動(dòng)力電池生產(chǎn)涉及易燃易爆材料,對(duì)無塵車間的安全防護(hù)要求極高。廣東楚嶸公司設(shè)計(jì)的動(dòng)力電池?zé)o塵車間,采用了防爆型電氣設(shè)備和七氟丙烷滅火系統(tǒng),確保了電芯分選、注液等工序的安全。同時(shí),車間內(nèi)還設(shè)置了氣體檢測(cè)儀和緊急排風(fēng)系統(tǒng),實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)電解液蒸汽濃度,并在濃度超標(biāo)時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)排風(fēng)系統(tǒng),防止風(fēng)險(xiǎn)。楚嶸公司還提供了應(yīng)急處理預(yù)案和培訓(xùn)服務(wù),確保員工在緊急情況下能夠迅速應(yīng)對(duì)。半導(dǎo)體封裝工序?qū)ξ⑽廴緲O為敏感,直接影響產(chǎn)品良率。廣東楚嶸公司設(shè)計(jì)的半導(dǎo)體封裝無塵車間,采用了化學(xué)過濾機(jī)組與FFU風(fēng)機(jī)過濾單元組合方案,對(duì)0.1μm顆粒過濾效率達(dá)99.9995%。在引線鍵合區(qū),楚嶸公司設(shè)置了單獨(dú)的百級(jí)潔凈艙,通過層流送風(fēng)維持正壓環(huán)境,有效減少了微污染對(duì)封裝良率的影響。同時(shí),車間內(nèi)還配備了在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng),實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)潔凈度等關(guān)鍵參數(shù),確保封裝過程的穩(wěn)定性。醫(yī)藥無菌制劑無塵車間,浮游菌≤1CFU/m3,確保產(chǎn)品無菌性。江蘇醫(yī)療器械無塵車間設(shè)計(jì)公司
鋰電池拆解過程易產(chǎn)生粉塵污染,對(duì)無塵車間的粉塵控制要求極高。設(shè)計(jì)的無塵車間,采用了先進(jìn)的下吸式集塵裝置和防爆型真空吸塵器,將粉塵濃度控制在1mg/m3以下。同時(shí),楚嶸公司還注重環(huán)保處理,對(duì)收集的粉塵進(jìn)行專業(yè)處理,確保符合環(huán)保要求。車間內(nèi)還設(shè)置了氣體檢測(cè)儀和緊急排風(fēng)系統(tǒng),確保拆解過程的安全性和環(huán)保性。光刻工序?qū)o塵車間的潔凈度要求極高,直接影響光刻精度。設(shè)計(jì)的半導(dǎo)體光刻無塵車間,采用了先進(jìn)的空氣凈化系統(tǒng)和化學(xué)過濾機(jī)組,對(duì)0.1μm顆粒過濾效率達(dá)99.9995%。在光刻機(jī)臺(tái)周圍,楚嶸公司設(shè)置了單獨(dú)的百級(jí)潔凈罩,通過層流送風(fēng)維持正壓環(huán)境,確保了光刻膠涂布與曝光過程的潔凈度。同時(shí),車間內(nèi)還配備了在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng),實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)潔凈度等關(guān)鍵參數(shù),確保光刻精度的穩(wěn)定性。浙江鋰電池?zé)o塵車間改造離子注入無塵車間,金屬污染≤1×10^6atoms/cm2,提升器件性能。
無塵車間,亦稱為潔凈室或無塵室,是指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)溫度、濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電等控制在某一需求范圍內(nèi)的特別設(shè)計(jì)房間。其目的作用在于控制產(chǎn)品所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在良好環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,為眾多行業(yè)提供穩(wěn)定、可靠的生產(chǎn)環(huán)境。無塵車間的潔凈度等級(jí)一般分為十級(jí)、百級(jí)、千級(jí)、萬級(jí)、十萬級(jí)、三十萬級(jí)6個(gè)等級(jí)。不同等級(jí)適用于不同生產(chǎn)需求,等級(jí)越高,潔凈度要求越嚴(yán)格。例如,千級(jí)無塵車間將某房間內(nèi)每立方米大于或等于0.1微米的塵埃粒子數(shù)量控制在1000個(gè)以內(nèi),廣泛應(yīng)用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品生產(chǎn)、測(cè)試等領(lǐng)域。
