激光干涉儀以光波為載體,具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、比較高測速下分辨率高等特點(diǎn),其光波波長可直接對(duì)米進(jìn)行定義并溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)。因此,激光干涉儀普遍應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、PCB鉆孔機(jī)、坐標(biāo)測量機(jī)、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準(zhǔn)以及科研開發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域。激光干涉儀會(huì)在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。若光程差有變化時(shí),這些變化會(huì)被計(jì)算并用來測量兩個(gè)光程之間的差異變化。激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束,光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,比較后重新匯聚返回激光干涉儀。激光干涉儀有哪些種類?高精度測量激光干涉儀定制
隨著高精度數(shù)控機(jī)床行業(yè)的快速發(fā)展,激光干涉儀在機(jī)床行業(yè)的使用越來越普遍,然而其在使用過程中對(duì)激光光路的準(zhǔn)直調(diào)整卻一直是困擾廣大激光干涉儀用戶的一大問題,因?yàn)榧す飧缮鎯x在使用過程中光路準(zhǔn)直調(diào)整占用了很大一部分時(shí)間。目前大多數(shù)生產(chǎn)企業(yè)的激光干涉儀操作人員的校準(zhǔn)方法都是憑經(jīng)驗(yàn),來回反復(fù)調(diào)整,也有人提出“高處動(dòng)尾部,低處動(dòng)整體”的方法。其實(shí)后一種方法只是對(duì)前者的一種方法的經(jīng)驗(yàn)總結(jié),后一種方法是從整體上把握了調(diào)整的方向,可以讓操作人員少走彎路,但并未提出一種定量的調(diào)整方法,所以在光路大體調(diào)整好后,還是靠經(jīng)驗(yàn)感覺反復(fù)進(jìn)行進(jìn)一步精調(diào),所以光路準(zhǔn)直工作的效率還是亟待提高。成都工業(yè)激光干涉儀加工生產(chǎn)激光干涉儀是一種高精度位移傳感器。
激光干涉儀的應(yīng)用:幾何精度檢測??捎糜跈z測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。位置精度的檢測及其自動(dòng)補(bǔ)償可檢測數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。利用激光干涉儀不只能自動(dòng)測量機(jī)器的誤差,而且還能通過RS232接口自動(dòng)對(duì)其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償,比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時(shí)間,并且避免了手工計(jì)算和手動(dòng)數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時(shí)可比較大限度地選用被測軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù),使機(jī)床達(dá)到比較佳精度,另外操作者無需具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識(shí)。
激光干涉儀的使用方法:開機(jī):接通電源打開電源開關(guān),1分鐘后開始檢測。(因?yàn)閯傞_機(jī)激光器不穩(wěn)定)。光路調(diào)整:旋上適合的標(biāo)準(zhǔn)鏡頭使標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的星點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)尋星窗口中間的黑點(diǎn),顯示器上顯示完整的圓形圖像。透鏡面形檢測:調(diào)節(jié)沉座到被檢透鏡的適合尺寸,(建議大批量固定透鏡的檢測,自己加工固定的沉座)放上透鏡調(diào)節(jié)高度和透鏡調(diào)節(jié)鈕使透鏡的星點(diǎn)與標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的星點(diǎn)重合,觀測顯示器是否出現(xiàn)干涉條紋,條紋越少精度越高。其干涉圖像與對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)同步,無需切換,任何人都能簡單操作。高度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)選擇加長的測試軌道來配合測量尺寸,可簡便的測量出曲率半徑。激光干涉儀原理:激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束。
激光干涉儀是利用激光作為長度基準(zhǔn),對(duì)數(shù)控設(shè)備(加工中心、三座標(biāo)測量機(jī)等)的位置精度(定位精度、重復(fù)定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進(jìn)行精密測量的精密測量儀器。為通過受激發(fā)射線的放射達(dá)到光的放大,即激光。大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氛(He-Ne)激光管,這些激光管具有633納米(nm)的波長輸出。激光具有三個(gè)重要特性:激光波長非常穩(wěn)定,可以滿足精密測量的要求。激光波長非常短,可以用于高精度測量。激光具有干涉特性。激光干涉儀使用注意事項(xiàng):導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動(dòng)部件,應(yīng)當(dāng)保持良好的潤滑。濟(jì)南工業(yè)激光干涉儀定購
對(duì)激光干涉儀要小心輕放,避免強(qiáng)烈的沖擊震動(dòng)。高精度測量激光干涉儀定制
激光干涉儀以干涉技術(shù)為關(guān)鍵,其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。激光干涉儀可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。軟件強(qiáng):友好的人機(jī)界面;豐富的應(yīng)用功能模塊;向?qū)降牟僮髁鞒蹋缓啙嵒挠涗浌芾?;支持中文、英文和俄文界面;支持企業(yè)專屬模板定制。高精度測量激光干涉儀定制