氦檢儀作為一種磁偏轉(zhuǎn)型質(zhì)譜分析儀器，結(jié)構(gòu)上分單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型和雙級(jí)串聯(lián)偏轉(zhuǎn)性，而在結(jié)構(gòu)組成上，大部分氦檢儀就是由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)以及電氣系統(tǒng)3部分組成的：質(zhì)譜室是這種真空氦檢儀器的心臟，又包括離子源、分析器、收集器、前級(jí)放大器、冷陰極電離真空計(jì)等組成部分；真空系統(tǒng)用于為質(zhì)譜室提供真空工作條件，保證氦離子的傳輸率；電氣系統(tǒng)的重點(diǎn)功能就是為質(zhì)譜室供電與測(cè)量。另外在有些條件下，氦質(zhì)譜檢漏可能還會(huì)需要輔助真空系統(tǒng)，完成一些預(yù)抽、保證氦檢儀真空度等工作。氦檢儀的示蹤氣體也可以是其他元素，但通常選用氦氣。氦氣檢測(cè)儀工作原理
氦質(zhì)譜檢漏儀常見的幾種檢漏法：1、負(fù)壓法檢漏，負(fù)壓法檢漏是將被檢件接到檢漏儀的檢測(cè)口，連續(xù)向可疑的漏孔噴射示蹤氣體，示蹤氣體通過漏孔進(jìn)入檢漏儀并被檢測(cè)。一般電子器件的外殼、高壓開關(guān)管、氧化鋅、避雷器等都應(yīng)采用這種方法檢漏。根據(jù)產(chǎn)品的不同，需要選擇不同尺寸的夾具或輔助工具。2、壓氦法檢漏，壓氦法檢漏是將壓有一定壓力的示蹤氣體的被檢件放入檢漏夾具中，然后連至檢漏儀將其抽空，示蹤氣體通過漏孔泄漏出來，經(jīng)檢漏儀檢測(cè)總泄漏量。一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。無損氦檢儀報(bào)價(jià)掌握和了解氦質(zhì)譜檢漏儀常見故障的維修技術(shù)，有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng)。
氦檢儀的工作原理：氦檢儀先在質(zhì)譜室中將采集的被測(cè)氣體電離，再利用電磁場(chǎng)將不同荷質(zhì)比的離子加以分離檢測(cè),從中檢測(cè)出事先安排的示蹤氦離子，主要由三大組件構(gòu)成:真空系統(tǒng)、質(zhì)譜室和電子學(xué)控制單元。氦檢儀內(nèi)部配有一臺(tái)旋片式真空泵,用以維持儀器內(nèi)部的高真空。質(zhì)譜室是氦檢儀的重點(diǎn)部分，它包括離子源、聚焦、質(zhì)量分析器和測(cè)量部分。質(zhì)譜室入口連接在渦輪分子泵的前級(jí)真空部分，分子泵對(duì)不同的氣體具有不同的壓縮比特性，氦氣的壓縮比很小，可以逆著分子泵的抽氣方向流動(dòng)進(jìn)入質(zhì)譜室。在質(zhì)譜室中氦氣被電離，氦離子通過質(zhì)量分析器的篩選到達(dá)收集極，產(chǎn)生一個(gè)正比于離子數(shù)量的電流信號(hào)，該信號(hào)經(jīng)過放大和處理即為泄漏率。
便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀的明顯優(yōu)點(diǎn)：1、性價(jià)比高：便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀是一款實(shí)用的檢漏儀，可覆蓋廣大的應(yīng)用領(lǐng)域，競(jìng)爭(zhēng)性的價(jià)格及較低的使用成本，大抽速前級(jí)泵的設(shè)計(jì)，可縮短抽氣時(shí)間，提高使用效率；2、自我保護(hù)功能：在突然暴露大氣和突然斷電時(shí)具有保護(hù)功能，系統(tǒng)的逆擴(kuò)散設(shè)計(jì)保護(hù)了質(zhì)譜室的清潔、真空，且不需要液氮；3、結(jié)構(gòu)靈活：可采用主機(jī)與前級(jí)泵單獨(dú)采買，前級(jí)泵可使用油封式旋片泵或渦卷式干泵，對(duì)于便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀，既可選擇帶有連接配件的主機(jī)形式，也可選擇安裝在兩輪小車上的整體形式。專業(yè)用于電廠檢漏的氦檢儀關(guān)鍵部件均為進(jìn)口，性能穩(wěn)定可靠。
氦檢儀的組成部分有哪些？真空系統(tǒng)：冷阱。分子泵型真空系統(tǒng)一般不加冷阱。擴(kuò)散泵型真空系統(tǒng)的冷阱加在質(zhì)譜室、檢漏口與擴(kuò)散泵之間，使三者被冷阱隔離，冷阱加入液氮后便可阻止擴(kuò)散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進(jìn)入質(zhì)譜室，保持質(zhì)譜室的清潔，并幫助擴(kuò)散泵迅速獲得較高真空。檢漏閥。按在質(zhì)譜室和被檢件之間的管道上。真空規(guī)。一般采用冷陰極磁控放電真室規(guī)來測(cè)量質(zhì)譜室中的壓力。也有用電阻規(guī)或熱偶規(guī)測(cè)量被檢件的預(yù)抽壓力和系統(tǒng)的前級(jí)壓力的。標(biāo)準(zhǔn)漏孔。一般儀器內(nèi)都附有標(biāo)準(zhǔn)漏孔，用它來校準(zhǔn)儀器的較小可檢漏率和對(duì)儀器輸出指示進(jìn)行定標(biāo)。由于氦質(zhì)譜檢漏儀儀為高精度精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。自動(dòng)氦檢儀大概多少錢
氦檢儀自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。氦氣檢測(cè)儀工作原理
氦質(zhì)譜檢漏儀性能試驗(yàn)方法：1、反應(yīng)時(shí)間、消除時(shí)間及其測(cè)定，反應(yīng)時(shí)間是指儀器節(jié)流閥完全開啟，本底訊號(hào)為零(或補(bǔ)償?shù)搅?時(shí)，由恒定的氦流量使輸儀表訊號(hào)上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時(shí)間，記為τR。消除時(shí)間是指輸出儀表訊號(hào)穩(wěn)定到固定值后，停止送氦，其訊號(hào)下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的時(shí)間，記為τC。2、工作真空、極限真空及入口處抽速，質(zhì)譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用氦質(zhì)譜檢漏儀的真空規(guī)可以測(cè)定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計(jì)可測(cè)定儀器入口處抽速。氦氣檢測(cè)儀工作原理
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