我們?cè)谶M(jìn)等離子體化學(xué)氣相沉積硬膜實(shí)驗(yàn)中采用了間接測(cè)量壓力的ZDZ型電阻真空計(jì),這種真空計(jì)是用氮?dú)鈦?lái)標(biāo)定的。若測(cè)量系統(tǒng)中有其他氣體存在時(shí),測(cè)量誤差大,直接影響到試驗(yàn)的準(zhǔn)確性。在氮?dú)怏w流量為100sccm時(shí),用ZDZ型電阻真空計(jì)測(cè)量的氣壓約為20Pa,而氫氣流量為100sccm時(shí),所測(cè)的氣壓約為50Pa;在氮?dú)饬髁繛?00sccm時(shí),所測(cè)的氣壓約為65Pa,而在氫氣流量為500sccm時(shí),所測(cè)的氣壓達(dá)到300Pa。為了對(duì)電阻真空計(jì)在測(cè)量不同氣體時(shí)的氣壓進(jìn)行標(biāo)定,我們采用直接測(cè)量的麥克勞真空計(jì)作為標(biāo)準(zhǔn),對(duì)不同流量的氫氣、氮?dú)?、氬氣和甲烷氣分別用電阻真空計(jì)和麥克勞真空計(jì)進(jìn)行測(cè)量。當(dāng)氣體分子平均自由程大...
在數(shù)字真空計(jì)的使用過(guò)程中,影響電子真空計(jì)工作的較常見(jiàn)問(wèn)題是傳感器污染。傳感器區(qū)域中的機(jī)油和其他污染物可能會(huì)影響傳感器檢測(cè)真空度變化的能力。所有電子真空計(jì)都會(huì)受到油污染。機(jī)油污染通常是可以避免的,不在保修范圍內(nèi)。油存在于所有空調(diào)/制冷系統(tǒng)中,并可在排空過(guò)程中從系統(tǒng)中抽出。在將電子真空計(jì)連接到閥門(mén)上的側(cè)端口之前,盡量真空充注閥拆下檢修接頭芯,并將系統(tǒng)拉至28“Hg以下。這將使您能夠正確地將系統(tǒng)與泵隔離,并減少系統(tǒng)或真空泵的機(jī)油污染傳感器的可能性。如果真空計(jì)傳感器被機(jī)油污染,則會(huì)在傳感器端部的橡膠密封件中看到機(jī)油跡象。真空讀數(shù)也將高于預(yù)期值。在某些特殊污染的情況下,顯示器不會(huì)低于大氣壓力。真空計(jì)是基...
在抽氣管內(nèi)塞入的鋼針及橡皮頭均是用于防止真空計(jì)在運(yùn)輸途中化學(xué)物質(zhì)流失用的,請(qǐng)?jiān)谡婵沼?jì)安置之后,與真空系統(tǒng)相連時(shí)再作抽出(請(qǐng)別丟棄,以后送維修時(shí),還需塞緊后寄回)。對(duì)于您選擇的掛壁或帶杠桿式的真空計(jì),采用羅栓作固定的安裝時(shí)必須保證真空計(jì)與水平面的垂直度,采用支撐式或帶杠桿的請(qǐng)將三根支撐桿一一擰上(杠桿式的在左側(cè)還配有一根平衡桿),選擇一個(gè)適合擺放支撐真空計(jì)的平臺(tái)面,安置好真空計(jì)。當(dāng)測(cè)量完畢后,應(yīng)及時(shí)的關(guān)閉真空計(jì)與測(cè)量系統(tǒng)之間的閥門(mén),將手輪退到擰不動(dòng)為止,把杠桿退還到起始位置即可。真空計(jì)開(kāi)始執(zhí)行任何工作之前,要查看真空部件是否被污染。麗水電阻型真空計(jì)銷(xiāo)售廠(chǎng)家麥?zhǔn)险婵沼?jì)使用方法:1、在使用之前,先將...
