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半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備：技術(shù)突破，領(lǐng)導(dǎo)產(chǎn)業(yè)升級(jí)新風(fēng)向
超聲檢測(cè)：無(wú)損探傷，直擊封裝缺陷
芯紀(jì)源的超聲掃描顯微鏡（SAT）采用高頻超聲波技術(shù)，可穿透封裝材料對(duì)芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)進(jìn)行三維成像，準(zhǔn)確識(shí)別分層、空洞、裂紋等微米級(jí)缺陷。
相較于傳統(tǒng)X射線檢測(cè)，SAT具備三大中樞優(yōu)勢(shì)：
1.無(wú)損檢測(cè)：避免對(duì)芯片造成二次損傷，適用于高價(jià)值樣品分析；
2.高分辨率：可檢測(cè)0.5μm級(jí)缺陷，滿足3D堆疊、HBM等先進(jìn)封裝需求；
3.材料兼容性：覆蓋SiC、GaN等寬禁帶半導(dǎo)體材料，適配陶瓷、塑料、金屬等多種封裝基板。
在新能源汽車IGBT模塊檢測(cè)中，芯紀(jì)源SAT設(shè)備可模擬-55℃至150℃極端工況，通過(guò)熱循環(huán)測(cè)試定位熱失效閾值，助力客戶通過(guò)AEC-Q101車規(guī)級(jí)認(rèn)證。
光學(xué)檢測(cè)：納米精度，賦能先進(jìn)制程
針對(duì)5nm/3nm工藝節(jié)點(diǎn)，芯紀(jì)源推出多光譜光學(xué)檢測(cè)平臺(tái)，集成深紫外（DUV）光源與AI算法，實(shí)現(xiàn)：
1.關(guān)鍵尺寸（CD）在線測(cè)量：線寬測(cè)量精度達(dá)±0.5nm，覆蓋光刻、刻蝕、CMP全流程；
2.三維形貌重構(gòu)：結(jié)合橢偏儀與共聚焦顯微技術(shù)，量化臺(tái)階高度、側(cè)壁角等參數(shù)；
3.電性缺陷定位：通過(guò)光電流映射（PCM）技術(shù)，關(guān)聯(lián)微觀結(jié)構(gòu)與電學(xué)性能，良率提升20%以上。
在AI芯片TSV（硅通孔）檢測(cè)中，該平臺(tái)可同步測(cè)量電阻、電容及信號(hào)串?dāng)_，配合科磊KLA Nexus晶圓檢測(cè)設(shè)備，實(shí)現(xiàn)缺陷復(fù)檢效率提升3倍。
國(guó)產(chǎn)化突圍：技術(shù)攻堅(jiān)，打破國(guó)際壟斷
面對(duì)海外廠商（如KLA、應(yīng)用材料）的技術(shù)封鎖，芯紀(jì)源依托國(guó)家大基金三期政策支持，重點(diǎn)突破三大瓶頸：
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多物理場(chǎng)耦合仿真：聯(lián)合中科院微電子所開發(fā)材料數(shù)據(jù)庫(kù)，預(yù)測(cè)不同工藝條件下的缺陷演化；
2.實(shí)時(shí)反饋控制系統(tǒng)：基于FPGA的硬件加速架構(gòu)，將檢測(cè)周期從小時(shí)級(jí)壓縮至分鐘級(jí)；
3.智能缺陷分類（ADC）：采用Transformer模型訓(xùn)練百萬(wàn)級(jí)缺陷樣本，識(shí)別準(zhǔn)確率＞99.5%。
目前，芯紀(jì)源STS8200系列測(cè)試機(jī)已進(jìn)入中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)供應(yīng)鏈，支持128通道并行測(cè)試，測(cè)試覆蓋率較國(guó)際競(jìng)品提升15%，成本降低40%。
未來(lái)展望：技術(shù)融合，構(gòu)建產(chǎn)業(yè)生態(tài)
芯紀(jì)源正布局下一代檢測(cè)技術(shù)：
1.量子傳感檢測(cè)：探索量子精密測(cè)量在磁性材料檢測(cè)中的應(yīng)用；
2.數(shù)字孿生平臺(tái)：構(gòu)建虛擬量測(cè)系統(tǒng)，預(yù)測(cè)工藝窗口漂移；
3.綠色檢測(cè)方案：開發(fā)低功耗激光誘導(dǎo)擊穿光譜（LIBS）技術(shù)，減少化學(xué)品消耗。
同時(shí)，公司攜手良渚新城打造半導(dǎo)體檢測(cè)產(chǎn)業(yè)集群，聯(lián)合矩子科技、精測(cè)電子等企業(yè)共建“測(cè)封一體”生態(tài)，推動(dòng)AOI檢測(cè)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率從15%提升至30%。
結(jié)語(yǔ)
在摩爾定律放緩的如今，半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備已成為產(chǎn)業(yè)突破物理極限的關(guān)鍵。芯紀(jì)源以“技術(shù)攻堅(jiān)者”的姿態(tài)，持續(xù)投入研發(fā)，致力于為客戶提供從實(shí)驗(yàn)室到量產(chǎn)線的全流程解決方案。選擇芯紀(jì)源，即是選擇以準(zhǔn)確檢測(cè)驅(qū)動(dòng)創(chuàng)新，以品質(zhì)保障贏得未來(lái)。
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