與傳統(tǒng)的熱成像技術(shù)相比,鎖相熱成像系統(tǒng)擁有諸多不可替代的優(yōu)勢。傳統(tǒng)熱成像技術(shù)往往只能檢測到物體表面的溫度分布,對于物體內(nèi)部不同深度的缺陷難以有效區(qū)分,而鎖相熱成像系統(tǒng)通過對相位信息的分析,能夠區(qū)分不同深度的缺陷,實(shí)現(xiàn)了分層檢測的突破,完美解決了傳統(tǒng)技術(shù)在判斷缺陷深度上的難題。不僅如此,它的抗干擾能力也極為出色,在強(qiáng)光照射、強(qiáng)烈電磁干擾等復(fù)雜且惡劣的環(huán)境下,依然能夠保持穩(wěn)定的工作狀態(tài),為工業(yè)質(zhì)檢工作提供了堅實(shí)可靠的技術(shù)保障,確保了檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性和一致性,這在對檢測精度要求極高的工業(yè)生產(chǎn)中尤為重要。電激勵為鎖相熱成像系統(tǒng)提供穩(wěn)定的熱激勵源。自銷鎖相紅外熱成像系統(tǒng)牌子
在電子產(chǎn)業(yè)的半導(dǎo)體材料檢測中,電激勵的鎖相熱成像系統(tǒng)用途,為半導(dǎo)體材料的質(zhì)量提升提供了重要保障。半導(dǎo)體材料的質(zhì)量直接影響半導(dǎo)體器件的性能,材料中存在的摻雜不均、位錯、微裂紋等缺陷,會導(dǎo)致器件的電學(xué)性能和熱學(xué)性能下降。通過對半導(dǎo)體材料施加電激勵,使材料內(nèi)部產(chǎn)生電流,缺陷處由于導(dǎo)電性能和導(dǎo)熱性能的異常,會產(chǎn)生局部的溫度差異。鎖相熱成像系統(tǒng)能夠敏銳地檢測到這些溫度差異,并通過分析溫度場的分布特征,評估材料的質(zhì)量狀況。例如,在檢測硅晶圓時,系統(tǒng)可以發(fā)現(xiàn)晶圓表面的摻雜不均區(qū)域,這些區(qū)域會影響后續(xù)芯片制造的光刻和刻蝕工藝;在檢測碳化硅材料時,能夠識別出材料內(nèi)部的微裂紋,這些裂紋會導(dǎo)致器件在高壓工作時發(fā)生擊穿。檢測結(jié)果為半導(dǎo)體材料生產(chǎn)企業(yè)提供了詳細(xì)的質(zhì)量反饋,幫助企業(yè)優(yōu)化材料生長工藝,提升電子產(chǎn)業(yè)上游材料的品質(zhì)。低溫?zé)徭i相紅外熱成像系統(tǒng)故障維修利用周期性調(diào)制的熱激勵源對待測物體加熱,物體內(nèi)部缺陷會導(dǎo)致表面溫度分布產(chǎn)生周期性變化。
OBIRCH與EMMI技術(shù)在集成電路失效分析領(lǐng)域中扮演著互補(bǔ)的角色,其主要差異體現(xiàn)在檢測原理及應(yīng)用領(lǐng)域。具體而言,EMMI技術(shù)通過光子檢測手段來精確定位漏電或發(fā)光故障點(diǎn),而OBIRCH技術(shù)則依賴于激光誘導(dǎo)電阻變化來識別短路或阻值異常區(qū)域。這兩種技術(shù)通常被整合于同一檢測系統(tǒng)(即PEM系統(tǒng))中,其中EMMI技術(shù)在探測光子發(fā)射類缺陷,如漏電流方面表現(xiàn)出色,而OBIRCH技術(shù)則對金屬層遮蔽下的短路現(xiàn)象具有更高的敏感度。例如,EMMI技術(shù)能夠有效檢測未開封芯片中的失效點(diǎn),而OBIRCH技術(shù)則能有效解決低阻抗(<10 ohm)短路問題。
