中山負(fù)性光刻膠感光膠

來(lái)源： 發(fā)布時(shí)間：2025-07-09

定義與特性

負(fù)性光刻膠是一種在曝光后，未曝光區(qū)域會(huì)溶解于顯影液的光敏材料，形成與掩膜版（Mask）圖案相反的圖形。與正性光刻膠相比，其主要特點(diǎn)是耐蝕刻性強(qiáng)、工藝簡(jiǎn)單、成本低，但分辨率較低（通常≥1μm），主要應(yīng)用于對(duì)精度要求相對(duì)較低、需要厚膠或高耐腐蝕性的場(chǎng)景。

化學(xué)組成與工作原理

 主要成分

 基體樹脂：

? 早期以聚異戊二烯橡膠（天然或合成）為主，目前常用環(huán)化橡膠（Cyclized Rubber）或聚乙烯醇肉桂酸酯，提供膠膜的機(jī)械強(qiáng)度和耐蝕刻性。

 光敏劑：

? 主要為雙疊氮化合物（如雙疊氮芪）或重氮醌類衍生物，占比約5%-10%，吸收紫外光后引發(fā)交聯(lián)反應(yīng)。

 交聯(lián)劑：

? 如六亞甲基四胺（烏洛托品），在曝光后與樹脂發(fā)生交聯(lián)，形成不溶性網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。

 溶劑：

? 多為有機(jī)溶劑（如二甲苯、環(huán)己酮），溶解樹脂和光敏劑，涂布后揮發(fā)形成均勻膠膜。

 工作原理

 曝光前：光敏劑和交聯(lián)劑均勻分散在樹脂中，膠膜可溶于顯影液（有機(jī)溶劑）。

 曝光時(shí)：

? 光敏劑吸收紫外光（G線436nm為主）后產(chǎn)生活性自由基，引發(fā)交聯(lián)劑與樹脂分子間的共價(jià)鍵交聯(lián)，使曝光區(qū)域形成不溶于顯影液的三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。

 顯影后：

? 未曝光區(qū)域的樹脂因未交聯(lián)，被顯影液溶解去除，曝光區(qū)域保留，形成負(fù)性圖案（與掩膜版相反）。
廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司專注半導(dǎo)體材料研發(fā)，生產(chǎn)光刻膠等產(chǎn)品。中山負(fù)性光刻膠感光膠

中山負(fù)性光刻膠感光膠,光刻膠

技術(shù)研發(fā)：從配方到工藝的經(jīng)驗(yàn)壁壘

 配方設(shè)計(jì)的“黑箱效應(yīng)”
光刻膠配方涉及成百上千種成分的排列組合，需通過(guò)數(shù)萬(wàn)次實(shí)驗(yàn)優(yōu)化。例如，ArF光刻膠需在193nm波長(zhǎng)下實(shí)現(xiàn)0.1μm分辨率，其光酸產(chǎn)率、熱穩(wěn)定性等參數(shù)需精確匹配光刻機(jī)性能。日本企業(yè)通過(guò)數(shù)十年積累形成的配方數(shù)據(jù)庫(kù)，國(guó)內(nèi)企業(yè)短期內(nèi)難以突破。

 工藝控制的極限挑戰(zhàn)
光刻膠生產(chǎn)需在百級(jí)超凈車間進(jìn)行，金屬離子含量需控制在1ppb以下。國(guó)內(nèi)企業(yè)在“吸附—重結(jié)晶—過(guò)濾—干燥”耦合工藝上存在技術(shù)短板，導(dǎo)致產(chǎn)品批次一致性差。例如，恒坤新材的KrF光刻膠雖通過(guò)12英寸產(chǎn)線驗(yàn)證，但量產(chǎn)良率較日本同類型產(chǎn)品低約15%。

 EUV光刻膠的“代際鴻溝”
EUV光刻膠需在13.5nm波長(zhǎng)下工作，傳統(tǒng)有機(jī)光刻膠因吸收效率低、熱穩(wěn)定性差面臨淘汰。國(guó)內(nèi)企業(yè)如久日新材雖開發(fā)出EUV光致產(chǎn)酸劑，但金屬氧化物基光刻膠（如氧化鋅）的納米顆粒分散技術(shù)尚未突破，導(dǎo)致分辨率只達(dá)10nm，而國(guó)際水平已實(shí)現(xiàn)5nm。
南京正性光刻膠多少錢光刻膠的線邊緣粗糙度（LER）是影響芯片性能的關(guān)鍵因素之一。

中山負(fù)性光刻膠感光膠,光刻膠

主要優(yōu)勢(shì)：細(xì)分領(lǐng)域技術(shù)突破與產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同

 技術(shù)積累與自主化能力
公司擁有23年光刻膠研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，實(shí)現(xiàn)了從樹脂合成、光引發(fā)劑制備到配方優(yōu)化的全流程自主化。例如，其納米壓印光刻膠通過(guò)自主開發(fā)的樹脂體系，分辨率達(dá)3μm，適用于MEMS傳感器、光學(xué)器件等領(lǐng)域，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白。
技術(shù)壁壘：掌握光刻膠主要原材料（如樹脂、光酸）的合成技術(shù)，部分原材料純度達(dá)PPT級(jí)，金屬離子含量低于0.1ppb，良率超99%。

 產(chǎn)品多元化與技術(shù)化布局
產(chǎn)品線覆蓋芯片光刻膠、納米壓印光刻膠、LCD光刻膠、半導(dǎo)體錫膏等，形成“光刻膠+配套材料”的完整體系。例如：

