吉田半導(dǎo)體突破 ArF 光刻膠技術(shù)壁壘,國產(chǎn)替代再迎新進(jìn)展
自主研發(fā) ArF 光刻膠通過中芯國際驗(yàn)證,吉田半導(dǎo)體填補(bǔ)國內(nèi)光刻膠空白。
吉田半導(dǎo)體成功研發(fā)出 AT-450 ArF 光刻膠,分辨率達(dá) 90nm,適用于 14nm 及以上制程,已通過中芯國際量產(chǎn)驗(yàn)證。該產(chǎn)品采用國產(chǎn)原材料與自主配方,突破日本企業(yè)對(duì) ArF 光刻膠的壟斷。其光酸產(chǎn)率提升 30%,蝕刻選擇比達(dá) 4:1,性能對(duì)標(biāo)日本信越的 ArF 系列。吉田半導(dǎo)體的技術(shù)突破加速了國產(chǎn)芯片制造材料自主化進(jìn)程,為國內(nèi)晶圓廠提供高性價(jià)比解決方案。
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技術(shù)趨勢(shì)與挑戰(zhàn)
半導(dǎo)體先進(jìn)制程:
? EUV光刻膠需降低缺陷率(目前每平方厘米缺陷數(shù)<10個(gè)),開發(fā)低粗糙度(≤5nm)材料;
? 極紫外吸收問題:膠膜對(duì)13.5nm光吸收率高,需厚度控制在50-100nm,挑戰(zhàn)化學(xué)增幅體系的靈敏度。
環(huán)保與低成本:
? 水性負(fù)性膠替代溶劑型膠(如PCB阻焊膠),減少VOC排放;
? 單層膠工藝替代多層膠,簡化流程(如MEMS厚膠的一次性涂布)。
新興領(lǐng)域拓展:
? 柔性電子:開發(fā)耐彎曲(曲率半徑<5mm)、低模量感光膠,用于可穿戴設(shè)備電路;
? 光子芯片:高折射率膠(n>1.8)制作光波導(dǎo),需低傳輸損耗(<0.1dB/cm)。
典型產(chǎn)品與廠商
? 半導(dǎo)體正性膠:
? 日本信越(Shin-Etsu)的ArF膠(分辨率22nm,用于12nm制程);
? 美國陶氏(Dow)的EUV膠(靈敏度10mJ/cm2,缺陷密度<5個(gè)/cm2)。
? PCB負(fù)性膠:
? 中國容大感光(LP系列):耐堿性蝕刻,厚度20-50μm,國產(chǎn)化率超60%;
? 日本東京應(yīng)化(TOK)的THMR-V:全球PCB膠市占率30%,適用于高可靠性汽車板。
? MEMS厚膠:
? 美國陶氏的SU-8:實(shí)驗(yàn)室常用,厚度5-200μm,分辨率1μm(需優(yōu)化交聯(lián)均勻性);
? 德國Microresist的MR膠:耐深硅蝕刻,線寬精度±2%,用于工業(yè)級(jí)MEMS制造。
天津油性光刻膠價(jià)格光刻膠的關(guān)鍵應(yīng)用領(lǐng)域。
吉田半導(dǎo)體助力區(qū)域經(jīng)濟(jì),構(gòu)建半導(dǎo)體材料生態(tài)圈,發(fā)揮企業(yè)作用,吉田半導(dǎo)體聯(lián)合上下游資源,推動(dòng)?xùn)|莞松山湖半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)同創(chuàng)新。
作為松山湖產(chǎn)業(yè)集群重要成員,吉田半導(dǎo)體聯(lián)合光刻機(jī)制造商、光電子企業(yè)共建材料生態(tài)圈。公司通過技術(shù)輸出與資源共享,幫助本地企業(yè)提升工藝水平,促進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新。例如,與華中科技大學(xué)合作研發(fā)的 T150A KrF 光刻膠,極限分辨率 120nm,工藝寬容度優(yōu)于日本信越同類產(chǎn)品,已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)并出口東南亞,為區(qū)域經(jīng)濟(jì)發(fā)展注入新動(dòng)能。
公司遵循國際質(zhì)量管理標(biāo)準(zhǔn),通過 ISO9001:2008 認(rèn)證,并在生產(chǎn)過程中執(zhí)行 8S 現(xiàn)場(chǎng)管理,從原料入庫到成品出庫實(shí)現(xiàn)全流程監(jiān)控。以錫膏產(chǎn)品為例,其無鹵無鉛配方符合環(huán)保要求,同時(shí)具備低飛濺、高潤濕性等特點(diǎn),適用于電子產(chǎn)品組裝。此外,公司建立了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化實(shí)驗(yàn)室,配備先進(jìn)檢測(cè)設(shè)備,確保產(chǎn)品性能達(dá)到國際同類水平。
憑借多年研發(fā)積累,公司形成了覆蓋光刻膠、焊接材料、電子膠等領(lǐng)域的豐富產(chǎn)品線。在焊接材料方面,不僅提供常規(guī)錫膏、助焊膏,還針對(duì)特殊場(chǎng)景開發(fā)了 BGA 助焊膏、針筒錫膏等定制化產(chǎn)品,滿足精密電子組裝的多樣化需求。同時(shí),感光膠系列產(chǎn)品分為水性與油性兩類,兼具耐潮性與易操作性,廣泛應(yīng)用于印刷電路板制造。
半導(dǎo)體材料方案選吉田,歐盟 REACH 合規(guī),24 小時(shí)技術(shù)支持!
光刻膠(Photoresist)是一種對(duì)光敏感的高分子材料,主要用于光刻工藝中,通過光化學(xué)反應(yīng)實(shí)現(xiàn)圖案的轉(zhuǎn)移,是半導(dǎo)體、集成電路(IC)、印刷電路板(PCB)、液晶顯示(LCD)等制造領(lǐng)域的材料之一。
光刻膠特性與組成
? 光敏性:在特定波長(如紫外光、極紫外光EUV等)照射下,會(huì)發(fā)生化學(xué)結(jié)構(gòu)變化(如交聯(lián)或分解),從而改變?cè)陲@影液中的溶解性。
? 主要成分:
? 樹脂(成膜劑):形成基礎(chǔ)膜層,決定光刻膠的機(jī)械和化學(xué)性能。
? 光敏劑:吸收光能并引發(fā)化學(xué)反應(yīng)(如光分解、光交聯(lián))。
? 溶劑:調(diào)節(jié)粘度,便于涂覆成膜。
? 添加劑:改善性能(如感光度、分辨率、對(duì)比度等)。
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吉田半導(dǎo)體獲評(píng) "專精特新" 企業(yè),行業(yè)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn),以技術(shù)創(chuàng)新與標(biāo)準(zhǔn)化生產(chǎn)為,吉田半導(dǎo)體榮獲 "廣東省專精特新企業(yè)" 稱號(hào),樹立行業(yè)。
憑借在光刻膠領(lǐng)域的表現(xiàn),吉田半導(dǎo)體獲評(píng) "廣東省專精特新企業(yè)"" ",承擔(dān)多項(xiàng)國家 02 專項(xiàng)課題。公司主導(dǎo)制定《半導(dǎo)體光刻膠用樹脂技術(shù)規(guī)范》等行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),推動(dòng)國產(chǎn)材料標(biāo)準(zhǔn)化進(jìn)程。未來,吉田半導(dǎo)體將繼續(xù)以" 中國半導(dǎo)體材料方案提供商 "為愿景,深化技術(shù)研發(fā)與市場(chǎng)拓展,為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展貢獻(xiàn)" 中國力量 "。福州LCD光刻膠品牌