掃描電鏡應(yīng)用范圍：進(jìn)行材料斷口的分析。掃描電鏡的另一個(gè)重要特點(diǎn)是景深大,圖象富有立體感。掃描電鏡的焦深比透射掃描電鏡大10倍,比光學(xué)顯微鏡大幾百倍。由于圖象景深大,故所得掃描電子象富有立體感,具有三維形態(tài),能夠提供比其他顯微鏡多得多的信息,這個(gè)特點(diǎn)對(duì)使用者很有價(jià)值。掃描電鏡所顯示的斷口形貌從深層次、高景深的角度呈現(xiàn)材料斷裂的本質(zhì),在教學(xué)、科研和生產(chǎn)中,有不可替代的作用,在材料斷裂原因的分析、事故原因的分析以及工藝合理性的判定等方面是一個(gè)強(qiáng)有力的手段。掃描電鏡可以直接觀(guān)察大試樣的原始表面。福建掃描電鏡好不好用
掃描電鏡類(lèi)型多樣,不同類(lèi)型的掃描電鏡存在性能上的差異。根據(jù)電子長(zhǎng)筒械具種類(lèi)可分為三種:場(chǎng)發(fā)射電子長(zhǎng)筒械具、鎢絲長(zhǎng)筒械具和六硼化鑭。其中,場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡根據(jù)光源性能可分為冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡和熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡。冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡對(duì)真空條件要求高,束流不穩(wěn)定,發(fā)射體使用壽命短,需要定時(shí)對(duì)針尖進(jìn)行清洗,但局限于單一的圖像觀(guān)察,應(yīng)用范圍有限;而熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡不但連續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng),還能與多種附件搭配實(shí)現(xiàn)綜合分析。在地質(zhì)領(lǐng)域中,我們不但需要對(duì)樣品進(jìn)行初步形貌觀(guān)察,還需要結(jié)合分析儀對(duì)樣品的其它性質(zhì)進(jìn)行分析,所以熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的應(yīng)用更為普遍。珠海掃描電鏡好不好用掃描電鏡與電視一樣是由控制電子束偏轉(zhuǎn)的電子系統(tǒng)來(lái)完成的。
掃描電鏡(scanningelectronmicroscope,SEM)是一種用于高分辨率微區(qū)形貌分析的大型精密儀器。具有景深大、分辨率高,成像直觀(guān)、立體感強(qiáng)、放大倍數(shù)范圍寬以及待測(cè)樣品可在三維空間內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和傾斜等特點(diǎn)。另外具有可測(cè)樣品種類(lèi)豐富,幾乎不損傷和污染原始樣品以及可同時(shí)獲得形貌、結(jié)構(gòu)、成分和結(jié)晶學(xué)信息等優(yōu)點(diǎn)。目前,掃描電鏡已被普遍應(yīng)用于生命科學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)、司法、地球科學(xué)、材料學(xué)以及工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域的微觀(guān)研究,但在地球科學(xué)方面就包括了結(jié)晶學(xué)、礦物學(xué)、礦床學(xué)、沉積學(xué)、地球化學(xué)、寶石學(xué)、微體古生物、天文地質(zhì)、油氣地質(zhì)、工程地質(zhì)和構(gòu)造地質(zhì)等。
真空系統(tǒng)：真空系統(tǒng)主要包括真空泵和真空柱兩部分。真空柱是一個(gè)密封的柱形容器。真空泵用來(lái)在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空。有機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵以及渦輪分子泵三大類(lèi)，機(jī)械泵加油擴(kuò)散泵的組合可以滿(mǎn)足配置鎢燈絲長(zhǎng)筒械具的掃描電鏡的真空要求，但對(duì)于裝置了場(chǎng)致發(fā)射長(zhǎng)筒械具或六硼化鑭及六硼化鈰長(zhǎng)筒械具的掃描電鏡,則需要機(jī)械泵加渦輪分子泵的組合。成象系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內(nèi)置在真空柱中。真空柱底端即為右圖所示的樣品室，用于放置樣品。需要真空的原因包括：一是電子束系統(tǒng)中的燈絲在普通大氣中會(huì)迅速氧化而失效，所以需要抽真空。二是為了增大電子的平均自由程，從而使得用于成象的電子更多。掃描電鏡是一種介于透射掃描電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀(guān)察手段。
電磁透鏡：熱發(fā)射電子需要電磁透鏡來(lái)成束，所以在用熱發(fā)射電子長(zhǎng)筒械具的掃描電鏡上，電磁透鏡必不可少。通常會(huì)裝配兩組：匯聚透鏡和物鏡，匯聚透鏡但但用于匯聚電子束，與成象會(huì)焦無(wú)關(guān);物鏡負(fù)責(zé)將電子束的焦點(diǎn)匯聚到樣品表面。掃描線(xiàn)圈的作用是使電子束偏轉(zhuǎn)，并在樣品表面作有規(guī)則的掃動(dòng)，電子束在樣品上的掃描動(dòng)作和顯像管上的掃描動(dòng)作保持嚴(yán)格同步，因?yàn)樗鼈兪怯赏粧呙璋l(fā)生器控制的。樣品室內(nèi)除放置樣品外，還安置信號(hào)探測(cè)器。信號(hào)探測(cè)處理和顯示系統(tǒng)：電子經(jīng)過(guò)一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作用，會(huì)產(chǎn)生二次電子、背散射電子、俄歇電子以及X射線(xiàn)等一系列信號(hào)。所以需要不同的探測(cè)器譬如二次電子探測(cè)器、X射線(xiàn)能譜分析儀等來(lái)區(qū)分這些信號(hào)以獲得所需要的信息。雖然X射線(xiàn)信號(hào)不能用于成象，但習(xí)慣上，仍然將X射線(xiàn)分析系統(tǒng)劃分到成象系統(tǒng)中。掃描電鏡普遍應(yīng)用于礦床學(xué)領(lǐng)域的研究。珠海掃描電鏡好不好用
掃描電鏡不損傷和污染原始樣品。福建掃描電鏡好不好用
場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡：場(chǎng)發(fā)射式電子長(zhǎng)筒械具則比鎢燈絲和六硼化鑭燈絲的亮度又分別高出10-100倍，放大倍率由25倍到650000倍，同時(shí)電子能量散布但為0.2-0.3eV，在使用加速電壓15kV時(shí)，分辨率可達(dá)到1nm，加速電壓1kV時(shí)，分辨率可達(dá)到2.2nm，所以目前市售的高分辨率掃描電鏡都采用場(chǎng)發(fā)射式電子長(zhǎng)筒械具，一般鎢絲型的掃描電鏡儀器上的放大倍率可到200000倍，實(shí)際操作時(shí)，大部份均在20000倍時(shí)影像便不清楚了，但如果樣品的表面形貌及導(dǎo)電度合適，較大倍率650000倍是可以達(dá)成的。福建掃描電鏡好不好用
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