氦質(zhì)譜檢漏儀如何選擇檢漏方式，與檢測對象的工作環(huán)境有很大關(guān)系，盡量做到與檢測對象的工作狀態(tài)一致。如檢測對象工作時內(nèi)部處于正壓，則用正壓模式，如檢測對象工作時內(nèi)部處于負(fù)壓，則用真空模式。氦質(zhì)譜檢漏儀以其高靈敏度和準(zhǔn)確性而通常應(yīng)用于整體防漏等級較高的壓力容器上。影響氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度的因素包括實(shí)際檢測條件、輔助真空系統(tǒng)以及操作人員的技術(shù)等多方面。選購氦質(zhì)譜檢漏儀時不要盲目地認(rèn)為價格高是好的，低的價格時不好的，要選擇適合自己的產(chǎn)品。這樣選擇出來的產(chǎn)品，才會更加的符合我們的使用情況。為防止油污、粉塵和雜物進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，應(yīng)在氦質(zhì)譜檢漏儀下方設(shè)置過濾器。國產(chǎn)氦氣檢測機(jī)品牌氦質(zhì)譜檢漏儀換燈絲步驟：當(dāng)冷規(guī)...

氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù)，它是儀器在出廠時經(jīng)過校準(zhǔn)的在較佳條件下所能實(shí)現(xiàn)的儀器靈敏度，但平常實(shí)際使用時其靈敏度是低于該參數(shù)的，稱之為檢漏靈敏度。然后在具體檢漏過程中，氦檢儀的檢漏方法也較多，有噴吹法、氦罩法、檢漏盒法、充壓法、吸嘴法、累積檢漏法、背壓法、選擇性抽氣法、逆流氦檢漏法等眾多形式，可結(jié)合實(shí)際情況靈活運(yùn)用。如較簡單常用的噴吹法，與鹵素氦檢儀的真空法類似，將被檢件抽真空，調(diào)整好氦檢儀并與被檢件連通，隨后用噴頭在可疑處噴吹氦氣，如果存在漏洞，噴吹一定時間后，氦檢儀即可發(fā)出信號。氦質(zhì)譜檢漏儀是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得比較多的檢漏儀器。氦檢機(jī)工作原理氦檢儀的撿漏方法有哪些？背壓法（壓氦法）...

氦檢儀機(jī)械泵故障及處理：1、機(jī)械泵不動作，檢查項目有：氦檢儀電源電壓是否正常，開關(guān)是否打開，繞組是否斷路或接地，電機(jī)是否過熱(泵冷卻后是否能啟動)。2、機(jī)械泵聲音異常，檢查油位是否合適，油質(zhì)是否變壞，油溫是否

氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做？1.對氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)進(jìn)行保養(yǎng)時，由于常見氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵、前級機(jī)械泵組成，因此在常規(guī)檢測時通常由前級機(jī)械泵對被檢件預(yù)抽真空，當(dāng)真空度達(dá)到規(guī)定壓力后，再進(jìn)入真空系統(tǒng)部分；被檢件在檢測前會被要求進(jìn)行清潔前處理，以防止粉塵、顆粒物等污染物進(jìn)入真空系統(tǒng)。否則將直接污染真空系統(tǒng)，甚至造成真空泵損壞。因此，對被檢件的前處理以及對設(shè)備自身的保養(yǎng)清理十分重要。2.除了上述氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)需要保養(yǎng)之外，還需要進(jìn)行前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)，以及電磁閥組的超聲清洗，此外質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵也建議定期進(jìn)行保養(yǎng)維護(hù)，避免因設(shè)備保養(yǎng)不及時導(dǎo)致設(shè)備...

氦檢儀在無源器件中的檢漏應(yīng)用：無源器件檢漏原因：光無源器件是光纖通信設(shè)備的重要組成部分，也是其它光纖應(yīng)用領(lǐng)域不可缺少的元器件。具有高回波損耗、低插入損耗、高可靠性等特點(diǎn)。光無源器件對密封性的要求極高，如果存在泄漏會影響其使用性能和精度，光通信行業(yè)的漏率標(biāo)準(zhǔn)是小于5×10-8mbar.l/s，因此需要進(jìn)行泄漏檢測。氦質(zhì)譜檢漏法利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位，定量漏點(diǎn)，替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏，目前已普遍應(yīng)用于光無源器件的檢漏。光無源器件檢漏方法：由于無源器件體積小，且無法抽真空或直接充入氦氣，我們采用“背壓法”檢漏，具體做法如下。1.將被檢無源器件放入真空保壓罐，壓力和時間根據(jù)漏率大小設(shè)定。2...

