螺桿真空泵,作為一種高效的抽真空設(shè)備,近年來在微電子、半導(dǎo)體、制藥、化工等多個(gè)領(lǐng)域得到了廣闊應(yīng)用。它以其獨(dú)特的結(jié)構(gòu)和工作原理,成為傳統(tǒng)油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品,滿足了現(xiàn)代工業(yè)對清潔真空環(huán)境的高要求。螺桿真空泵(screw vacuum pump),是利用一對螺桿在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備。這種泵屬于非接觸型干式泵,是20世紀(jì)90年代初期出現(xiàn)的一種理想的泵種。螺桿真空泵的工作原理基于螺桿的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。它由兩個(gè)串聯(lián)的螺桿軸組成,一個(gè)為主動(dòng)螺桿軸,一個(gè)為被動(dòng)螺桿軸。淄博華中真空設(shè)備有限公司竭誠希望得到各界朋友的支持與合作,歡迎廣大朋友光臨惠顧!上海干螺桿真空泵
在實(shí)際應(yīng)用中,螺桿真空泵的工作壓力范圍通常根據(jù)其具體型號(hào)和使用環(huán)境來確定。一般來說,螺桿真空泵的入口工作壓力范圍從10Pa到0.1Pa變化,甚至更低,表現(xiàn)出廣闊的工作壓力適應(yīng)性。這一范圍能夠滿足多種工藝需求,如半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、真空干燥等領(lǐng)域中的真空抽取任務(wù)。同時(shí),螺桿真空泵的工作壓力范圍還受到其極限壓力和較大工作壓力的限制。極限壓力是泵在特定條件下能夠達(dá)到的較低壓力值,通常用于衡量泵的抽氣能力。而較大工作壓力則是泵在正常工作條件下能夠承受的較高壓力值,用于確保泵在高壓環(huán)境下仍能穩(wěn)定運(yùn)行。這兩個(gè)極限值共同界定了螺桿真空泵的工作壓力范圍。上海干螺桿真空泵華中真空在發(fā)展理念、體制機(jī)制、管理、技術(shù)上大膽革新,用人才創(chuàng)造效益,用服務(wù)創(chuàng)造價(jià)值。
螺桿真空泵能夠抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合,具有較強(qiáng)的適應(yīng)性。這得益于其獨(dú)特的螺桿結(jié)構(gòu)和材料選擇,使得泵體能夠在惡劣的工作環(huán)境中保持較高的耐腐蝕性和耐磨性。螺桿真空泵能夠高效抽除含有大量水蒸汽的氣體。由于螺桿間的間隙較小,水蒸汽在螺桿間的壓縮過程中能夠被迅速排出,從而避免了水蒸汽在泵體內(nèi)部的積聚和凝結(jié)。這有助于保持泵體內(nèi)部的清潔和干燥,提高抽氣效率和使用壽命。在含有水蒸汽的氣體場合中,腐蝕問題是一個(gè)不可忽視的因素。螺桿真空泵的泵體通常采用耐腐蝕材料制成,如不銹鋼、鈦合金等。
在含有水蒸汽的氣體場合中,水蒸汽的凝結(jié)是一個(gè)常見的問題。這可能導(dǎo)致泵體內(nèi)部的堵塞和磨損問題。為了解決這一問題,可以采取以下措施:一是加強(qiáng)泵體的保溫措施,減少水蒸汽的凝結(jié);二是在泵體入口前設(shè)置汽水分離器,將水蒸汽與氣體進(jìn)行分離;三是定期對泵體進(jìn)行清洗和維護(hù),保持其內(nèi)部的清潔和干燥。在含有腐蝕性氣體的場合中,螺桿真空泵的泵體可能會(huì)受到腐蝕的影響。為了解決這一問題,可以選擇耐腐蝕性能更強(qiáng)的材料來制造泵體,如鈦合金、陶瓷等。同時(shí),還可以采用表面處理技術(shù)來提高泵體的耐腐蝕性能,如噴涂耐腐蝕涂層、進(jìn)行化學(xué)處理等。華中真空多年來“以質(zhì)量為先導(dǎo),以微利求生存”,重合同,守信用。
水冷方式是通過循環(huán)的冷卻水在泵體內(nèi)部的冷卻通道中流動(dòng),吸收熱量后再將其帶出泵體,達(dá)到降溫的目的。螺桿真空泵的水冷系統(tǒng)通常包括冷卻水套、冷卻水管、水泵和水箱等組件。冷卻水套緊密貼合在泵體外部或內(nèi)部關(guān)鍵部位,形成一個(gè)封閉的冷卻通道。冷卻水在水泵的驅(qū)動(dòng)下,從水箱中抽出并經(jīng)過冷卻水套,吸收泵體產(chǎn)生的熱量后流回水箱。水箱中的冷卻水通過自然冷卻或額外的冷卻設(shè)備(如散熱器、冷卻塔等)進(jìn)行降溫,以便循環(huán)使用。水冷方式具有散熱效率高、適用于大功率和高溫環(huán)境的優(yōu)點(diǎn)。但需要注意的是,水冷系統(tǒng)需要定期維護(hù)和清洗,以防止冷卻水堵塞和腐蝕問題。淄博華中真空設(shè)備有限公司是以集品質(zhì)、服務(wù)于一身的真空設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)。上海干螺桿真空泵
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外部氣體通過進(jìn)氣口被吸入泵體,進(jìn)入由兩個(gè)螺桿軸形成的密封工作室。此時(shí),密封工作室的前端逐漸打開,與進(jìn)氣口相連通,使得氣體能夠順利進(jìn)入。在壓縮階段,轉(zhuǎn)子繼續(xù)旋轉(zhuǎn),使得密封工作室逐漸縮小。這個(gè)過程中,氣體被壓縮,壓力和溫度逐漸升高。由于螺桿軸的螺紋設(shè)計(jì),使得密封工作室在縮小過程中能夠保持一定的密封性,避免氣體泄漏。在排氣階段,密封工作室縮小到一定程度時(shí),氣體被壓縮到足夠的壓力。此時(shí),排氣口打開,氣體通過排氣口被排出泵外。隨著轉(zhuǎn)子的繼續(xù)旋轉(zhuǎn),密封工作室又恢復(fù)到初始狀態(tài),準(zhǔn)備進(jìn)行下一輪的吸氣、壓縮和排氣過程。上海干螺桿真空泵