對(duì)碳化硅密封環(huán)進(jìn)行表面處理可進(jìn)一步優(yōu)化其性能。通過精密磨削和拋光技術(shù),能夠確保密封環(huán)的表面達(dá)到高精度的光滑程度,減少表面粗糙度,降低摩擦系數(shù),提高耐磨性能,使其在工作過程中與配合部件的接觸更加緊密和平穩(wěn),有效減少泄漏的可能性。還可采用涂層處理,如類金剛石碳膜涂層,能在密封環(huán)表面形成一層堅(jiān)硬且具有自潤滑性的保護(hù)膜,增強(qiáng)其在惡劣工況下的耐磨、耐腐蝕以及抗粘附性能,明顯提升密封環(huán)的綜合性能和使用壽命,滿足更多復(fù)雜、嚴(yán)苛工作環(huán)境的需求。碳化硅密封環(huán)的低熱膨脹系數(shù),有效避免因溫度變化導(dǎo)致的密封失效,增強(qiáng)設(shè)備運(yùn)行可靠性。山東攪拌機(jī)械密封碳化硅密封環(huán)
在礦山、水泥、冶金等粉塵較多的工業(yè)環(huán)境中,碳化硅密封環(huán)發(fā)揮著重要的防塵密封功能。這些行業(yè)在生產(chǎn)過程中會(huì)產(chǎn)生大量的粉塵,如礦山開采過程中的礦石粉塵、水泥生產(chǎn)中的水泥粉塵等,粉塵一旦進(jìn)入設(shè)備內(nèi)部,會(huì)加劇設(shè)備部件的磨損,影響設(shè)備的正常運(yùn)行。碳化硅密封環(huán)能夠緊密貼合設(shè)備部件,阻止粉塵進(jìn)入設(shè)備內(nèi)部,保護(hù)設(shè)備的軸承、齒輪等關(guān)鍵部件免受粉塵侵害,延長設(shè)備的使用壽命,減少設(shè)備維護(hù)次數(shù)和成本。在礦山的帶式輸送機(jī)、水泥生產(chǎn)線的回轉(zhuǎn)窯等設(shè)備中,碳化硅密封環(huán)的防塵密封功能可有效防止粉塵泄漏,改善工作環(huán)境,降低工人患職業(yè)病的風(fēng)險(xiǎn)。上海微孔密封環(huán)廠家先進(jìn)的材料改性技術(shù),賦予碳化硅密封環(huán)更多獨(dú)特性能,拓展應(yīng)用領(lǐng)域。
半導(dǎo)體和電子工業(yè)對(duì)設(shè)備密封性能要求極高。在晶圓制造設(shè)備的真空泵中,如干泵、渦輪分子泵,碳化硅陶瓷密封環(huán)可防止污染,確保工藝環(huán)境純凈,其表面粗糙度可達(dá) Ra0.05μm 以下,避免雜質(zhì)對(duì)晶圓制造過程的干擾,保障產(chǎn)品良率在 99% 以上?;瘜W(xué)氣相沉積(CVD)反應(yīng)腔中,其在動(dòng)密封應(yīng)用中表現(xiàn)出色,能抵抗等離子體的侵蝕,例如在硅外延生長過程中,反應(yīng)腔溫度達(dá) 1000℃以上,且存在高活性的硅烷等離子體,碳化硅密封環(huán)可維持反應(yīng)腔的密封性,保證外延層的均勻性和純度,為半導(dǎo)體制造工藝的穩(wěn)定性提供保障,是半導(dǎo)體設(shè)備不可或缺的關(guān)鍵部件。
碳化硅密封環(huán)成型工藝多樣,干壓成型適宜形狀簡單、批量較大的制品生產(chǎn),通過在 100-300MPa 的壓力下,使碳化硅原料在模具中成型,這種工藝生產(chǎn)效率高,單件生產(chǎn)周期可控制在 30 分鐘以內(nèi),適用于如標(biāo)準(zhǔn)尺寸的軸封、簡單結(jié)構(gòu)的靜環(huán)等產(chǎn)品。等靜壓成型則對(duì)單件少量、復(fù)雜形狀的制品較為適宜,它采用液體介質(zhì)傳遞壓力,能使制品在各個(gè)方向均勻受壓,從而使等靜壓碳化硅密封環(huán)的密度(可達(dá) 3.15g/cm3 以上)與性能均較干壓制品更優(yōu),其抗彎強(qiáng)度可提升 20%-30%,適用于如異形密封環(huán)、帶復(fù)雜槽道的動(dòng)環(huán)等產(chǎn)品。不同的成型工藝會(huì)影響密封環(huán)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和性能,廠家需根據(jù)產(chǎn)品需求和生產(chǎn)規(guī)模合理選擇成型方式,例如對(duì)于航空航天領(lǐng)域的密封環(huán),多采用等靜壓成型以確保性能;而對(duì)于通用工業(yè)領(lǐng)域的大批量產(chǎn)品,則采用干壓成型以降低成本,確保產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率的平衡。在新能源設(shè)備中,碳化硅密封環(huán)助力實(shí)現(xiàn)高效密封,推動(dòng)行業(yè)綠色發(fā)展。
在化工與石化行業(yè),碳化硅密封環(huán)應(yīng)用極為普遍。離心泵、反應(yīng)釜、壓縮機(jī)等設(shè)備的機(jī)械密封常常選用碳化硅密封環(huán)。這些設(shè)備在運(yùn)行過程中,需要輸送各類腐蝕性介質(zhì),如強(qiáng)酸、強(qiáng)堿以及有機(jī)溶劑等。碳化硅密封環(huán)憑借出色的耐腐蝕性和耐磨性能,能夠在這樣惡劣的化學(xué)環(huán)境下長期穩(wěn)定運(yùn)行,有效防止介質(zhì)泄漏,保障生產(chǎn)過程的安全與穩(wěn)定。在輸送硫酸的離心泵中,碳化硅密封環(huán)可承受硫酸的強(qiáng)腐蝕性,確保泵的正常運(yùn)轉(zhuǎn),在化工、石化產(chǎn)業(yè)的物料輸送與反應(yīng)過程中發(fā)揮著不可或缺的密封作用。精心設(shè)計(jì)的碳化硅密封環(huán),安裝便捷,能迅速投入使用,提升工業(yè)生產(chǎn)效率。反應(yīng)動(dòng)靜環(huán)密封環(huán)
在制藥設(shè)備中,碳化硅密封環(huán)以其潔凈、穩(wěn)定的性能保障藥品生產(chǎn)質(zhì)量。山東攪拌機(jī)械密封碳化硅密封環(huán)
半導(dǎo)體與電子工業(yè)對(duì)材料的純度和穩(wěn)定性要求極高,碳化硅密封環(huán)恰好滿足這些嚴(yán)苛要求。在晶圓制造設(shè)備的真空泵密封,如干泵、渦輪分子泵中,碳化硅密封環(huán)能夠在高真空、高速旋轉(zhuǎn)的環(huán)境下保持良好的密封性能,防止外界雜質(zhì)進(jìn)入,確保晶圓制造過程的高精度和高純度。在 CVD(化學(xué)氣相沉積)反應(yīng)腔的動(dòng)密封中,碳化硅密封環(huán)憑借其化學(xué)穩(wěn)定性,可抵抗等離子體侵蝕,相比聚合物密封具有明顯優(yōu)勢(shì),保障了半導(dǎo)體與電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行,為電子產(chǎn)品的高質(zhì)量制造奠定了基礎(chǔ)。山東攪拌機(jī)械密封碳化硅密封環(huán)