分度角度與和特定位置信息對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)頭的分度角度一致的狀態(tài)下,拍攝保持于多個(gè)元件保持部的電子元件。在該情況下,與準(zhǔn)備位置信息為一個(gè)的情況相比,電子元件安裝方法能夠減小從元件供給位置至到達(dá)元件相機(jī)的拍攝位置為止所需的旋轉(zhuǎn)頭的旋轉(zhuǎn)量。由此,電子元件安裝方法能夠在從安裝頭到達(dá)元件相機(jī)的拍攝位置至開始基于元件相機(jī)的拍攝為止的期間產(chǎn)生待機(jī)時(shí)間,因此能夠高效地進(jìn)行電子元件的安裝作業(yè)。另外,根據(jù)本公開的電子元件安裝機(jī)。四川廢舊電子料回收多少錢上海海谷電子有限公司有限公司是一家專業(yè)提供 電子料回收的公司,有想法的可以來電咨詢!
有機(jī)物濃度)理想的是20ppb以下,且理想的是進(jìn)行了脫氣處理。另外,通過提高液浸液的折射率,而可提高微影性能。就此種觀點(diǎn)而言,可將如提高折射率的添加劑添加至水中、或使用重水(d2o)來代替水。在溫度23±3℃、濕度45±5%下,使用本發(fā)明中的感光化射線性或感放射線性樹脂組合物所形成的抗蝕劑膜的后退接觸角為70°以上,適合于經(jīng)由液浸介質(zhì)進(jìn)行曝光的情況,抗蝕劑膜的后退接觸角推薦為75°以上,更推薦為75°~85°。若上述后退接觸角過小,則無法適宜地用于經(jīng)由液浸介質(zhì)進(jìn)行曝光的情況,且無法充分地發(fā)揮減少水痕(水印)缺陷的效果。為了實(shí)現(xiàn)推薦的后退接觸角,推薦為在上述感光化射線性或感放射線性組合物中含有后述的疏水性樹脂(d)?;蛘?,也可在抗蝕劑膜上形成由疏水性的樹脂組合物所形成的涂布層(所謂的“頂涂層”),由此提升后退接觸角。在液浸曝光步驟中,需要液浸液追隨曝光頭高速地在晶片上進(jìn)行掃描并形成曝光圖案的動(dòng)作而在晶片上移動(dòng),因此,動(dòng)態(tài)的狀態(tài)下的液浸液對(duì)于抗蝕劑膜的接觸角變得重要,而對(duì)抗蝕劑要求液滴不會(huì)殘存、且追隨曝光頭的高速的掃描的性能。作為步驟(6)中的有機(jī)系顯影液。
準(zhǔn)備拍攝部132以旋轉(zhuǎn)頭33的全部分度角度來進(jìn)行安裝頭32的拍攝。與此相對(duì),在第二實(shí)施方式中,準(zhǔn)備拍攝部132以旋轉(zhuǎn)頭33的全部分度角度中的一部分分度角度來進(jìn)行拍攝。另外,對(duì)與上述實(shí)施方式相同的元件標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記,并省略其說明。2-1.準(zhǔn)備拍攝處理首先,說明第二實(shí)施方式中的準(zhǔn)備拍攝處理。在本實(shí)施方式中,準(zhǔn)備拍攝部132對(duì)于分度至旋轉(zhuǎn)頭33的八個(gè)模式的分度角度中的兩個(gè)模式的分度角度的安裝頭32進(jìn)行基于元件相機(jī)41的拍攝。具體而言,實(shí)施方式的準(zhǔn)備拍攝處理(s1)在s15的處理中使旋轉(zhuǎn)頭33旋轉(zhuǎn)45度,與此相對(duì),第二實(shí)施方式的準(zhǔn)備拍攝處理在相當(dāng)于s15的處理的處理中使旋轉(zhuǎn)頭33旋轉(zhuǎn)180度。由此,在第二實(shí)施方式的準(zhǔn)備拍攝處理中,在存儲(chǔ)裝置110中存儲(chǔ)有基于旋轉(zhuǎn)頭33的分度角度被設(shè)定為0度及180度的準(zhǔn)備圖像g1、g5而掌握的兩個(gè)模式的準(zhǔn)備位置信息。2-2.元件保持狀態(tài)確認(rèn)處理2接著,參照?qǐng)D10所示的流程圖來說明由控制裝置100執(zhí)行的元件保持狀態(tài)確認(rèn)處理2。元件保持狀態(tài)確認(rèn)處理2是取代在實(shí)施方式中說明的元件安裝處理中執(zhí)行的元件保持狀態(tài)確認(rèn)處理(s3)而執(zhí)行的處理。如圖10所示,元件保持狀態(tài)確認(rèn)處理2取得在拾取處理中拾取應(yīng)拾取的后的元件p時(shí)的旋轉(zhuǎn)頭33的分度角度。上海海谷電子有限公司有限公司為您提供 電子料回收,期待為您服務(wù)!
