鎖相熱成像系統(tǒng)在發(fā)展過程中也面臨著一些技術(shù)難點(diǎn),其中如何優(yōu)化熱激勵(lì)方式與信號(hào)處理算法是問題。熱激勵(lì)方式的合理性直接影響檢測(cè)的靈敏度和準(zhǔn)確性,不同的被測(cè)物體需要不同的激勵(lì)參數(shù);而信號(hào)處理算法則決定了能否從復(fù)雜的信號(hào)中有效提取出有用信息。為此,研究人員不斷進(jìn)行探索和創(chuàng)新,通過改進(jìn)光源調(diào)制頻率,使其更適應(yīng)不同檢測(cè)場(chǎng)景,開發(fā)多頻融合算法,提高信號(hào)處理的效率和精度等方式,持續(xù)提升系統(tǒng)的檢測(cè)速度與缺陷識(shí)別精度。未來,隨著新型材料的研發(fā)和傳感器技術(shù)的不斷進(jìn)步,鎖相熱成像系統(tǒng)的性能將進(jìn)一步提升,其應(yīng)用領(lǐng)域也將得到的拓展,為更多行業(yè)帶來技術(shù)革新。
紅外熱像儀捕獲這些溫度變化,通過鎖相技術(shù)提取微弱的有用信號(hào),提高檢測(cè)靈敏度。顯微鎖相紅外熱成像系統(tǒng)牌子
從技術(shù)原理來看,該設(shè)備構(gòu)建了一套完整的 “熱信號(hào)捕捉 - 解析 - 成像” 體系。其搭載的高性能探測(cè)器(如 RTTLIT P20 采用的 100Hz 高頻深制冷型紅外探測(cè)器)能敏銳捕捉中波紅外波段的熱輻射,配合 InGaAs 微光顯微鏡模塊,可同時(shí)實(shí)現(xiàn)熱信號(hào)與光子發(fā)射的同步觀測(cè)。在檢測(cè)過程中,設(shè)備先通過熱紅外顯微鏡快速鎖定可疑區(qū)域,再啟動(dòng) RTTLIT 系統(tǒng)的鎖相功能:施加周期性電信號(hào)激勵(lì)后,缺陷會(huì)產(chǎn)生與激勵(lì)頻率同步的微弱熱響應(yīng),鎖相模塊過濾掉環(huán)境噪聲,將原本被掩蓋的熱信號(hào)放大并成像。這種 “先定位、再聚焦” 的模式,既保證了檢測(cè)效率,又突破了傳統(tǒng)設(shè)備對(duì)微弱信號(hào)的檢測(cè)極限。中波鎖相紅外熱成像系統(tǒng)內(nèi)容紅外熱成像模塊功能是實(shí)時(shí)采集被測(cè)物體表面的紅外輻射信號(hào),轉(zhuǎn)化為隨時(shí)間變化的溫度分布圖像序列。
先進(jìn)的封裝應(yīng)用、復(fù)雜的互連方案和更高性能的功率器件的快速增長(zhǎng)給故障定位和分析帶來了前所未有的挑戰(zhàn)。有缺陷或性能不佳的半導(dǎo)體器件通常表現(xiàn)出局部功率損耗的異常分布,導(dǎo)致局部溫度升高。RTTLIT系統(tǒng)利用鎖相紅外熱成像進(jìn)行半導(dǎo)體器件故障定位,可以準(zhǔn)確有效地定位這些目標(biāo)區(qū)域。LIT是一種動(dòng)態(tài)紅外熱成像形式,與穩(wěn)態(tài)熱成像相比,其可提供更好的信噪比、更高的靈敏度和更高的特征分辨率。LIT可在IC半導(dǎo)體失效分析中用于定位線路短路、ESD缺陷、氧化損壞、缺陷晶體管和二極管以及器件閂鎖。LIT可在自然環(huán)境中進(jìn)行,無需光屏蔽箱。
電激勵(lì)的鎖相熱成像系統(tǒng)在電子產(chǎn)業(yè)的電子漿料檢測(cè)中有用武之地,為電子漿料的質(zhì)量控制提供了重要手段,確保印刷線路的性能。電子漿料是用于印刷電子線路、電極等的關(guān)鍵材料,其導(dǎo)電性、均勻性和附著力直接影響印刷線路的性能和可靠性。電子漿料若存在顆粒團(tuán)聚、成分不均、氣泡等缺陷,會(huì)導(dǎo)致印刷線路的電阻增大、導(dǎo)電性能下降,甚至出現(xiàn)線路斷路。通過對(duì)印刷有電子漿料的基板施加電激勵(lì),電流會(huì)沿著漿料線路流動(dòng),缺陷處由于電阻異常,會(huì)產(chǎn)生局部溫度升高。