定溫型電阻真空計(jì)工作原理是:先在10-2~10-3 Pa真空度時(shí),將電橋調(diào)于一定的電壓V0(使熱絲溫度為一定值);改變電阻Rv使電橋平衡,即指示儀表CB指向零;當(dāng)壓力增高時(shí),熱損耗大,熱絲溫度降低,電阻變小,電橋失去平衡,CB有指示;再增高電橋輸入電壓至V使電橋再次平衡,則熱絲溫度及電阻回復(fù)原值。文氏橋定溫型電阻真空計(jì)測(cè)量線(xiàn)路原理:電橋采用一種文氏交流電橋電路。R1、C1,R2、C2,R3和規(guī)管Rw為電橋四臂。K~為交流振蕩器,其輸出交流電壓V施加于電橋A端與地間,并對(duì)規(guī)管熱絲加熱。真空計(jì)(Vacuum Gauge),又名真空表,是測(cè)量真空度或氣壓的儀器。濟(jì)南智能型真空計(jì)廠(chǎng)家推薦皮拉尼電阻真空...
測(cè)量真空度的裝置稱(chēng)為真空計(jì),熱傳導(dǎo)真空計(jì)是依據(jù)低壓氣體的熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)這一現(xiàn)象來(lái)進(jìn)行測(cè)量的。它可以通過(guò)熱絲電阻的變化來(lái)反映溫度的變化,從而反映熱傳導(dǎo)的變化,用此種測(cè)量方法的真空計(jì)稱(chēng)為熱阻真空計(jì),又稱(chēng)為電阻真空計(jì)。也可以直接用熱電偶測(cè)量熱絲的溫度變化來(lái)反映熱傳導(dǎo)的變化,稱(chēng)為熱偶真空計(jì)。DCP 3000電阻真空計(jì)是一款杰出的真空規(guī),擁有帶背光的大顯示屏幕。全新的VSP 3000真空傳感器基于熱導(dǎo)(電阻)原理,測(cè)量范圍從常壓到10-3 mbar。與被抽介質(zhì)接觸的部分采用抗化學(xué)腐蝕塑料(PBT,PUR)和氧化鋁陶瓷。熱傳導(dǎo)真空計(jì)主要被應(yīng)用于中低真空領(lǐng)域。淄博壓敏真空計(jì)批發(fā)價(jià)格電阻真空計(jì)也稱(chēng)皮拉尼(P...
電阻真空計(jì)系利用真空系統(tǒng)中分子數(shù)與傳導(dǎo)熱量有關(guān)的原理制造作而成的,電阻真空計(jì)屬于相對(duì)真空計(jì)的范疇。電阻真空計(jì)的優(yōu)點(diǎn)在于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、能連續(xù)測(cè)量、可以測(cè)量總壓強(qiáng)、使用方便(可用導(dǎo)線(xiàn)進(jìn)行遠(yuǎn)距離測(cè)量)。缺點(diǎn)在于即電阻真空計(jì)的測(cè)量值與被測(cè)量氣體種類(lèi)有關(guān),這是因?yàn)殡娮枵婵沼?jì)出廠(chǎng)時(shí)大多是利用空氣標(biāo)定的,由于離子滲氮爐中氫的存在,氫的熱導(dǎo)率與氮、空氣等的熱導(dǎo)率相比相差太大,故所測(cè)真空度值誤差較大。但由于該類(lèi)真空計(jì)實(shí)用方便、讀數(shù)直觀(guān),勇于測(cè)量爐體的極限真空度和壓升率準(zhǔn)確可靠,因而仍然是我國(guó)大多數(shù)企業(yè)的一個(gè)選擇產(chǎn)品。數(shù)顯隔膜真空計(jì)靈活可設(shè)置的方式為用戶(hù)帶來(lái)了很大的便利和適用性。陜西榆林?jǐn)?shù)顯電阻真空計(jì)多少錢(qián)對(duì)于使用進(jìn)...