選擇氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏方法的原則：1、主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù)，由于一個設(shè)備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合體現(xiàn)。為找到一個單個漏孔，所選擇檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個數(shù)量級。如一個設(shè)備的允許漏率為10-11w，而必須選用的氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W。2、根據(jù)具體被檢對象，所用方法簡便易行，經(jīng)濟(jì)實(shí)用。為保證測試漏率真實(shí)有效：（1）標(biāo)準(zhǔn)漏孔每年送有專業(yè)資質(zhì)計量單位計量；（2）使用兩年以上建議更換標(biāo)準(zhǔn)漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀在運(yùn)行過程中不能移動。智能氦氣檢測儀供應(yīng)廠家氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)：1、可檢漏率：即氦質(zhì)譜檢漏儀所能檢出的漏孔的漏率。2、響應(yīng)(消除)時間...

氦檢儀分子泵出現(xiàn)故障如何快速定位維修？1.TMP(分子泵工作頻率)在儀器的顯示界面提示為0，即為分子泵不工作?？赡苁乔凹墘毫^高(分子泵啟動壓力為200Pa)導(dǎo)致分子泵不能正常啟動。2.檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題，分子泵出口是否打開，機(jī)械泵油是否太臟，機(jī)械泵是否旋轉(zhuǎn)，系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲被燒毀了。更換保險絲或檢查是否有短路。3.分子泵故障燈亮。檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否在R位置，此時應(yīng)在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止。如果風(fēng)扇正常，可能是分子泵電源故障。請聯(lián)系制造商。4.氦泄漏檢測儀的燈絲不能...

選擇氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏方法的原則：1、主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù)，由于一個設(shè)備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合體現(xiàn)。為找到一個單個漏孔，所選擇檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個數(shù)量級。如一個設(shè)備的允許漏率為10-11w，而必須選用的氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W。2、根據(jù)具體被檢對象，所用方法簡便易行，經(jīng)濟(jì)實(shí)用。為保證測試漏率真實(shí)有效：（1）標(biāo)準(zhǔn)漏孔每年送有專業(yè)資質(zhì)計量單位計量；（2）使用兩年以上建議更換標(biāo)準(zhǔn)漏孔。氦檢儀的實(shí)際應(yīng)用方案很多，常用的三種檢漏方法有負(fù)壓法（抽真空），正壓法（吸入法）和背壓法（壓氦法）。氦氣檢測機(jī)特點(diǎn)氦檢儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。靈敏...

氦檢儀的組成部分有哪些？真空系統(tǒng)，儀器的真空系統(tǒng)提供質(zhì)譜正常工作所需要的真空條件，不同型號的氦檢儀其真空系統(tǒng)有較大的差別。真空系統(tǒng)一般包括：1）主泵。一般用擴(kuò)散泵或渦輪分子泵。極限壓力小于5×10-1Pa，其抽速應(yīng)與氣載匹配。2）前級真空泵。一般采用旋片式機(jī)械真空泵，在以分子示為主泵的系統(tǒng)中，也有采用薄膜泵或干泵的。抽速與主泵匹配。3）預(yù)抽真空泵。一般與前級真空泵共同一個泵，預(yù)抽真空泵一般采用旋片式機(jī)械真空泵，其抽速視被檢件大小而定，因此預(yù)抽真空泵大都由用戶自配。氦檢儀適用于工業(yè)、分析研究、鍍膜市場等。安慶真空氦檢設(shè)備氦質(zhì)譜檢漏儀原理：氦質(zhì)譜檢漏儀是基于質(zhì)譜法原理，以氦氣作為檢漏的儀器。質(zhì)譜儀...

