無損鎖相紅外熱成像系統(tǒng)原理

來源: 發(fā)布時間:2025-08-03

ThermalEMMI(熱紅外顯微鏡)是一種先進的非破壞性檢測技術,主要用于精細定位電子設備中的熱點區(qū)域,這些區(qū)域通常與潛在的故障、缺陷或性能問題密切相關。該技術可在不破壞被測對象的前提下,捕捉電子元件在工作狀態(tài)下釋放的熱輻射與光信號,為工程師提供關鍵的故障診斷線索和性能分析依據(jù)。在諸如復雜集成電路、高性能半導體器件以及精密印制電路板(PCB)等電子組件中,ThermalEMMI能夠快速識別出異常發(fā)熱或發(fā)光的區(qū)域,幫助工程師迅速定位問題根源,從而及時采取有效的維修或優(yōu)化措施。電激勵為鎖相熱成像系統(tǒng)提供穩(wěn)定的熱激勵源。無損鎖相紅外熱成像系統(tǒng)原理

無損鎖相紅外熱成像系統(tǒng)原理,鎖相紅外熱成像系統(tǒng)

電子產業(yè)的存儲器芯片檢測中,電激勵的鎖相熱成像系統(tǒng)發(fā)揮著獨特作用,為保障數(shù)據(jù)存儲安全提供了有力支持。存儲器芯片如 DRAM、NAND Flash 等,是電子設備中用于存儲數(shù)據(jù)的關鍵部件,其存儲單元的質量直接決定了數(shù)據(jù)存儲的可靠性。存儲單元若存在缺陷,如氧化層擊穿、接觸不良等,會導致數(shù)據(jù)丟失、讀寫錯誤等問題。通過對存儲器芯片施加電激勵,進行讀寫操作,缺陷存儲單元會因電荷存儲異常而產生異常溫度。鎖相熱成像系統(tǒng)能夠定位這些缺陷單元的位置,幫助制造商在生產過程中篩選出合格的存儲器芯片,提高產品的合格率。例如,在檢測固態(tài)硬盤中的 NAND Flash 芯片時,系統(tǒng)可以發(fā)現(xiàn)存在壞塊的存儲單元區(qū)域,這些區(qū)域在讀寫操作時溫度明顯升高。通過標記這些壞塊并進行屏蔽處理,能夠有效保障數(shù)據(jù)存儲的安全,推動電子產業(yè)存儲領域的健康發(fā)展。顯微鎖相紅外熱成像系統(tǒng)故障維修電激勵作為一種能量輸入方式,能激發(fā)物體內部熱分布變化,為鎖相熱成像系統(tǒng)捕捉細微溫差提供熱源基礎。

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在實際應用中,這款設備已成為半導體產業(yè)鏈的 “故障診斷利器”。在晶圓制造環(huán)節(jié),它能通過熱分布成像識別光刻缺陷導致的局部漏電;在芯片封裝階段,可定位引線鍵合不良引發(fā)的接觸電阻過熱;針對 IGBT 等功率器件,能捕捉高頻開關下的瞬態(tài)熱行為,提前預警潛在失效風險。某半導體企業(yè)在檢測一批失效芯片時,傳統(tǒng)熱成像設備能看到模糊的發(fā)熱區(qū)域,而使用致晟光電的一體化設備后,通過鎖相技術發(fā)現(xiàn)發(fā)熱區(qū)域內存在一個 2μm 的微小熱點,終定位為芯片內部的金屬離子遷移缺陷 —— 這類缺陷若未及時發(fā)現(xiàn),可能導致產品在長期使用中突然失效。