眾所周知,真空計(jì)具有簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)、使用方便等特點(diǎn),在中真空以至低真空測(cè)量中都占有重要的地位。然而,我們發(fā)現(xiàn)它的規(guī)管雖然簡(jiǎn)單,但由于絲細(xì)而長(zhǎng)比較脆弱,經(jīng)不起振動(dòng)和氣流沖擊,同時(shí)絲表面對(duì)污染較為敏感,即使采用白金絲或鍍金鎢絲,穩(wěn)定性仍然很差。電阻真空計(jì)屬熱導(dǎo)真空計(jì),產(chǎn)生于1906年,但只是在40年代解決了細(xì)絲焊接問(wèn)題之后,它才得到實(shí)際應(yīng)用。由于它相對(duì)皮氏計(jì)而言,更為簡(jiǎn)單、可靠,在許多地方代替了皮氏計(jì)。不過(guò),迄今為止,商售熱偶真空計(jì)單限于定流式一種,一般測(cè)盆上限單為100Pa。電阻真空計(jì),基于定溫和對(duì)流原理,采用穩(wěn)定型熱偶真空規(guī)管和現(xiàn)代電子器件,成功地把測(cè)量上限擴(kuò)展至大氣壓,并彌補(bǔ)了皮氏計(jì)的不足之處,...
采用電阻真空計(jì)真空傳感器,可以準(zhǔn)確測(cè)量真空度,實(shí)時(shí)監(jiān)控真空系統(tǒng)的真空度。安全操作說(shuō)明:在進(jìn)行測(cè)量時(shí),應(yīng)遵循使用操作說(shuō)明,在說(shuō)明書(shū)參數(shù)范圍內(nèi)使用本儀器。當(dāng)電量不足時(shí),應(yīng)及時(shí)更換新電池,新舊電池,不同品牌的電池不能混合使用,長(zhǎng)時(shí)間不用時(shí),應(yīng)取出電池。不要使用腐蝕性清潔劑或溶劑清潔本儀器。戴好護(hù)目鏡和防護(hù)手套。傳感器清理:在使用過(guò)程中,傳感器可能被雜質(zhì)污染,此時(shí)需要清潔傳感器,具體步驟如下:使真空計(jì)關(guān)機(jī),并取出電池。用滴管或針筒把或酒精注入傳感器室內(nèi),反復(fù)清洗3-4次。真空計(jì)在測(cè)量結(jié)束后,應(yīng)用夾子將真空橡皮管夾緊使用之與真空系統(tǒng)氣體隔離。陜西榆林?jǐn)?shù)顯式電阻真空表售價(jià)電阻真空計(jì)也稱(chēng)皮拉尼(Pirani...
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種電阻真空計(jì)校準(zhǔn)電路,包括真空傳感器,A/D采集芯片和單片機(jī);真空傳感器輸出的電信號(hào)經(jīng)A/D采集芯片進(jìn)行模數(shù)轉(zhuǎn)換后上傳至單片機(jī),還包括LCD顯示屏,所述LCD顯示屏與單片機(jī)的I/O口通信連接,所述單片機(jī)的I/O口還分別連接一個(gè)觸發(fā)按鍵。本實(shí)用新型電阻真空計(jì)校準(zhǔn)電路通過(guò)記錄傳感器的輸入電壓,據(jù)此計(jì)算出此輸入電壓與標(biāo)準(zhǔn)電壓(0和5V)的對(duì)應(yīng)關(guān)系,從而達(dá)到對(duì)傳感器進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)的目的,也克服了傳統(tǒng)方案易受人為因素和環(huán)境溫度影響的缺點(diǎn)。真空計(jì)的可靠性高,操作簡(jiǎn)単,測(cè)量結(jié)果重復(fù)性好,可持續(xù)監(jiān)視若干測(cè)量地點(diǎn)。上海壓敏真空計(jì)售價(jià)在較高壓力時(shí)(10~1Pa)利用壓力差U型管壓力計(jì),麥克勞真空計(jì),薄...