氦質(zhì)譜檢漏儀原理：氦質(zhì)譜檢漏儀是基于質(zhì)譜法原理，以氦氣作為檢漏的儀器。質(zhì)譜儀由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離計、氣體萃取系統(tǒng)和電氣部分組成。質(zhì)譜法室中燈絲發(fā)射的電子在室內(nèi)來回振蕩，與室內(nèi)氣體碰撞，氦氣泄漏進(jìn)入室內(nèi)，電離成正離子，正離子在加速電場的作用下進(jìn)入人體磁場，當(dāng)洛倫茲力效應(yīng)偏轉(zhuǎn)時，電弧形成，加速電壓的變化使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收槽到達(dá)接收極而被探測到。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。氦質(zhì)譜檢漏儀正朝著高靈敏度、便攜式、自動化、寬量程、無油系統(tǒng)等先進(jìn)方向發(fā)展。氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。分體式氦檢設(shè)備報價氦檢儀是什么？氦檢儀是用氦氣為示漏氣體...

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時間，耗時耗力；2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會對晶元造成污染，對半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏；3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會失效。...

氦質(zhì)譜檢漏儀換燈絲步驟：當(dāng)冷規(guī)指針已過1×10-2Pa，按燈絲啟動，燈很亮，發(fā)射電流無指示，量離子源插頭①②足不通，即為燈絲斷，燈絲壽命一般正常使用為1至3個月。1、停機(jī)換燈絲：可直接取下離子源更換燈絲，裝好后按正常開機(jī)步驟進(jìn)行。2、不停機(jī)換燈絲：關(guān)冷規(guī)，關(guān)抽速閥，取離子源插頭，取下離子源，更換燈絲后裝上離子源，插離子源插頭，此時“加速電壓”示值不應(yīng)有變化，“發(fā)射電流”示值應(yīng)為零。如其中有一示值與上不符，則是離子源內(nèi)有短路，應(yīng)取下排除。將閥開關(guān)由“前置”轉(zhuǎn)向“粗抽”(注意：閥開關(guān)在“粗抽”的時間不要超過五分鐘)，全開節(jié)流閥，等真空抽上后，關(guān)閉節(jié)流閥，將“粗抽”轉(zhuǎn)向“前置”，開抽速閥，開冷規(guī)，等...

氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)，達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。氦質(zhì)譜檢漏儀的漏孔漏率是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。分體式氦檢機(jī)供應(yīng)廠家氦...

氦質(zhì)譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應(yīng)速度快、定位定量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)而被普遍應(yīng)用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領(lǐng)域。檢漏儀在使用過程中，往往會因?yàn)楫a(chǎn)生的一些故障或是現(xiàn)象，而影響檢漏工作的正常進(jìn)度，若對其置之不理還會危及檢漏儀的使用壽命。其中的有些故障或現(xiàn)象是使用者能夠及時解決或避免的，掌握和了解氦質(zhì)譜檢漏儀常見故障的維修技術(shù)，有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng)。氦質(zhì)譜檢漏儀是質(zhì)譜儀器中的一種，將質(zhì)譜儀用于檢漏技術(shù)是質(zhì)譜儀在真空密封檢測技術(shù)中的重要應(yīng)用。高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種，一個是離子流接收放大機(jī)輸出電路的噪聲，另一個是本底噪聲。便攜式氦檢設(shè)備報價氦質(zhì)譜檢漏...

氦檢儀在壓力容器中的常用方法：噴氦法，噴氦法是常用，比較方便的檢漏方法。檢漏時，用連接在裝有氦氣的氣瓶上的噴頭向懷疑有漏泄的部位噴氦氣，如果有氦氣從漏孔中流入壓力容器裝置，則裝置內(nèi)的氦分壓就會上升，氦氦檢儀上就會顯示有泄漏率。是否合格要看標(biāo)準(zhǔn)漏率值是定在多少，超過標(biāo)準(zhǔn)漏率值的可視為不合格。氦罩法，這種方法使用一個檢漏罩（塑料薄膜等）把被檢容器包起來，先排除罩內(nèi)空氣，然后充入氦氣或氦氣的混合氣體，氦檢儀與被檢容器內(nèi)部連接，當(dāng)氦檢儀有漏率顯示時，說明有泄漏。這個漏率稱為總漏率?？偮┞蕿楦鱾€分漏率之和；總漏率不超標(biāo)準(zhǔn)值，則各個分漏率也不超標(biāo)準(zhǔn)值；總漏率超過標(biāo)準(zhǔn)值，則檢查各個點(diǎn)的分漏率是否超過標(biāo)準(zhǔn)值。...

