碳氫真空清洗機在半導(dǎo)體晶圓清洗中的特殊要求呢？

唯恒塬環(huán)?？萍迹ㄌK州）有限公司2025-06-29

必須使用超高純度碳氫溶劑，避免引入雜質(zhì)污染晶圓。清洗過程在超凈無塵環(huán)境中進行，設(shè)備具備嚴格的潔凈度控制和監(jiān)測系統(tǒng)。采用溫和的清洗工藝，防止損傷晶圓表面的納米級結(jié)構(gòu)，清洗后需進行嚴格的顆粒和離子檢測。

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