測(cè)量真空度的裝置稱(chēng)為真空計(jì),熱傳導(dǎo)真空計(jì)是依據(jù)低壓氣體的熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)這一現(xiàn)象來(lái)進(jìn)行測(cè)量的。它可以通過(guò)熱絲電阻的變化來(lái)反映溫度的變化,從而反映熱傳導(dǎo)的變化,用此種測(cè)量方法的真空計(jì)稱(chēng)為熱阻真空計(jì),又稱(chēng)為電阻真空計(jì)。也可以直接用熱電偶測(cè)量熱絲的溫度變化來(lái)反映熱傳導(dǎo)的變化,稱(chēng)為熱偶真空計(jì)。DCP 3000電阻真空計(jì)是一款杰出的真空規(guī),擁有帶背光的大顯示屏幕。全新的VSP 3000真空傳感器基于熱導(dǎo)(電阻)原理,測(cè)量范圍從常壓到10-3 mbar。與被抽介質(zhì)接觸的部分采用抗化學(xué)腐蝕塑料(PBT,PUR)和氧化鋁陶瓷。測(cè)量時(shí)壓力計(jì)旋轉(zhuǎn)至直立狀應(yīng)緩慢進(jìn)行,真空計(jì)使用完畢應(yīng)立即回復(fù)橫臥狀態(tài)。府谷縣智能型真...
安裝上抽氣接頭和用作密封的羅帽,用真空排氣管聯(lián)接真空系統(tǒng),若有條件請(qǐng)采用¢6mm的紫銅管進(jìn)行焊接,盡可能減少漏氣的可能性,注意焊接時(shí),必須將真空計(jì)套在接頭上的密封圈取下。測(cè)量時(shí),以旋轉(zhuǎn)手輪進(jìn)行測(cè)量的,必須將化學(xué)物質(zhì)升至SET設(shè)定處,在看右側(cè)測(cè)量管內(nèi)的化學(xué)物質(zhì),所指向的真空度數(shù)。讀數(shù)后,必須將手輪及時(shí)的返旋回來(lái),憑手感吃力為止。操作PM-6型的真空計(jì),除上面所提到的低真空度測(cè)量外,對(duì)粗真空度的測(cè)量方法是:將右側(cè)測(cè)量管內(nèi)的化學(xué)物質(zhì)上升至左側(cè)下方的“○→” 位置,看抽氣管(也稱(chēng)比較開(kāi)管)內(nèi)化學(xué)物質(zhì)所指向的真空度數(shù),即為粗真空度。切記!除在跟蹤測(cè)量外,其余的真空度以三次測(cè)量未變的數(shù)值為準(zhǔn)確。當(dāng)電阻真空...
倘若真空系統(tǒng)的真空度為粗真空時(shí),對(duì)PM-2型來(lái)說(shuō),那么正好看右邊U型真空計(jì)壓力,其讀數(shù)值是看兩個(gè)化學(xué)物質(zhì)珠所指的刻度數(shù)值相加之和,當(dāng)真空度低于0.2KPa(即200Pa)時(shí),兩個(gè)化學(xué)物質(zhì)柱端面基本處于平行,則要看左側(cè)的真空表了,其操作方法與原麥?zhǔn)险婵毡硪粯樱ū砻嬗∷⑺荆?。玻義耳-馬略特定律:它反映氣體的體積隨壓強(qiáng)改變而改變的規(guī)律。對(duì)于一定質(zhì)量的氣體,在其溫度保持不變時(shí),它的壓強(qiáng)和體積成反比;或者說(shuō),其壓強(qiáng)P與它的體積V的乘積為一常量,即 PV=C(常數(shù))(T不變時(shí))或 P1V1=P2V2=PnVn。式中常量的大小與氣體系統(tǒng)的溫度和氣體的質(zhì)量有關(guān)。實(shí)際氣體只是在壓強(qiáng)不太高、溫度不太低的條件下才...