氦質(zhì)譜檢漏儀常見的幾種檢漏法：1、負(fù)壓法檢漏，負(fù)壓法檢漏是將被檢件接到檢漏儀的檢測口，連續(xù)向可疑的漏孔噴射示蹤氣體，示蹤氣體通過漏孔進(jìn)入檢漏儀并被檢測。一般電子器件的外殼、高壓開關(guān)管、氧化鋅、避雷器等都應(yīng)采用這種方法檢漏。根據(jù)產(chǎn)品的不同，需要選擇不同尺寸的夾具或輔助工具。2、壓氦法檢漏，壓氦法檢漏是將壓有一定壓力的示蹤氣體的被檢件放入檢漏夾具中，然后連至檢漏儀將其抽空，示蹤氣體通過漏孔泄漏出來，經(jīng)檢漏儀檢測總泄漏量。一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。氦檢儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。臺式氦氣檢測機(jī)技術(shù)指導(dǎo)氦質(zhì)譜檢漏儀換燈絲步驟：當(dāng)冷規(guī)指針已過1×10-2Pa，按燈絲啟動，燈很亮，發(fā)射電流無...

氦檢儀作為一種磁偏轉(zhuǎn)型質(zhì)譜分析儀器，結(jié)構(gòu)上分單級磁偏轉(zhuǎn)型和雙級串聯(lián)偏轉(zhuǎn)性，而在結(jié)構(gòu)組成上，大部分氦檢儀就是由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)以及電氣系統(tǒng)3部分組成的：質(zhì)譜室是這種真空氦檢儀器的心臟，又包括離子源、分析器、收集器、前級放大器、冷陰極電離真空計等組成部分；真空系統(tǒng)用于為質(zhì)譜室提供真空工作條件，保證氦離子的傳輸率；電氣系統(tǒng)的重點(diǎn)功能就是為質(zhì)譜室供電與測量。另外在有些條件下，氦質(zhì)譜檢漏可能還會需要輔助真空系統(tǒng)，完成一些預(yù)抽、保證氦檢儀真空度等工作。氦檢儀的示蹤氣體也可以是其他元素，但通常選用氦氣。氦氣檢測儀工作原理氦質(zhì)譜檢漏儀常見的幾種檢漏法：1、負(fù)壓法檢漏，負(fù)壓法檢漏是將被檢件接到檢漏儀的檢測口，連...

氦檢儀因具備檢測靈敏度高、反應(yīng)速度快、定位定量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)而被普遍應(yīng)用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領(lǐng)域。氦檢儀在使用過程中，往往會因?yàn)楫a(chǎn)生的一些故障或是現(xiàn)象，而影響檢漏工作的正常進(jìn)度，若對其置之不理還會危及氦檢儀的使用壽命。其中的有些故障或現(xiàn)象是使用者能夠及時解決或避免的，掌握和了解氦檢儀常見故障的維修技術(shù)，有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng)。氦檢儀熱管檢漏：熱管需要檢漏原因：熱管內(nèi)部填充特殊液體用來增強(qiáng)熱傳導(dǎo)性能，如果熱管本身存在漏點(diǎn)，首先會影響熱管的導(dǎo)熱性能；其次由于熱管都是安裝在設(shè)備內(nèi)部，如果發(fā)生泄漏，里面封裝的液體就會流出，嚴(yán)重污染和影響設(shè)備的正常運(yùn)轉(zhuǎn)，所以熱管生...