電子產業(yè)的功率器件檢測中,電激勵的鎖相熱成像系統(tǒng)發(fā)揮著至關重要的作用,為功率器件的安全可靠運行提供了有力保障。功率器件如 IGBT、MOSFET 等,在工作過程中需要承受大電流、高電壓,功耗較大,容易因內部缺陷而產生過熱現(xiàn)象,進而導致器件損壞,甚至引發(fā)整個電子系統(tǒng)的故障。通過施加接近實際工況的電激勵,鎖相熱成像系統(tǒng)能夠模擬功率器件的真實工作狀態(tài),實時檢測器件表面的溫度分布。系統(tǒng)可以發(fā)現(xiàn)芯片內部的熱斑、柵極缺陷、導通電阻異常等問題,這些問題往往是功率器件失效的前兆。檢測獲得的溫度分布數(shù)據(jù)還能為功率器件的設計和生產提供重要參考,幫助工程師優(yōu)化器件的結構設計和制造工藝,提高產品的可靠性。例如,在新能源汽車的電機控制器功率器件檢測中,該系統(tǒng)能夠檢測出器件內部的微小熱斑,提前預警潛在故障,保障新能源汽車的行駛安全。電激勵與鎖相熱成像系統(tǒng)結合,實現(xiàn)無損檢測。

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鎖相熱成像系統(tǒng)與電激勵結合,為電子產業(yè)的芯片失效分析提供了一種全新的方法,幫助企業(yè)快速定位失效原因,改進生產工藝。芯片失效的原因復雜多樣,可能是設計缺陷、材料問題、制造過程中的污染,也可能是使用過程中的靜電損傷、熱疲勞等。傳統(tǒng)的失效分析方法如切片分析、探針測試等,不僅操作復雜、耗時較長,而且可能會破壞失效芯片的原始狀態(tài),難以準確找到失效根源。通過對失效芯片施加特定的電激勵,模擬其失效前的工作狀態(tài),鎖相熱成像系統(tǒng)能夠記錄芯片表面的溫度變化過程,并將其與正常芯片的溫度數(shù)據(jù)進行對比分析,從而找出失效位置和失效原因。例如,當芯片因靜電損傷而失效時,系統(tǒng)會檢測到芯片的輸入端存在異常的高溫區(qū)域;當芯片因熱疲勞失效時,會在芯片的焊接點處發(fā)現(xiàn)溫度分布不均的現(xiàn)象?;谶@些分析結果,企業(yè)可以有針對性地改進生產工藝,減少類似失效問題的發(fā)生??焖俣ㄎ幌啾绕渌麢z測技術,鎖相熱成像技術能夠在短時間內快速定位熱點,縮短失效分析時間。國內鎖相紅外熱成像系統(tǒng)規(guī)格尺寸

鎖相熱成像系統(tǒng)的同步控制模塊需與電激勵源保持高度協(xié)同,極小的同步誤差都可能導致檢測圖像出現(xiàn)相位偏移。無損鎖相紅外熱成像系統(tǒng)原理

電激勵的參數(shù)設置對鎖相熱成像系統(tǒng)在電子產業(yè)的檢測效果有著決定性的影響,需要根據(jù)不同的檢測對象進行精細調控。電流大小的選擇尤為關鍵,必須嚴格適配電子元件的額定耐流值。如果電流過小,產生的熱量不足以激發(fā)明顯的溫度響應,系統(tǒng)將難以捕捉到缺陷信號;

而電流過大則可能導致元件過熱損壞,造成不必要的損失。頻率的選擇同樣不容忽視,高頻電激勵產生的熱量主要集中在元件表面,適合檢測表層的焊接缺陷、線路斷路等問題;低頻電激勵則能使熱量滲透到元件內部,可有效探測深層的結構缺陷,如芯片內部的晶格缺陷。在檢測復雜的集成電路時,技術人員往往需要通過多次試驗,確定比較好的電流和頻率參數(shù)組合,以確保系統(tǒng)能夠清晰區(qū)分正常區(qū)域和缺陷區(qū)域的溫度信號,從而保障檢測結果的準確性。例如,在檢測高精度的傳感器芯片時,通常會采用低電流、多頻率的電激勵方式,以避免對芯片的敏感元件造成干擾。 無損鎖相紅外熱成像系統(tǒng)原理