光束誘導(dǎo)電阻變化(OBIRCH)功能與微光顯微鏡(EMMI)技術(shù)常被集成于同一檢測系統(tǒng),合稱為光發(fā)射顯微鏡(PEM,PhotoEmissionMicroscope)。二者在原理與應(yīng)用上形成巧妙互補(bǔ),能夠協(xié)同應(yīng)對集成電路中絕大多數(shù)失效模式,大幅提升失效分析的全面性與效率。OBIRCH技術(shù)的獨(dú)特優(yōu)勢在于,即便失效點(diǎn)被金屬層覆蓋形成“熱點(diǎn)”,其仍能通過光束照射引發(fā)的電阻變化特性實(shí)現(xiàn)精細(xì)檢測——這恰好彌補(bǔ)了EMMI在金屬遮擋區(qū)域光信號捕捉受限的不足。鎖相熱成像系統(tǒng)結(jié)合電激勵技術(shù),可實(shí)現(xiàn)對電子元件工作狀態(tài)的實(shí)時監(jiān)測,及時發(fā)現(xiàn)潛在的過熱或接觸不良問題。
這款一體化設(shè)備的核心競爭力,在于打破了兩種技術(shù)的應(yīng)用邊界。熱紅外顯微鏡擅長微觀尺度的熱分布成像,能通過高倍率光學(xué)系統(tǒng)捕捉芯片表面微米級的溫度差異;鎖相紅外熱成像系統(tǒng)則依托鎖相技術(shù),可從環(huán)境噪聲中提取微弱的周期性熱信號,實(shí)現(xiàn)納米級缺陷的精細(xì)定位。致晟光電通過硬件集成與算法優(yōu)化,讓兩者形成 “1+1>2” 的協(xié)同效應(yīng) —— 既保留熱紅外顯微鏡的微觀觀測能力,又賦予其鎖相技術(shù)的微弱信號檢測優(yōu)勢,無需在兩種設(shè)備間切換即可完成從宏觀掃描到微觀定位的全流程分析。電激勵頻率可調(diào),適配鎖相熱成像系統(tǒng)多場景檢測。實(shí)時成像鎖相紅外熱成像系統(tǒng)大概價格多少
鎖相熱成像系統(tǒng)讓電激勵檢測數(shù)據(jù)更可靠。自銷鎖相紅外熱成像系統(tǒng)牌子
鎖相熱成像系統(tǒng)的電激勵方式在電子產(chǎn)業(yè)的多層電路板檢測中優(yōu)勢明顯,為多層電路板的生產(chǎn)質(zhì)量控制提供了高效解決方案。多層電路板由多個導(dǎo)電層和絕緣層交替疊加而成,層間通過過孔實(shí)現(xiàn)電氣連接,結(jié)構(gòu)復(fù)雜,在生產(chǎn)過程中容易出現(xiàn)層間短路、盲孔堵塞、絕緣層破損等缺陷。這些缺陷會導(dǎo)致電路板的電氣性能下降,甚至引發(fā)短路故障。電激勵能夠通過不同層的線路施加電流,使電流在各層之間流動,缺陷處會因電流分布異常而產(chǎn)生溫度變化。鎖相熱成像系統(tǒng)可以通過檢測層間的溫度變化,精細(xì)定位缺陷的位置和類型。例如,檢測層間短路時,系統(tǒng)會發(fā)現(xiàn)短路點(diǎn)處的溫度明顯高于周圍區(qū)域;檢測盲孔堵塞時,會發(fā)現(xiàn)對應(yīng)位置的溫度分布異常。與傳統(tǒng)的 X 射線檢測相比,該系統(tǒng)的檢測速度更快,成本更低,而且能夠直觀地顯示缺陷的位置,助力多層電路板生產(chǎn)企業(yè)提高質(zhì)量控制水平。自銷鎖相紅外熱成像系統(tǒng)牌子