千級(jí)無塵車間對(duì)塵埃粒子有嚴(yán)格數(shù)量控制。塵埃粒子大于或等于0.2微米的數(shù)量不超過237000個(gè),大于或等于0.3微米的微塵數(shù)量不超過102000個(gè),大于或等于0.5微米的塵埃數(shù)量不超過35200個(gè),大于或等于1微米的塵埃數(shù)量不超過8320個(gè),大于或等于5微米的微塵數(shù)量不超過293個(gè)。這些標(biāo)準(zhǔn)確保車間內(nèi)空氣潔凈度達(dá)到極高水平,滿足高質(zhì)量生產(chǎn)需求。千級(jí)無塵車間不僅對(duì)塵埃粒子有嚴(yán)格標(biāo)準(zhǔn),對(duì)微生物數(shù)量也有明確控制。每立方米內(nèi)的浮游菌數(shù)量控制在5到100個(gè)之間,沉降菌數(shù)量控制在1 - 3個(gè)以內(nèi)。通過嚴(yán)格的微生物數(shù)量控制,有效防止產(chǎn)品受到微生物污染,保障產(chǎn)品質(zhì)量和安全性。千級(jí)無塵車間對(duì)溫濕度有精確控制要求。溫度冬季20 - 22℃;夏季24 - 26℃;波動(dòng)±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30 - 50%,夏季潔凈室濕度控制在50% - 70%。合適的溫濕度環(huán)境有助于維持車間內(nèi)設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行,保證生產(chǎn)過程的順利進(jìn)行,同時(shí)也有利于提高產(chǎn)品質(zhì)量。垂直單向流送風(fēng),顆粒物濃度≤10粒/m3,提升半導(dǎo)體良品率。
在此之外,無塵車間的智能化升級(jí)正在成為行業(yè)趨勢(shì)。廣東楚嶸建設(shè)工程有限公司等企業(yè)已將物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)融入車間管理,通過嵌入式傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)溫濕度、壓差、顆粒物濃度等參數(shù),實(shí)時(shí)反饋,數(shù)據(jù)收集,并聯(lián)動(dòng)FFU風(fēng)機(jī)過濾單元、空調(diào)機(jī)組等設(shè)備實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)節(jié)。這種閉環(huán)控制系統(tǒng)不僅減少人工干預(yù),更將環(huán)境波動(dòng)范圍縮小50%以上。例如,在半導(dǎo)體光刻工序中,智能系統(tǒng)可維持溫度波動(dòng)±0.1℃、濕度波動(dòng)±1%RH,確保光刻膠涂布與曝光過程的穩(wěn)定性。智能門禁與合規(guī)管理,確保人員操作規(guī)范與潔凈環(huán)境。安徽半導(dǎo)體無塵車間平臺(tái)
無塵車間設(shè)置應(yīng)急排風(fēng)系統(tǒng),毒氣泄漏時(shí)30秒內(nèi)完成置換。江蘇醫(yī)療器械無塵車間設(shè)計(jì)公司
半導(dǎo)體制造是無塵車間應(yīng)用特別的領(lǐng)域之一。在芯片生產(chǎn)過程中,微小的塵埃顆粒或污染物都可能導(dǎo)致電路短路、漏電或性能下降,甚至使整個(gè)芯片報(bào)廢。因此,半導(dǎo)體制造對(duì)無塵車間的潔凈度要求極高,通常需要達(dá)到ISO 1級(jí)或更高的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。無塵車間通過高效的空氣過濾系統(tǒng)、嚴(yán)格的氣流組織設(shè)計(jì)和精密的環(huán)境控制,為半導(dǎo)體制造提供了一個(gè)幾乎無塵、無菌的生產(chǎn)環(huán)境。在半導(dǎo)體制造中,無塵車間面臨著諸多技術(shù)挑戰(zhàn)。首先,隨著芯片特征尺寸的不斷縮小,對(duì)潔凈度的要求也越來越高。江蘇醫(yī)療器械無塵車間設(shè)計(jì)公司