鎖相熱成像系統(tǒng)能夠檢測(cè)到這些溫度差異,并通過分析溫度場(chǎng)的分布,評(píng)估電子漿料的質(zhì)量。例如,在檢測(cè)太陽(yáng)能電池板的銀漿電極時(shí),系統(tǒng)可以發(fā)現(xiàn)因銀漿成分不均導(dǎo)致的電阻異常區(qū)域,這些區(qū)域會(huì)影響電池板的發(fā)電效率。檢測(cè)結(jié)果為電子漿料生產(chǎn)企業(yè)提供了質(zhì)量反饋,幫助企業(yè)優(yōu)化漿料配方和生產(chǎn)工藝,提升電子產(chǎn)業(yè)相關(guān)產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量。利用周期性調(diào)制的熱激勵(lì)源對(duì)待測(cè)物體加熱,物體內(nèi)部缺陷會(huì)導(dǎo)致表面溫度分布產(chǎn)生周期性變化。
電子產(chǎn)業(yè)的存儲(chǔ)器芯片檢測(cè)中,電激勵(lì)的鎖相熱成像系統(tǒng)發(fā)揮著獨(dú)特作用,為保障數(shù)據(jù)存儲(chǔ)安全提供了有力支持。存儲(chǔ)器芯片如 DRAM、NAND Flash 等,是電子設(shè)備中用于存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的關(guān)鍵部件,其存儲(chǔ)單元的質(zhì)量直接決定了數(shù)據(jù)存儲(chǔ)的可靠性。存儲(chǔ)單元若存在缺陷,如氧化層擊穿、接觸不良等,會(huì)導(dǎo)致數(shù)據(jù)丟失、讀寫錯(cuò)誤等問題。通過對(duì)存儲(chǔ)器芯片施加電激勵(lì),進(jìn)行讀寫操作,缺陷存儲(chǔ)單元會(huì)因電荷存儲(chǔ)異常而產(chǎn)生異常溫度。鎖相熱成像系統(tǒng)能夠定位這些缺陷單元的位置,幫助制造商在生產(chǎn)過程中篩選出合格的存儲(chǔ)器芯片,提高產(chǎn)品的合格率。例如,在檢測(cè)固態(tài)硬盤中的 NAND Flash 芯片時(shí),系統(tǒng)可以發(fā)現(xiàn)存在壞塊的存儲(chǔ)單元區(qū)域,這些區(qū)域在讀寫操作時(shí)溫度明顯升高。通過標(biāo)記這些壞塊并進(jìn)行屏蔽處理,能夠有效保障數(shù)據(jù)存儲(chǔ)的安全,推動(dòng)電子產(chǎn)業(yè)存儲(chǔ)領(lǐng)域的健康發(fā)展。鎖相熱紅外電激勵(lì)成像系統(tǒng)是由鎖相檢測(cè)模塊,紅外成像模塊,電激勵(lì)模塊,數(shù)據(jù)處理與顯示模塊組成。RTTLIT鎖相紅外熱成像系統(tǒng)測(cè)試
電激勵(lì)為鎖相熱成像系統(tǒng)提供穩(wěn)定的熱激勵(lì)源。顯微鎖相紅外熱成像系統(tǒng)牌子
致晟光電的一體化檢測(cè)設(shè)備,不僅是技術(shù)的集成,更是對(duì)半導(dǎo)體失效分析邏輯的重構(gòu)。它讓 “微觀觀測(cè)” 與 “微弱信號(hào)檢測(cè)” 不再是選擇題,而是能同時(shí)實(shí)現(xiàn)的標(biāo)準(zhǔn)配置。在國(guó)產(chǎn)替代加速推進(jìn)的背景下,這類自主研發(fā)的失效分析檢測(cè)設(shè)備,正逐步打破國(guó)外品牌在半導(dǎo)體檢測(cè)領(lǐng)域的技術(shù)壟斷,為我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展提供堅(jiān)實(shí)的設(shè)備支撐。未來隨著第三代半導(dǎo)體、Micro LED 等新興領(lǐng)域的崛起,對(duì)失效分析的要求將進(jìn)一步提升,而致晟光電的技術(shù)探索,無疑為行業(yè)提供了可借鑒的創(chuàng)新路徑。顯微鎖相紅外熱成像系統(tǒng)牌子