神經(jīng)電子芯片的MEMS微納加工技術(shù)與臨床應(yīng)用：神經(jīng)電子芯片作為植入式醫(yī)療設(shè)備的**組件，對微型化、生物相容性及功能集成度提出了極高要求。公司依托0.35/0.18μm高壓工藝，成功開發(fā)多通道神經(jīng)電刺激SoC芯片，可實現(xiàn)無線充電與通訊功能，將控制信號轉(zhuǎn)化為精細電...

硅基金屬電極加工工藝與生物相容性優(yōu)化：在硅片、LN（鈮酸鋰）、LT（鉭酸鋰）、藍寶石、石英等基板上加工金屬電極，需兼顧電學(xué)性能與生物相容性。公司采用濺射沉積與剝離工藝，首先在基板表面沉積50-200nm的鈦/金種子層，增強金屬與基板的附著力；然后旋涂光刻膠并曝...

高壓SOI工藝在MEMS芯片中的應(yīng)用創(chuàng)新：高壓SOI（絕緣體上硅）工藝是制備高耐壓、低功耗MEMS芯片的**技術(shù)，公司在0.18μm節(jié)點實現(xiàn)了發(fā)射與開關(guān)電路的集成創(chuàng)新。通過SOI襯底的埋氧層（厚度1μm）隔離高壓器件與低壓控制電路，耐壓能力達200V以上，漏電...

腎臟組織微流控器官芯片（KoC）：傳統(tǒng)方法或常規(guī)方法的局限性，例如細胞功能和生理學(xué)的變化或不適當(dāng)，使得腎單位的病理生理學(xué)研究不準(zhǔn)確且容易出錯。相比之下，與微流控技術(shù)的集成已被證明可以產(chǎn)生更好和更精確的結(jié)果。KoC基本上是通過將腎小管細胞與微流控芯片技術(shù)相結(jié)合來...

什么是微流控技術(shù)？微流控技術(shù)是一門精確控制和操縱流體的科學(xué)技術(shù)，這些流體在幾何空間上被限制在小規(guī)模流道中，通常流道系統(tǒng)的直徑低于100μm。對于科學(xué)家和工程師來講，微流體一詞的使用方式存在不同；對許多教授來說，微流控是一個科學(xué)領(lǐng)域，主要應(yīng)用于通過直徑在100微...

利用微流控芯片做infection疾病抗原和抗體檢測：由病原體引起的infection疾病是一個嚴(yán)重的全球公共衛(wèi)生問題，部分infection疾病具有高傳染性，因此理想的檢測應(yīng)該具有即時性，使得患者在檢測現(xiàn)場得以確診并接受cure，防止傳染病大規(guī)模傳播和暴發(fā)。...

微流控芯片反應(yīng)信號的收集和分析的難題：由于反應(yīng)體系較小，故而只產(chǎn)生較低的信號強度，如何收集并分析芯片中產(chǎn)生的信號，是微流控芯片研究的另一項重點，因此，微流控芯片大多需要龐大的信號讀取和分析設(shè)備。近年來便攜性、自動化、敏感的新型微流控芯片讀取設(shè)備受到科研人員關(guān)注...

微流體的操控的難題：自動精確地操控液體流動是微流控免疫芯片的主要挑戰(zhàn)之一。目前通常依賴復(fù)雜的通道、閥門、泵、混合器等，通過控制閥門的開關(guān)實現(xiàn)多步驟反應(yīng)有序進行。盡管各種閥門的尺寸很小，但使閥門有序工作需要龐大的外部泵、連接器和控制設(shè)備，從而阻礙了芯片的集成性、...

微流控芯片鍵合工藝的密封性與可靠性優(yōu)化：鍵合工藝是微流控芯片封裝的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，公司針對不同材料組合開發(fā)了多元化鍵合技術(shù)。對于PDMS軟芯片，采用氧等離子體活化鍵合，鍵合強度可達20kPa，滿足低壓流體（<50kPa）長期穩(wěn)定傳輸；硬質(zhì)塑料芯片通過熱壓鍵合（溫度8...

微流控芯片技術(shù)采用先進的MEMS和半導(dǎo)體跨界創(chuàng)新策略，是生命科學(xué)和生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域的新興科學(xué)。該技術(shù)能夠有效控制液體的物理化學(xué)反應(yīng)。由于其微型縮小方法，它帶來了高質(zhì)量交換和高通量。它主要用于藥物發(fā)現(xiàn)、蛋白質(zhì)組學(xué)、藥物篩選、臨床分析和食品創(chuàng)新。目前，各種類型的微流控...