氦檢儀的基本原理是采集被檢件中的氣體將其電離，根據(jù)不同種類氣體離子質(zhì)荷比不同的特點(diǎn)，利用磁偏轉(zhuǎn)分離原理將其區(qū)分開來。儀器只對示漏氣體氦氣有相應(yīng)信號，而對其他氣體沒有反應(yīng)，屬于唯1性氦檢儀器。檢漏過程中，一旦出現(xiàn)信號，就說明有氦氣通過漏孔進(jìn)入被檢件，從而指示出漏孔的位置與大小。而之所以選擇氦氣作為示漏氣體，主要是因?yàn)楹べ|(zhì)量輕，易于穿過漏孔，擴(kuò)散快，對分析設(shè)備制造的要求相對簡單；同時氦氣在空氣中含量少，本底壓力小，又為惰性氣體，不易發(fā)生反應(yīng)等等，都為提高儀器靈敏度創(chuàng)造了條件。氦檢儀在電廠檢漏領(lǐng)域被普遍使用。分體式氦氣檢測儀使用方法氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏注意事項：1、工件要保持清潔、干燥。2、對工件噴氦應(yīng)...

選擇氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏方法的原則：1、主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù)，由于一個設(shè)備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合體現(xiàn)。為找到一個單個漏孔，所選擇檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個數(shù)量級。如一個設(shè)備的允許漏率為10-11w，而必須選用的氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W。2、根據(jù)具體被檢對象，所用方法簡便易行，經(jīng)濟(jì)實(shí)用。為保證測試漏率真實(shí)有效：（1）標(biāo)準(zhǔn)漏孔每年送有專業(yè)資質(zhì)計量單位計量；（2）使用兩年以上建議更換標(biāo)準(zhǔn)漏孔。氦檢儀整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。自動氦氣檢測設(shè)備品牌氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做？1.對氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)進(jìn)行保養(yǎng)...

氦檢儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。靈敏度、反應(yīng)時間、清零時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦檢儀的主要性能指標(biāo)。檢測氣體使用氦氣的主要原因如下：(1)對人體和自然環(huán)境沒有毒害；(2)不能燃燒，作業(yè)安全；(3)惰性氣體，和被檢測對象不會發(fā)生化學(xué)反應(yīng)；(4)分子直徑和質(zhì)量小，容易穿過微小縫隙，便于檢漏；(5)通常環(huán)境下保持氣體狀態(tài)，不會堵住微漏孔；(6)真空腔體自身放出的氣體中幾乎不包含氦氣；(7)氦氣在空氣中的存在量只為5ppm，容易定點(diǎn)查清漏氣位置。由于氦氣比空氣輕很多，向真空腔體噴氦氣檢漏時要從上往下依次操作，否則不利于判定漏點(diǎn)所在。當(dāng)腔體構(gòu)造復(fù)雜，或漏率極小時，可針對重點(diǎn)...

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時間，耗時耗力；2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會對晶元造成污染，對半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏；3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會失效。...

氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)：1、可檢漏率：即氦質(zhì)譜檢漏儀所能檢出的漏孔的漏率。2、響應(yīng)(消除)時間：指一定流量的探索氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀后，電子和真空系統(tǒng)需要一定的響應(yīng)時間，漏率指示才能達(dá)到固定值；反之，停止供氣后，漏率指示不能立即回零，需要一定時間的下降過程，通常由于氦氣的吸附和脫附作用，消除時間稍長于響應(yīng)時間。3、啟動時間：指氦質(zhì)譜檢漏儀自接通電源到能進(jìn)行檢漏的時間。氦質(zhì)譜檢漏儀以其高靈敏度和準(zhǔn)確性而通常應(yīng)用于整體防漏等級較高的壓力容器上。影響氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度的因素包括實(shí)際檢測條件、輔助真空系統(tǒng)以及操作人員的技術(shù)等多方面。氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)。國產(chǎn)氦檢機(jī)廠家氦...

氦檢儀機(jī)械泵故障及處理：1、機(jī)械泵不動作，檢查項目有：氦檢儀電源電壓是否正常，開關(guān)是否打開，繞組是否斷路或接地，電機(jī)是否過熱(泵冷卻后是否能啟動)。2、機(jī)械泵聲音異常，檢查油位是否合適，油質(zhì)是否變壞，油溫是否

氦檢儀的型號較多，但基本結(jié)構(gòu)大同小異。它主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣部分組成。質(zhì)譜室：不同類型的氦檢儀的質(zhì)譜室結(jié)構(gòu)大同小異，都是由離子源、分析器和收集器三部分組成，它們放在一個抽成高真空的質(zhì)譜室外殼中。1）離子源。離子源的作用是使氣體分子電離，形成一束具有一定能量的離子。它由燈絲（陰極）、離化室及離子加速極組成。2）分析器。分析器作用是使不同質(zhì)荷比的離子按不同軌跡運(yùn)動，從而將它們彼此分開，只使氦離子通過其出口隙縫。分析器由一個外加均勻磁場及一個出口電極組成，磁場方向與離子束入射方向垂直。3）收集極。收集極是對準(zhǔn)出口電極狹縫安裝的，其作用是收集穿過出口電極狹縫的氦離子并通過一個電阻輸入到小電流放...