真空計(jì)開(kāi)始執(zhí)行任何工作之前,要查看真空部件是否被污染。處理受污染部件時(shí),要遵守相關(guān)規(guī)定,并采取必要的預(yù)防措施。執(zhí)行任何工作之前,要遵守相關(guān)規(guī)定,采取必要的預(yù)防措施,針對(duì)使用的工藝介質(zhì),遵守相關(guān)規(guī)定,并采取必要的預(yù)防措施。要考慮到可能會(huì)與產(chǎn)品材料發(fā)生的反應(yīng)。真空計(jì)安裝變送器時(shí)要注意防止振動(dòng)。安裝變送器任何方位皆可。為防止凝液和顆粒進(jìn)入測(cè)量腔,較好選擇一個(gè)水平到垂直向上的方位,在測(cè)量口可以添加過(guò)濾裝置。如果變送器安裝好之后要進(jìn)行調(diào)節(jié),安裝時(shí)要確保裝好后能夠用按針對(duì)調(diào)節(jié)按鈕進(jìn)行操作。拆掉保護(hù)蓋,將產(chǎn)品連接到真空系統(tǒng)中。真空計(jì)是應(yīng)用真空中熱傳導(dǎo)與真空度有關(guān)的原理測(cè)量真空。寧波皮拉尼電阻真空計(jì)銷(xiāo)售本實(shí)用...
實(shí)用的電阻真空計(jì)測(cè)量線(xiàn)路常采用惠氏電橋或文氏電橋。根據(jù)測(cè)量熱絲電阻變化的方法不同,可分為三種模式:(1)定電壓法:保持電橋兩端電壓不變,觀(guān)察失平衡電流與壓力的關(guān)系。(2)定電流法:保持熱絲電流(或電橋電流)不變,觀(guān)察失平衡電壓與壓力的關(guān)系。(3)定電阻法(即定溫度法):在任何壓力下都用改變電橋電壓的方法,保持電橋于平衡狀態(tài)。電橋電壓與壓力的關(guān)系即為校準(zhǔn)曲線(xiàn)。在此方法中,熱絲電阻及其溫度基本為定值,具有熱輻射及邊桿導(dǎo)熱均為恒定的優(yōu)點(diǎn)。在以上三種模式中,常用的是定電壓法和定溫度法。真空計(jì)垂直放置在大氣時(shí)壓強(qiáng)讀數(shù)較小,水平放置在大氣時(shí),壓強(qiáng)讀數(shù)較大。嘉興數(shù)字電阻真空計(jì)批發(fā)電阻真空計(jì)(thermoco...
該電阻真空計(jì)(又名電阻真空計(jì))采用本公司潛心研究的經(jīng)過(guò)特殊穩(wěn)定化處理的ZJ-52T電阻規(guī);同時(shí)結(jié)合電阻規(guī)特性精心調(diào)校電子學(xué)參數(shù),并采用先進(jìn)的恒功率定溫技術(shù),以及微處理器對(duì)規(guī)管的非線(xiàn)性線(xiàn)性化處理技術(shù)?;诖耍撜婵沼?jì)系列具有強(qiáng)的穩(wěn)定性能、寬廣的有效測(cè)量量程、快的響應(yīng)速度、較小的零點(diǎn)/滿(mǎn)度漂移等特性。為適應(yīng)真空設(shè)備自動(dòng)化技術(shù),并集成了強(qiáng)大的繼電器觸點(diǎn)控制、串行通訊、真空模擬量等擴(kuò)展功能。特別適用于真空應(yīng)用設(shè)備的粗、低真空測(cè)量與控制。 若是采用掛壁式的必須用羅栓作固定,安裝時(shí)必須保持真空計(jì)與水平面的垂直度。日照壓敏真空計(jì)批發(fā)廠(chǎng)家倘若真空系統(tǒng)的真空度為粗真空時(shí),對(duì)PM-2型來(lái)說(shuō),那么正好看右邊U型真空...