微流控芯片在POCT設(shè)備中的小型化設(shè)計與加工：POCT（即時檢驗）設(shè)備對微流控芯片的小型化、低成本與易用性提出了極高要求。公司通過微流道集成設(shè)計，將樣品預(yù)處理、反應(yīng)、檢測等功能壓縮至25mm×25mm芯片內(nèi)，配合毛細虹吸與重力驅(qū)動流路，省去外部泵閥系統(tǒng)，實現(xiàn)無...

先前報道了微流控芯片的另一項采用體外細胞培養(yǎng)技術(shù)的研究，其中軸突和體細胞被物理分離，從而允許軸突通過微通道。借助這項技術(shù)，神經(jīng)科學(xué)家可以研究軸突本身的特征，或者可以確定藥物對軸突部分的作用，并可以分析軸突切斷術(shù)后的軸突再生。值得一提的是，微通道可能會對組織或細...

MEMS制作工藝柔性電子出現(xiàn)的意義： 柔性電子技術(shù)有可能帶來一場電子技術(shù)進步，引起全世界的很多的關(guān)注并得到了迅速發(fā)展。美國《科學(xué)》雜志將有機電子技術(shù)進展列為2000年世界幾大科技成果之一，與人類基因組草圖、生物克隆技術(shù)等重大發(fā)現(xiàn)并列。美國科學(xué)家艾倫黑...

弧形柱子點陣的微納加工技術(shù)：弧形柱子點陣結(jié)構(gòu)在細胞黏附、流體動力學(xué)調(diào)控中具有重要應(yīng)用，公司通過激光直寫與反應(yīng)離子刻蝕（RIE）技術(shù)實現(xiàn)該結(jié)構(gòu)的精密加工。首先利用激光直寫系統(tǒng)在光刻膠上繪制弧形軌跡，**小曲率半徑可達5μm，線條寬度10-50μm；然后通過RIE...

MEMS微納加工的產(chǎn)業(yè)化能力與技術(shù)儲備：公司在MEMS微納加工領(lǐng)域構(gòu)建了完整的技術(shù)體系與產(chǎn)業(yè)化能力，涵蓋從設(shè)計仿真（使用COMSOL、Lumerical等軟件）到工藝開發(fā)（10+種主流加工工藝）、批量生產(chǎn)（萬級潔凈車間，月產(chǎn)能50,000片）的全鏈條服務(wù)。技術(shù)...

MEMS制作工藝-太赫茲特性： 1.相干性由于它是由相千電流驅(qū)動的電偶極子振蕩產(chǎn)生，或又相千的激光脈沖通過非線性光學(xué)頻率差頻產(chǎn)生，因此有很好的相干性。THz的相干測量技術(shù)能夠直接測量電場振幅和相位，從而方便提取檢測樣品的折射率，吸收系數(shù)等。 2...

MEMS制作工藝-聲表面波器件的特點： 1.聲表面波具有極低的傳播速度和極短的波長，它們各自比相應(yīng)的電磁波的傳播速度的波長小十萬倍。在VHF和UHF波段內(nèi)，電磁波器件的尺寸是與波長相比擬的。同理，作為電磁器件的聲學(xué)模擬聲表面波器件SAW，它的尺寸也是...

MEMS四種刻蝕工藝的不同需求： 絕緣層上的硅蝕刻即SOI器件刻蝕：先進的微機電組件包含精細的可移動性零組件，例如應(yīng)用于加速計、陀螺儀、偏斜透鏡(tiltingmirrors).共振器(resonators)、閥門、泵、及渦輪葉片等組件的懸臂梁。這些...

MEMS傳感器的主要應(yīng)用領(lǐng)域有哪些？ 消費電子產(chǎn)品在MEMSDrive出現(xiàn)之前，手機攝像頭主要由音圈馬達移動鏡頭組的方式實現(xiàn)防抖(簡稱鏡頭防抖技術(shù))，受到很大的局限。而另一個在市場上較好的防抖技術(shù)：多軸防抖，則是利用移動圖像傳感器(ImageSens...

MEA柔性電極的MEMS制造工藝：公司開發(fā)的腦機接口用MEA（微電極陣列）柔性電極，采用聚酰亞胺或PDMS作為柔性基底，通過光刻、金屬蒸鍍與電化學(xué)沉積工藝，構(gòu)建高密度“觸凸”式電極陣列。電極點直徑可縮至20微米，間距50微米，表面修飾PEDOT:PSS導(dǎo)電聚合...