氦檢儀的組成部分有哪些？真空系統(tǒng)：冷阱。分子泵型真空系統(tǒng)一般不加冷阱。擴(kuò)散泵型真空系統(tǒng)的冷阱加在質(zhì)譜室、檢漏口與擴(kuò)散泵之間，使三者被冷阱隔離，冷阱加入液氮后便可阻止擴(kuò)散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進(jìn)入質(zhì)譜室，保持質(zhì)譜室的清潔，并幫助擴(kuò)散泵迅速獲得較高真空。檢漏閥。按在質(zhì)譜室和被檢件之間的管道上。真空規(guī)。一般采用冷陰極磁控放電真室規(guī)來測量質(zhì)譜室中的壓力。也有用電阻規(guī)或熱偶規(guī)測量被檢件的預(yù)抽壓力和系統(tǒng)的前級壓力的。標(biāo)準(zhǔn)漏孔。一般儀器內(nèi)都附有標(biāo)準(zhǔn)漏孔，用它來校準(zhǔn)儀器的較小可檢漏率和對儀器輸出指示進(jìn)行定標(biāo)。氦檢儀在壓力容器中的常用方法有哪些？國產(chǎn)氦檢儀氦檢模塊氦檢儀（HeliumMassSpectro...

氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進(jìn)行動態(tài)檢漏時所能檢測出的漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到穩(wěn)定值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應(yīng)時間不大于3s。所謂“可檢率”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時，才能認(rèn)定有漏氣訊號輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內(nèi)輸出儀表的較大的波動量，能較方便地估計檢漏效果。高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種，一個是離子流接...

氦質(zhì)譜檢漏儀性能試驗(yàn)方法：1、反應(yīng)時間、消除時間及其測定，反應(yīng)時間是指儀器節(jié)流閥完全開啟，本底訊號為零(或補(bǔ)償?shù)搅?時，由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時間，記為τR。消除時間是指輸出儀表訊號穩(wěn)定到固定值后，停止送氦，其訊號下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的時間，記為τC。2、工作真空、極限真空及入口處抽速，質(zhì)譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用氦質(zhì)譜檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速。氦檢儀用于調(diào)節(jié)閥的氣路管道進(jìn)行檢漏。智能氦檢設(shè)備供應(yīng)廠家影響氦檢儀靈敏度的因素有哪些...

氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點(diǎn)體現(xiàn)在以下幾個方面：（1）便攜式：很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。（2）高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。（3）自動化程度高：自動校準(zhǔn)氦峰，自動調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做？模塊式氦檢儀注意事項氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣...

氦質(zhì)譜檢漏儀安裝時要遠(yuǎn)離煙塵、注意防潮、定期清潔除塵、定期檢查是否靈敏，避免失靈等等。氦質(zhì)譜檢漏儀中都有檢測器，一般檢測的壽命越長越好，一般來說氦質(zhì)譜檢漏儀的平均壽命在2-5年，抗干擾，誤差越小越好。要定期進(jìn)行濾紙更換，在傳感器規(guī)定時間內(nèi)使用，不同的傳感器之間可能會有干擾要注意還要注意電磁的干擾。防止元件的老化，及時更換零件。測定漏率型主要是針對密封性要求嚴(yán)格的部件進(jìn)行檢測，如宇宙飛船、火箭液體燃料儲料箱、衛(wèi)星、電子元器件等。氦質(zhì)譜檢漏儀能夠?qū)崿F(xiàn)雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準(zhǔn)和自動量程切換。安慶真空氦氣檢測設(shè)備氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)指標(biāo)：1.可檢漏...