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半導(dǎo)體光刻車間對AMC(氣態(tài)分子污染物)有什么特殊要求？

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廣東楚嶸建設(shè)工程有限公司2025-07-26

控制標(biāo)準(zhǔn)： 污染物類型 限值 酸類(如HF) ≤0.1 ppb 堿類(NH?) ≤1 ppb 有機物 ≤2 ppb 技術(shù)方案： 化學(xué)過濾器(ULPA+活性炭復(fù)合) 不銹鋼風(fēng)管電拋光(RA≤0.5μm)

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簡介：廣東楚嶸建設(shè)工程有限公司專注于廠房凈化、高效機房和節(jié)能改造，擁有多學(xué)科專業(yè)團隊，提供EPC總承包服務(wù)
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