皮拉尼電阻真空計(jì)是一種低真空測(cè)量?jī)x器。該儀器由定溫式電阻真空計(jì)組成,用于測(cè)量低真空。其使用范圍在1.0×105 ~ 1.0×10-1Pa。儀器采用真空規(guī)管作為傳感器。穩(wěn)定性好,不易損壞。儀器采用微處理機(jī)完成測(cè)量數(shù)據(jù)的采集和處理。具有自動(dòng)非線(xiàn)性參數(shù)修正和誤差補(bǔ)償功能,并采用了光電隔離、數(shù)字濾波、防高電壓沖擊等技術(shù),提高了測(cè)量精度及抗干擾能力,特別對(duì)于電子束、離子束以及弧放電等強(qiáng)干擾源都有非凡的抗干擾能力。每臺(tái)真空計(jì)均設(shè)置有兩組繼電器輸出接口,用來(lái)實(shí)現(xiàn)真空度定值點(diǎn)和區(qū)域的控制。定值點(diǎn)及區(qū)域可方便自由設(shè)定,該儀器控制面板更人性化,操作更方便,開(kāi)電源即可工作。本機(jī)線(xiàn)路設(shè)計(jì)合理,制作工藝考究,采用...
真空計(jì)傳感器通常可用異丙醇清洗。為了保持真空計(jì)傳感器的準(zhǔn)確性,盡量避免機(jī)油污染。以下是一些避免污染的建議:1、連接真空計(jì)傳感器前,檢查接頭是否有油跡。2、盡可能使傳感器保持垂直。3、將儀表直接連接到系統(tǒng),遠(yuǎn)離泵。4、在關(guān)閉泵之前,用閥門(mén)將泵與系統(tǒng)(和壓力表)隔離。當(dāng)壓力表安裝在泵附近時(shí),這一點(diǎn)非常重要。熱真空計(jì)檢漏,要在它的測(cè)量范圍的真空度下,才能有效,即只適用于10-1——10-3托的真空度范圍。它哪呢過(guò)檢出較小漏孔為1*10-5托升/秒。隔膜真空計(jì)是用于系統(tǒng)中檢測(cè)腔體或管道壓力的關(guān)鍵元器件。金華智能型真空計(jì)銷(xiāo)售測(cè)量時(shí)壓力計(jì)旋轉(zhuǎn)至直立狀應(yīng)緩慢進(jìn)行,真空計(jì)使用完畢應(yīng)立即回復(fù)橫臥狀態(tài),橫臥過(guò)程中...
運(yùn)輸及使用時(shí)必須嚴(yán)防倒置平臥,以防化學(xué)物質(zhì)倒回真空像皮管內(nèi)或化學(xué)物質(zhì)珠進(jìn)入中間閉管毛細(xì)管內(nèi)堵塞毛細(xì)管,影響測(cè)量精度。因此在每次使用前必須先將真空橡皮管豎直,以使化學(xué)物質(zhì)能流回真空計(jì)玻璃管內(nèi)。在測(cè)量時(shí)即真空表為直立狀態(tài),嚴(yán)禁將任何氣體強(qiáng)烈地沖入真空系統(tǒng),以免沖擊玻璃管致使擊碎玻璃管。真空計(jì)內(nèi)工作汞已經(jīng)經(jīng)過(guò)化學(xué)物理方法處理,有一定的清潔性。因長(zhǎng)期使用等原因而引起的化學(xué)物質(zhì)氧化污染會(huì)直接影響測(cè)量精度,應(yīng)及時(shí)送往修理,經(jīng)檢驗(yàn)合格后方可使用。真空計(jì)在測(cè)量結(jié)束后,應(yīng)用夾子將真空橡皮管夾緊使用之與真空系統(tǒng)氣體隔離。這樣能保持真空計(jì)內(nèi)化學(xué)物質(zhì)清潔,也能避免真空計(jì)被取下分離時(shí),大氣強(qiáng)烈沖擊真空計(jì)使其破碎。如不將...