? LCD光刻膠：適配AMOLED、Micro LED等新型顯示技術(shù)，與京東方、TCL華星合作開發(fā)高分辨率產(chǎn)品，良率提升至98%。

? 半導(dǎo)體錫膏：供應(yīng)華為、OPPO等企業(yè)，年采購(gòu)量超200噸，用于5G手機(jī)主板封裝。
技術(shù)化延伸：計(jì)劃2025年啟動(dòng)半導(dǎo)體用KrF光刻膠研發(fā)，目標(biāo)進(jìn)入中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)供應(yīng)鏈。

 質(zhì)量控制與生產(chǎn)能力
通過(guò)ISO9001:2008質(zhì)量體系認(rèn)證，生產(chǎn)環(huán)境執(zhí)行8S管理，原材料采用美、德、日進(jìn)口高質(zhì)量材料。擁有全自動(dòng)化生產(chǎn)線，年產(chǎn)能達(dá)2000噸（光刻膠及配套材料），支持大規(guī)模訂單交付。

廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司的產(chǎn)品體系豐富且功能強(qiáng)大。

在光刻膠領(lǐng)域，芯片光刻膠為芯片制造中的精細(xì)光刻環(huán)節(jié)提供關(guān)鍵支持，確保芯片線路的精細(xì)刻畫；

納米壓印光刻膠適用于微納加工，助力制造超精細(xì)的微納結(jié)構(gòu)；

LCD 光刻膠則滿足液晶顯示面板生產(chǎn)過(guò)程中的光刻需求，保障面板成像質(zhì)量。

在電子焊接方面，半導(dǎo)體錫膏與焊片性能，能實(shí)現(xiàn)可靠的電氣連接，廣泛應(yīng)用于各類電子設(shè)備組裝。

靶材產(chǎn)品在材料濺射沉積工藝中發(fā)揮關(guān)鍵作用，通過(guò)精細(xì)控制材料沉積，為半導(dǎo)體器件制造提供高質(zhì)量的薄膜材料。憑借出色品質(zhì)，遠(yuǎn)銷全球，深受眾多世界 500 強(qiáng)企業(yè)和電子加工企業(yè)青睞 。 光刻膠配套試劑（如顯影液、去膠劑）的市場(chǎng)規(guī)模隨光刻膠需求同步增長(zhǎng)。

中山負(fù)性光刻膠感光膠,光刻膠

廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司多種光刻膠產(chǎn)品，各有特性與優(yōu)勢(shì)，適用于不同領(lǐng)域。

LCD 正性光刻膠 YK - 200：具有較大曝光、高分辨率、良好涂布和附著力的特點(diǎn)，重量 100g。適用于液晶顯示領(lǐng)域的光刻工藝，能確保 LCD 生產(chǎn)過(guò)程中圖形的精確轉(zhuǎn)移和良好的涂布效果。

半導(dǎo)體正性光刻膠 YK - 300：具備耐熱耐酸、耐溶劑性、絕緣阻抗和緊密性，重量 100g。主要用于半導(dǎo)體制造工藝，滿足半導(dǎo)體器件對(duì)光刻膠在化學(xué)穩(wěn)定性和電氣性能方面的要求。

耐腐蝕負(fù)性光刻膠 JT - NF100：重量 1L，具有耐腐蝕的特性，適用于在有腐蝕風(fēng)險(xiǎn)的光刻工藝中，比如一些特殊環(huán)境下的半導(dǎo)體加工或電路板制造。 光刻膠生產(chǎn)需嚴(yán)格控制原材料純度，如溶劑、樹脂和光敏劑的配比精度。黑龍江納米壓印光刻膠價(jià)格

光刻膠在光學(xué)元件（如衍射光柵）和生物芯片中也有廣泛應(yīng)用。中山負(fù)性光刻膠感光膠

厚板光刻膠

  • 電路板制造：在制作對(duì)線路精度和抗蝕刻性能要求高的電路板時(shí)，厚板光刻膠可確保線路的精細(xì)度和穩(wěn)定性，比如汽車電子、工業(yè)控制等領(lǐng)域的電路板，能承受復(fù)雜環(huán)境和大電流、高電壓等工況。
  • 功率器件制造：像絕緣柵雙極晶體管（IGBT）這類功率器件，需要承受高電壓和大電流，厚板光刻膠可用于其芯片制造過(guò)程中的光刻環(huán)節(jié)，保障芯片內(nèi)部電路的精細(xì)布局，提高器件的性能和可靠性。


負(fù)性光刻膠

  • 半導(dǎo)體制造：在芯片制造過(guò)程中，用于制作一些對(duì)精度要求高、圖形面積較大的結(jié)構(gòu)，如芯片的金屬互連層、接觸孔等。通過(guò)負(fù)性光刻膠的曝光和顯影工藝，能實(shí)現(xiàn)精確的圖形轉(zhuǎn)移，確保芯片各部分之間的電氣連接正常。
  • 平板顯示制造：在液晶顯示器（LCD）和有機(jī)發(fā)光二極管顯示器（OLED）的制造中，用于制作電極、像素等大面積圖案。以 LCD 為例，負(fù)性光刻膠可幫助形成液晶層與玻璃基板之間的電極圖案，控制液晶分子的排列，從而實(shí)現(xiàn)圖像顯示。


中山負(fù)性光刻膠感光膠

標(biāo)簽： 錫膏 光刻膠 錫片