激光干涉儀是利用激光作為長度基準,對數控設備(加工中心、三座標測量機等)的位置精度(定位精度、重復定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進行精密測量的精密測量儀器。為通過受激發(fā)射線的放射達到光的放大,即激光。大多數現代位移干涉儀都使用氦氛(He-Ne)激光管,這些激光管具有633納米(nm)的波長輸出。激光具有三個重要特性:激光波長非常穩(wěn)定,可以滿足精密測量的要求。激光波長非常短,可以用于高精度測量。激光具有干涉特性。影響激光干涉儀測量精度的因素包括:溫濕度、壓力傳感器誤差。廣東激光干涉儀加工生產
激光干涉儀常配合筆記本電腦使用,但如果不注意使用的問題,無論是軟件矛盾、抑或是電腦病毒,往往會影響到測量和使用。激光干涉儀具有有線性測量鏡組、角度測量鏡組、平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準直輔助鏡等等,實際使用中,有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用,以滿足測量需要。比如角度測量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測量鏡組中的反射鏡;激光器準直輔助鏡的使用可以減少準直調整的時間。同時,激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用,常見的利用分光鏡或者光學直角器,達到改變光路,方便測量的目的。這需要,了解設備性能、掌握測量技巧,在滿足測量準確度的前提下活學活用。機床校準激光干涉儀價格激光干涉儀在位移傳感器檢定中的應用已成為一大發(fā)展趨勢。
在激光干涉儀引力波探測器中要盡可能地使用高激光功率,使用功率循環(huán)技術??梢杂行У刈龅竭@一點,其基本的想法是把從干涉儀亮出來的光重新收集起來,再注入干涉儀中,進行循環(huán)利用。因為激光干涉儀引力波探測器的工作點選擇在暗紋條件,如果干涉儀內的光損耗很小,幾乎所有的入射光功率都會經載頻出,這是極大的浪費。在激光器和分光鏡之間放上一面鏡子,就能實現光能的回收。這面鏡子稱為功率循環(huán)鏡,它把這部分漏出的光與從激光器來的新鮮光混合,一起注入到干涉儀內,則干涉儀內的有效功率將增加。
激光干涉儀引力波探測器要求激光束的橫向剖面具有純凈的TEM00模式,即應該是基模厄米-高斯模式。因為高階模式與干涉儀的不對稱性相耦合,會使輸出信號的對比度變差,而且高階模式會使法布里-珀羅腔鏡子表面光強分布改變,產生附加的熱噪聲。高階模式的振幅是不穩(wěn)定的,它會使鏡子不同部位受到的輻射壓力發(fā)生變化,產生附加的輻射壓力噪聲,嚴重時會使鏡子抖動引起干涉儀鎖定狀態(tài)的不穩(wěn)定。通過清模器可以清理高階橫向模式,清模器的主體部分是一個具有較高透射率的行波諧振腔,常采用由三面光學鏡組成的銳三角形結構,其優(yōu)點是清模效果好,光束抖動噪聲小,能選擇偏振形式,具有高的頻率穩(wěn)定性,沒有光從清模器返回激光器。合理設計三面鏡子的反射和透射系數并適當調節(jié)銳角上的鏡子,使載頻激光和兩個旁頻都能共振通過。激光干涉儀使用注意事項:盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等。
激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成??蓾M足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡。激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等。遼寧小型激光干涉儀
激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數控機床。廣東激光干涉儀加工生產
近幾年,隨著光學產品的快速發(fā)展,從航天等高科技產品到數碼相機、手機等大眾消費產品,無不與光學息息相關,推動了光學研究和光學加工的快速發(fā)展,同時也光學檢測手段提出了更高的要求,也正因為如此,激光干涉儀成為眾多光學冷加工廠商的夢想與追求,擁有一臺激光干涉儀,就擁有世界的檢測手段,就擁有令人信服的檢測結果,就能證明可以生產的產品。激光干涉儀的使用方法:1、開機:接通電源打開電源開關,1分鐘后開始檢測。(因為剛開機激光器不穩(wěn)定)2、光路調整:旋上適合的標準鏡頭使標準鏡頭的星點對準尋星窗口中間的黑點,顯示器上顯示完整的圓形圖像。廣東激光干涉儀加工生產