在鍍膜前,需要對腔體進行徹底的清洗和烘烤,以去除表面的油污、灰塵和水分等污染物。清洗時可以使用超聲波清洗機或高壓水槍等工具,確保腔體內(nèi)外表面清潔無垢。烘烤時則可以使用加熱爐或烘箱等設(shè)備,將腔體加熱到一定溫度,使殘留的污染物揮發(fā)并排出腔體。在鍍膜過程中,需要向腔體內(nèi)充入高純度的惰性氣體(如氬氣、氮氣等),以保護鍍膜過程不受污染。為了確保氣體的純度和質(zhì)量,需要采取以下措施:氣體凈化系統(tǒng):在氣體充入腔體前,通過氣體凈化系統(tǒng)對其進行過濾和凈化,去除其中的水、氧、有機氣體等雜質(zhì)。氣體循環(huán)系統(tǒng):在鍍膜過程中,通過氣體循環(huán)系統(tǒng)對腔體內(nèi)的氣體進行循環(huán)過濾和凈化,保持腔體內(nèi)的高純惰性氣體環(huán)境。精確控制氣體流量:通過微調(diào)閥精確控制鍍膜室中殘余氣體的成分和質(zhì)量分數(shù),防止蒸鍍材料的氧化,把氧的質(zhì)量分數(shù)降低到很小的程度。真空鍍膜過程中需嚴格控制鍍膜時間。杭州真空鍍膜工藝
在高科技迅猛發(fā)展的現(xiàn)在,真空鍍膜技術(shù)作為一種先進的表面處理技術(shù),被普遍應(yīng)用于各種領(lǐng)域,包括航空航天、電子器件、光學(xué)元件、裝飾工藝等。真空鍍膜不但能賦予材料新的物理和化學(xué)性能,還能明顯提高產(chǎn)品的使用壽命和附加值。然而,在真空鍍膜過程中,如何確保腔體的高真空度,是保障鍍膜質(zhì)量和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵。真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料,使其蒸發(fā)并凝結(jié)于鍍件(金屬、半導(dǎo)體或絕緣體)表面而形成薄膜的一種方法。這種技術(shù)主要分為物理的氣相沉積(PVD)和化學(xué)氣相沉積(CVD)兩大類。物理的氣相沉積技術(shù)又包括真空蒸鍍、濺射鍍膜、離子鍍等多種方法。杭州真空鍍膜工藝鍍膜層能有效隔絕空氣中的氧氣和水分。
在真空鍍膜工藝中,反應(yīng)氣體的控制是實現(xiàn)高質(zhì)量鍍膜的關(guān)鍵。有效的氣體控制可以確保鍍膜過程的穩(wěn)定性和可控性,從而提高鍍膜的質(zhì)量和性能。以下是幾種常用的反應(yīng)氣體控制方法:流量控制:通過精確控制反應(yīng)氣體的流量,可以確保鍍膜過程中氣體濃度的穩(wěn)定性和均勻性。這通常需要使用高精度的氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)來實現(xiàn)。MFC能夠?qū)崟r監(jiān)測和控制氣體流量,確保鍍膜過程中的氣體供應(yīng)穩(wěn)定可靠。壓力控制:真空鍍膜過程中的氣體壓力對鍍膜質(zhì)量和性能具有重要影響。通過精確控制真空室內(nèi)的氣體壓力,可以優(yōu)化鍍膜過程并提高鍍膜質(zhì)量。這通常需要使用高精度的真空泵和壓力傳感器來實現(xiàn)。
氧化物靶材也是常用的靶材種類之一。它們通常能夠形成透明的薄膜,因此普遍應(yīng)用于光學(xué)鍍膜領(lǐng)域。常見的氧化物靶材包括氧化鋁、二氧化硅、氧化鎂、氧化鋅等。氧化鋁靶材:具有高硬度和良好的耐磨性,常用于制備耐磨涂層和光學(xué)薄膜。二氧化硅靶材:具有良好的光學(xué)性能和化學(xué)穩(wěn)定性,常用于制備光學(xué)濾光片和保護膜。三氧化二鉻(Cr?O?)靶材:因其特有的晶體結(jié)構(gòu)和電子能帶結(jié)構(gòu),在可見光范圍內(nèi)表現(xiàn)出對紅光的高反射率,是常見的紅色鍍膜靶材之一。同時,它還具有高耐磨性和硬度,以及良好的化學(xué)穩(wěn)定性,在激光反射鏡、光學(xué)濾光片和保護性涂層等領(lǐng)域有普遍應(yīng)用。鍍膜層可賦予材料特定的顏色效果。
真空泵是抽真空的關(guān)鍵設(shè)備,其性能直接影響腔體的真空度。在選擇真空泵時,需要考慮以下因素:抽速和極限真空度:根據(jù)腔體的體積和所需的真空度,選擇合適的真空泵,確保其抽速和極限真空度滿足要求。穩(wěn)定性和可靠性:選擇性能穩(wěn)定、可靠性高的真空泵,以減少故障率和維修成本。振動和噪音:選擇振動小、噪音低的真空泵,以減少對鍍膜過程的影響。經(jīng)濟性:在滿足性能要求的前提下,選擇性價比高的真空泵,以降低生產(chǎn)成本。常用的真空泵包括機械泵、分子泵、離子泵等。機械泵主要用于粗抽,將腔體內(nèi)的氣體壓力降低到一定程度;分子泵則用于進一步抽真空,將腔體內(nèi)的氣體壓力降低到高真空或超高真空范圍;離子泵則主要用于維持腔體的高真空度,去除殘留的氣體和污染物。真空鍍膜過程中需使用品質(zhì)高的鍍膜材料。河源真空鍍膜工藝
真空鍍膜在航空航天領(lǐng)域有重要應(yīng)用。杭州真空鍍膜工藝
金屬靶材是真空鍍膜中使用很普遍的靶材之一。它們具有良好的導(dǎo)電性、機械性能和耐腐蝕性,能夠滿足多種應(yīng)用需求。常見的金屬靶材包括銅、鋁、鎢、鈦、金、銀等。銅靶材:主要用于鍍膜導(dǎo)電層,具有良好的導(dǎo)電性能和穩(wěn)定性。鋁靶材:常用于光學(xué)薄膜和電鍍鏡層,具有高反射率和良好的光學(xué)性能。鎢靶材:主要用于制備電子元件和防抖層,具有高硬度和高熔點。鈦靶材:具有良好的生物相容性和耐腐蝕性,常用于醫(yī)療器械和航空航天領(lǐng)域。金靶材:因其合理的導(dǎo)電性和化學(xué)穩(wěn)定性,普遍用于高級電子元件的鍍膜,如集成電路和連接器。此外,金還在精密光學(xué)器件中用作反射鏡涂層,提升光學(xué)性能。銀靶材:以其出色的導(dǎo)電性和反射性在光學(xué)器件中應(yīng)用普遍,常用于制造高反射率的光學(xué)鍍膜,如反射鏡和濾光片。同時,銀的抗細菌特性使其在醫(yī)療器械表面鍍膜中也有應(yīng)用。杭州真空鍍膜工藝