吸嘴座34的從r軸線方向觀察時(shí)的周向位置與從z軸滑動(dòng)件91a、91b的從r軸線方向觀察時(shí)的周向位置一致,卡合片36插入到一對(duì)夾持部95a、95b之間。并且,z軸驅(qū)動(dòng)裝置90a及第二z軸驅(qū)動(dòng)裝置90b在卡合片36插入到一對(duì)夾持部95a、95b之間的狀態(tài)下使z軸滑動(dòng)件91a、91b下降。由此,卡合片36被卡合的夾持部95a、95b按下,吸嘴座34隨著z軸滑動(dòng)件91a、91b的下降而下降。這樣,安裝頭32在將旋轉(zhuǎn)頭33分度至分度角度的狀態(tài)下通過作為升降裝置的z軸驅(qū)動(dòng)裝置90a及第二z軸驅(qū)動(dòng)裝置90b而使配置于升降位置的吸嘴座34及元件保持部35進(jìn)行升降,由此進(jìn)行元件p的拾取及安裝。1-3.關(guān)于控制裝置100接著,參照?qǐng)D3來說明控制裝置100。如圖3所示,控制裝置100主要由cpu和各種存儲(chǔ)器等構(gòu)成。控制裝置100具備:存儲(chǔ)裝置110、安裝控制部120、圖像處理裝置130及輸入輸出接口140。這些存儲(chǔ)裝置110、安裝控制部120、圖像處理裝置130及輸入輸出接口140經(jīng)由總線150而相互連接。來自xy機(jī)器人31的各種馬達(dá)的檢測信號(hào)、來自安裝頭32的各種馬達(dá)和各種傳感器的檢測信號(hào)、來自元件相機(jī)41及基板相機(jī)42的圖像信號(hào)等經(jīng)由輸入輸出接口140而向控制裝置100輸入。另外。上海海谷電子有限公司有限公司致力于提供電子料回收,歡迎新老客戶來電!湖北IC電子料回收價(jià)格
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并將拾取到的元件向定位好的基板k安裝。元件保持裝置30主要具備頭驅(qū)動(dòng)裝置31、移動(dòng)臺(tái)32和安裝頭33。頭驅(qū)動(dòng)裝置31構(gòu)成為通過直動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠使移動(dòng)臺(tái)32在x軸方向及y軸方向上移動(dòng)。安裝頭33相對(duì)于移動(dòng)臺(tái)32能夠拆裝地設(shè)置,并構(gòu)成為能夠保持供給至供給位置的元件。此外,針對(duì)安裝頭33的詳細(xì)結(jié)構(gòu)將后述。元件相機(jī)41及基板相機(jī)42是具有ccd(chargecoupleddevice:電荷耦合器件)、cmos(complementarymetaloxidesemiconductor:互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體)等拍攝元件的數(shù)字式拍攝裝置。元件相機(jī)41及基板相機(jī)42基于以能夠通信的方式連接的控制裝置100的控制信號(hào)進(jìn)行納入相機(jī)視場的范圍的拍攝,并將通過該拍攝獲取到的圖像數(shù)據(jù)向控制裝置100發(fā)送。元件相機(jī)41以使光軸成為z軸方向的方式固定于元件安裝機(jī)1的基臺(tái),并從下方拍攝由安裝頭33保持的元件?;逑鄼C(jī)42以使光軸成為z軸方向的方式固定于移動(dòng)臺(tái)32,并從上方拍攝基板k??刂蒲b置100主要由cpu、各種存儲(chǔ)器、控制電路構(gòu)成??刂蒲b置100基于用于使元件安裝機(jī)1動(dòng)作的控制程序、通過元件相機(jī)41及基板相機(jī)42的拍攝而獲取到的圖像數(shù)據(jù),進(jìn)行用于實(shí)施元件相對(duì)于基板k的安裝處理的控制。1-2:安裝頭33的結(jié)構(gòu)接下來,對(duì)安裝頭33的詳細(xì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。貴州專業(yè)電子料回收市場
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