光刻設(shè)備對(duì)溫濕度的要求也極高,光源發(fā)出的光線需經(jīng)過一系列復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)聚焦到硅片表面特定區(qū)域,以實(shí)現(xiàn)對(duì)光刻膠的曝光,將設(shè)計(jì)好的電路圖案印制上去。當(dāng)環(huán)境溫度出現(xiàn)極其微小的波動(dòng),哪怕只是零點(diǎn)幾攝氏度的變化,光刻機(jī)內(nèi)部的精密光學(xué)元件就會(huì)因熱脹冷縮特性而產(chǎn)生細(xì)微的尺寸改變。這些光學(xué)元件包括鏡片、反射鏡等,它們的微小位移或形狀變化,會(huì)使得光路發(fā)生偏差。原本校準(zhǔn)、聚焦于硅片特定坐標(biāo)的光線,就可能因?yàn)楣饴返母淖兌x預(yù)定的曝光位置,出現(xiàn)曝光位置的漂移。提供專業(yè)的售后團(tuán)隊(duì),定期回訪設(shè)備使用情況,及時(shí)解決潛在問題。陜西定制溫濕度
原子力顯微鏡,堪稱納米尺度下微觀世界探索的一把利刃,在材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)等前沿領(lǐng)域發(fā)揮著無可替代的重要作用。它能夠?qū)ξ⒂^形貌進(jìn)行觀測(cè),并細(xì)致地測(cè)量力學(xué)性能,為科研工作者打開了通往微觀世界的大門。然而,這一精密儀器對(duì)環(huán)境條件極為敏感。即便是極其微小的溫度波動(dòng),哪怕只有零點(diǎn)幾攝氏度的變化,都會(huì)對(duì)其關(guān)鍵部件 —— 微懸臂產(chǎn)生影響。微懸臂會(huì)因熱脹冷縮效應(yīng),改變自身的共振頻率與彈性系數(shù),使得測(cè)量力與位移的精度大幅下降,難以探測(cè)樣品表面的原子級(jí)細(xì)微起伏。在濕度方面,高濕度環(huán)境同樣是個(gè)棘手的難題。此時(shí),水汽極易在針尖與樣品之間悄然凝結(jié),額外增加的毛細(xì)作用力,會(huì)嚴(yán)重干擾測(cè)量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。不僅如此,水汽長(zhǎng)期作用還可能腐蝕微懸臂,極大地縮短儀器的使用壽命,給科研工作帶來諸多阻礙。浙江溫濕度調(diào)控箱高精密環(huán)控設(shè)備可移動(dòng),容易維護(hù)和擴(kuò)展。
數(shù)據(jù)可視化與便捷管理是設(shè)備亮點(diǎn)。設(shè)備自動(dòng)生成數(shù)據(jù)曲線,如同設(shè)備運(yùn)行 “心電圖”,便于客戶隨時(shí)查看設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)。數(shù)據(jù)自動(dòng)保存,可隨時(shí)以表格的形式導(dǎo)出,方便客戶進(jìn)行數(shù)據(jù)分析和處理。運(yùn)行狀態(tài)、故障狀態(tài)等事件同步記錄,查詢一目了然,讓客戶對(duì)設(shè)備狀態(tài)了如指掌。設(shè)備采用可拆卸鋁合金框架,大型設(shè)備可現(xiàn)場(chǎng)組裝,靈活便捷,減少運(yùn)輸壓力,方便不同環(huán)境使用運(yùn)行。箱體采用高質(zhì)量鈑金材質(zhì),美觀大方,可根據(jù)客戶需求定制外觀顏色,滿足客戶的個(gè)性化需求。
如在航空航天領(lǐng)域的制造工藝對(duì)精度要求極高,任何微小的誤差都可能在飛行器高速飛行、復(fù)雜環(huán)境運(yùn)行時(shí)引發(fā)嚴(yán)重后果。精密環(huán)控柜在航空航天精密制造過程中扮演著保駕護(hù)航的角色。在航空發(fā)動(dòng)機(jī)零部件的制造中,如渦輪葉片的加工,葉片的尺寸精度和表面質(zhì)量直接影響發(fā)動(dòng)機(jī)的性能和效率。精密環(huán)控柜通過控制生產(chǎn)車間的溫濕度,避免加工設(shè)備因溫度變化產(chǎn)生熱變形,確保刀具切削路徑的準(zhǔn)確性,從而保證渦輪葉片的加工精度符合嚴(yán)格標(biāo)準(zhǔn)。同時(shí),穩(wěn)定的濕度環(huán)境可防止金屬材料生銹腐蝕,延長(zhǎng)刀具使用壽命,減少因設(shè)備故障和材料損耗帶來的生產(chǎn)成本增加。關(guān)于防微振,除了控制風(fēng)速降低振動(dòng)外,在地面增加隔振基礎(chǔ),可有效降低外部微振動(dòng)的傳遞。
我司自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù),控制輸出精度達(dá) 0.1%,能精細(xì)掌控溫度變化。溫度波動(dòng)控制可選 ±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等多檔,滿足嚴(yán)苛溫度需求。該系統(tǒng)潔凈度表現(xiàn)優(yōu)異,可達(dá)百級(jí)、十級(jí)、一級(jí)。關(guān)鍵區(qū)域靜態(tài)溫度穩(wěn)定性 ±5mK,內(nèi)部溫度均勻性小于 16mK/m,為芯片研發(fā)等敏感項(xiàng)目營(yíng)造理想溫場(chǎng),保障實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)不受溫度干擾。濕度方面,8 小時(shí)內(nèi)穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%;壓力穩(wěn)定性為 +/-3Pa,設(shè)備還能連續(xù)穩(wěn)定工作 144 小時(shí),助力長(zhǎng)時(shí)間實(shí)驗(yàn)與制造。在潔凈度上,工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3,既確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果準(zhǔn)確可靠,又保障精密儀器正常工作與使用壽命,推動(dòng)科研與生產(chǎn)進(jìn)步。設(shè)備大小可定制,能匹配各種高精密設(shè)備型號(hào),及操作空間要求,構(gòu)建完整環(huán)境體系,保障高精密設(shè)備正常運(yùn)行。光刻機(jī)高精度溫濕度潔凈
精密環(huán)控柜可滿足可實(shí)現(xiàn)潔凈度百級(jí)、十級(jí)、一級(jí)等不同潔凈度要求。陜西定制溫濕度
對(duì)于光學(xué)儀器,溫度哪怕有細(xì)微變化,都會(huì)引發(fā)諸多問題。由于大多數(shù)光學(xué)儀器采用了玻璃鏡片、金屬鏡筒等不同材質(zhì)的部件,這些材料熱膨脹系數(shù)各異。當(dāng)溫度升高時(shí),鏡片會(huì)膨脹,鏡筒等支撐結(jié)構(gòu)也會(huì)發(fā)生相應(yīng)變化,若膨脹程度不一致,就會(huì)使鏡片在鏡筒內(nèi)的位置精度受到影響,光路隨之發(fā)生偏差。例如在顯微鏡觀察中,原本清晰聚焦的樣本圖像會(huì)突然變得模糊,科研人員無法準(zhǔn)確獲取樣本細(xì)節(jié),影響實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。對(duì)于望遠(yuǎn)鏡而言,溫度波動(dòng)導(dǎo)致的光路變化,會(huì)讓觀測(cè)天體時(shí)的成像偏離理想位置,錯(cuò)過重要天文現(xiàn)象的記錄。陜西定制溫濕度