肖特基發(fā)射式掃描電鏡的操作溫度為1800K,它是在鎢(100)單晶上鍍ZrO覆蓋層,ZrO將功函數(shù)從純鎢的4.5eV降至2.8eV,而外加高電場更使電位障壁變窄變低,使得電子很容易以熱能的方式跳過能障(并非穿隧效應(yīng)),逃出針尖表面,所需真空度約10-8~10-9torr。其發(fā)射電流穩(wěn)定度佳,而且發(fā)射的總電流也大。而其電子能量散布很小,但稍遜于冷場發(fā)射式電子長筒械具。其電子源直徑比冷式大,所以影像分辨率也比冷場發(fā)射式稍差一點。由于ZrO一直是覆在燈絲上的,因此肖特基的束流非常穩(wěn)定,但較終ZrO耗盡時,燈絲的壽命也就到了,一般在2-3年。掃描電鏡普遍應(yīng)用于礦物學(xué)領(lǐng)域的研究。韶關(guān)日立掃描電鏡一般多少錢一臺
掃描電鏡(scanningelectronmicroscope,SEM)是一種用于高分辨率微區(qū)形貌分析的大型精密儀器。具有景深大、分辨率高,成像直觀、立體感強、放大倍數(shù)范圍寬以及待測樣品可在三維空間內(nèi)進行旋轉(zhuǎn)和傾斜等特點。另外具有可測樣品種類豐富,幾乎不損傷和污染原始樣品以及可同時獲得形貌、結(jié)構(gòu)、成分和結(jié)晶學(xué)信息等優(yōu)點。目前,掃描電鏡已被普遍應(yīng)用于生命科學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)、司法、地球科學(xué)、材料學(xué)以及工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域的微觀研究,但在地球科學(xué)方面就包括了結(jié)晶學(xué)、礦物學(xué)、礦床學(xué)、沉積學(xué)、地球化學(xué)、寶石學(xué)、微體古生物、天文地質(zhì)、油氣地質(zhì)、工程地質(zhì)和構(gòu)造地質(zhì)等。銅仁冷凍掃描電鏡報價掃描電鏡是用途較為普遍的一種儀器。
SEM的工作原理是用一束極細(xì)的電子束掃描樣品,在樣品表面激發(fā)出次級電子,次級電子的多少與電子束入射角有關(guān),也就是說與樣品的表面結(jié)構(gòu)有關(guān),次級電子由探測體收集,并在那里被閃爍器轉(zhuǎn)變?yōu)楣庑盘?,再?jīng)光電倍增管和放大器轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘杹砜刂茻晒馄辽想娮邮膹姸?,顯示出與電子束同步的掃描圖像。圖像為立體形象,反映了標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu)。分辨率高,放大倍數(shù)范圍廣,可以從幾倍到幾十萬倍,連續(xù)可調(diào),便于尋找缺陷并建立微觀形貌和宏觀形貌之間的聯(lián)系;景深大,有很強的立體感,適于觀察像斷口那樣粗糙的表面;加配能譜儀和波譜儀后,可同時進行成分分析。
掃描電鏡的附件:掃描電鏡一般都配有波譜儀或者能譜儀。波譜儀和能譜儀是不能互相取代的,只能是互相補充。波譜儀是利用布拉格方程2dsinθ=λ,從試樣激發(fā)出了X射線經(jīng)適當(dāng)?shù)木w分光,波長不同的特征X射線將有不同的衍射角2θ。波譜儀是微區(qū)成分分析的有力工具。波譜儀的波長分辨率是很高的,但是由于X射線的利用率很低,所以它使用范圍有限。能譜儀是利用X光量子的能量不同來進行元素分析的方法,對于某一種元素的X光量子從主量子數(shù)為n1的層躍遷到主量子數(shù)為n2的層上時,有特定的能量ΔE=En1-En2。能譜儀的分辨率高,分析速度快,但分辨本領(lǐng)差,經(jīng)常有譜線重疊現(xiàn)象,而且對于低含量的元素分析準(zhǔn)確度很差。掃描電鏡的樣品制備很簡單。
掃描電鏡對樣品的要求:四無(無磁、無毒、無污染、無放射性),三有(具有穩(wěn)定性、干燥性、導(dǎo)電性),兩不(不發(fā)光、非高溫)。盡量保持樣品原始的表面形態(tài)和結(jié)構(gòu)。顆?;蚍勰?shù)量要適中,避免團聚;塊狀樣品體積要控制在120mm×80mm×50mm以內(nèi)、高度限制在5~10mm左右。測試的整個流程要注意清潔。為降低樣品污染程度,可事先用酒精或超聲波清洗。觀察成分相的樣品表面應(yīng)盡量光滑,高度差異不可太大,必要時需精細(xì)拋光。待測面為錐狀、似錐狀或有明顯棱角、尖角等的突兀狀樣品無法測試。同樣,樣品底面因不平整而阻礙導(dǎo)電處理的樣品需要磨平。掃描電鏡普遍應(yīng)用于沉積學(xué)領(lǐng)域的研究。南寧蔡司掃描電鏡
掃描電鏡成像直觀、立體感強。韶關(guān)日立掃描電鏡一般多少錢一臺
和透射電鏡相比,掃描電鏡試樣制備比較簡單。在保持材料原始形狀情況下,可以直接觀察和研究試樣表面形貌及其它物理效應(yīng)(特征),這是掃描電鏡的一個突出優(yōu)點。掃描電鏡的有關(guān)制樣技術(shù)是以透射電鏡、光學(xué)顯微鏡及電子探針X射線顯微分析制樣技術(shù)為基礎(chǔ)發(fā)展起來的,有些方面還兼具透射電鏡制樣技術(shù),所用設(shè)備也基本相同。但因掃描電鏡有其本身的特點和觀察條件,只簡單地引用已有的制樣方法是不夠的。掃描電鏡的特點是:觀察試樣為不同大小的固體(塊狀、薄膜、顆粒),并可在真空中直接進行觀察。試樣應(yīng)具有良好的導(dǎo)電性能,不導(dǎo)電的試樣,其表面一般需要蒸涂一層金屬導(dǎo)電膜。試樣表面一般起伏(凹凸)較大。觀察方式不同,制樣方法有明顯區(qū)別。試樣制備與加速電壓、電子束流、掃描速度(方式)等觀察條件的選擇有密切關(guān)系。韶關(guān)日立掃描電鏡一般多少錢一臺
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