通過MEMS技術(shù)制作的生物傳感器，圍繞細胞分選檢測、生物分子檢測、人工聽覺微系統(tǒng)等方向，突破了高通量細胞圖形化、片上細胞聚焦分選、耳蝸內(nèi)聲電混合刺激、高時空分辨率相位差分檢測等一批具有自主知識產(chǎn)權(quán)的關(guān)鍵技術(shù)，取得了一批原創(chuàng)性成果，研制了具有世界很高水平的高通量...

SU8微流控模具加工技術(shù)與精度控制：SU8作為負性光刻膠，廣泛應(yīng)用于6英寸以下硅片、石英片的單套或套刻微流控模具加工，可實現(xiàn)5-500μm高度的三維結(jié)構(gòu)制造。加工流程包括：基板清洗→底涂處理→SU8涂膠（轉(zhuǎn)速500-5000rpm，控制厚度1-500μm）→前...

微針器件的干濕法刻蝕與集成傳感：基于MEMS干濕法混合刻蝕工藝，公司開發(fā)出多尺度微針器件。通過光刻膠模板與各向異性刻蝕，制備前列曲率半徑<100nm、高度500微米的中空微針陣列，可無創(chuàng)穿透表皮提取組織間液。結(jié)合微注塑工藝，在微針內(nèi)部集成直徑10微米的流體通道...

PDMS金屬流道芯片的復(fù)合加工工藝：PDMS金屬流道芯片通過在柔性PDMS流道內(nèi)集成金屬鍍層，實現(xiàn)流體控制與電信號檢測的一體化設(shè)計。加工流程包括：首先利用軟光刻技術(shù)在硅模上制備50-200μm寬度的流道結(jié)構(gòu)，澆筑PDMS預(yù)聚體并固化成型；然后通過氧等離子體處理...

MEMS微納加工的產(chǎn)業(yè)化能力與技術(shù)儲備：公司在MEMS微納加工領(lǐng)域構(gòu)建了完整的技術(shù)體系與產(chǎn)業(yè)化能力，涵蓋從設(shè)計仿真（使用COMSOL、Lumerical等軟件）到工藝開發(fā)（10+種主流加工工藝）、批量生產(chǎn)（萬級潔凈車間，月產(chǎn)能50,000片）的全鏈條服務(wù)。技術(shù)...

MEMS制作工藝柔性電子的常用材料-PI： 柔性PI膜是一種由聚酰亞胺（PI）構(gòu)成的薄膜材料，它是通過將均苯四甲酸二酐（PMDA）與二胺基二苯醚（ODA）在強極性溶劑中進行縮聚反應(yīng)，然后流延成膜，然后經(jīng)過亞胺化處理得到的高分子絕緣材料。柔性PI膜擁有...

芯棄疾JX-8B數(shù)字ELISA產(chǎn)品 每個生物實驗室都用得起的單分子免疫檢測 從TNF-α數(shù)字ELISA測定的檢測限為~150aM（2.5fg/mL），相當(dāng)于全血中的~600aM（10fg/mL）；市場上可用的ELISA對TNF-α的比較高靈敏度...

芯棄疾JX-8B數(shù)字ELISA，我們?yōu)槭裁茨茏龅剑慨a(chǎn)品主要原理同單分子陣列技術(shù)： 非常近，已經(jīng)描述了兩種數(shù)字蛋白質(zhì)測量方法，這些方法能夠提高對單分子水平的靈敏度。一種方法依賴于在固相上形成免疫三明治復(fù)合物，然后化學(xué)解離并通過激光計數(shù)每個分子。第二種方...

MEMS制作工藝-太赫茲傳感器： 超材料(Metamaterial)是一種由周期性亞波長金屬諧振的單元陣列組成的人工復(fù)合型電磁材料,通過合理的設(shè)計單元結(jié)構(gòu)可實現(xiàn)特殊的電磁特性,主要包括隱身、完美吸和負折射等特性。目前,隨著太赫茲技術(shù)的快速發(fā)展,太赫茲...

硅基金屬電極加工工藝與生物相容性優(yōu)化：在硅片、LN（鈮酸鋰）、LT（鉭酸鋰）、藍寶石、石英等基板上加工金屬電極，需兼顧電學(xué)性能與生物相容性。公司采用濺射沉積與剝離工藝，首先在基板表面沉積50-200nm的鈦/金種子層，增強金屬與基板的附著力；然后旋涂光刻膠并曝...