皮拉尼電阻真空計(jì)是一種低真空測(cè)量?jī)x器。該儀器由定溫式電阻真空計(jì)組成,用于測(cè)量低真空。其使用范圍在1.0×105 ~ 1.0×10-1Pa。儀器采用真空規(guī)管作為傳感器。穩(wěn)定性好,不易損壞。儀器采用微處理機(jī)完成測(cè)量數(shù)據(jù)的采集和處理。具有自動(dòng)非線(xiàn)性參數(shù)修正和誤差補(bǔ)償功能,并采用了光電隔離、數(shù)字濾波、防高電壓沖擊等技術(shù),提高了測(cè)量精度及抗干擾能力,特別對(duì)于電子束、離子束以及弧放電等強(qiáng)干擾源都有非凡的抗干擾能力。每臺(tái)真空計(jì)均設(shè)置有兩組繼電器輸出接口,用來(lái)實(shí)現(xiàn)真空度定值點(diǎn)和區(qū)域的控制。定值點(diǎn)及區(qū)域可方便自由設(shè)定,該儀器控制面板更人性化,操作更方便,開(kāi)電源即可工作。本機(jī)線(xiàn)路設(shè)計(jì)合理,制作工藝考究,采用...
隔膜真空計(jì)是用于系統(tǒng)中檢測(cè)腔體或管道壓力的關(guān)鍵元器件,就隔膜真空計(jì)本身而言,根據(jù)其測(cè)量原理以及量程,精度,組織構(gòu)造,分為很多種類(lèi)型,這給實(shí)際使用中的隔膜真空計(jì)選型帶來(lái)了一定的難度,本文旨在提供一種統(tǒng)一的選型思路,兩步法快速幫助您快速定位所需的隔膜真空計(jì)種類(lèi)。對(duì)于每一個(gè)等級(jí)內(nèi)的真空度,較佳的測(cè)量?jī)x器是不一樣的,具體來(lái)說(shuō),若處于中低真空的范圍,通常選用皮拉尼電阻規(guī)隔膜真空計(jì),若處于高真空或者超高真空的范圍,則只能選擇電離規(guī)。需要注意的是,皮拉尼電阻規(guī)原理特性決定其在靠近大氣端測(cè)量誤差較大,且對(duì)氣體種類(lèi)敏感,因此若設(shè)備的工作真空度在10^3Pa以上,或者過(guò)程中對(duì)這個(gè)區(qū)域的真空度需要監(jiān)控,而且要求測(cè)量...
對(duì)于使用進(jìn)口電阻真空計(jì)時(shí)如何保證測(cè)量吸氣劑放氣量的精度這一問(wèn)題進(jìn)行了探索。首先通過(guò)對(duì)膨脹法標(biāo)準(zhǔn)裝置的改進(jìn)、提高極限真空、提高靜態(tài)保持的真空度、改進(jìn)取氣方法等項(xiàng)措施,提高了校準(zhǔn)精度。使校準(zhǔn)誤差控制在不大于±10%以?xún)?nèi)。同時(shí)又討論了測(cè)量時(shí)的環(huán)境溫度、氣體種類(lèi)、真空計(jì)的靈敏度、熱絲的污染等因素對(duì)儀器測(cè)量精度的影響和消除方法。薄膜電阻真空計(jì)的測(cè)量范圍為1托~1000托,線(xiàn)性測(cè)量,測(cè)量精度優(yōu)于5%,為全壓強(qiáng)測(cè)量,測(cè)量值受被測(cè)氣體種類(lèi)影響較小,引言利用集成電路平面工藝在硅膜片上制作四個(gè)等值電阻,組成惠斯登電橋。隔膜真空計(jì)是用于系統(tǒng)中檢測(cè)腔體或管道壓力的關(guān)鍵元器件。德州皮拉尼真空表廠(chǎng)家麥?zhǔn)险婵毡碛置溈藙谡?..
運(yùn)輸及使用時(shí)必須嚴(yán)防倒置平臥,以防化學(xué)物質(zhì)倒回真空像皮管內(nèi)或化學(xué)物質(zhì)珠進(jìn)入中間閉管毛細(xì)管內(nèi)堵塞毛細(xì)管,影響測(cè)量精度。因此在每次使用前必須先將真空橡皮管豎直,以使化學(xué)物質(zhì)能流回真空計(jì)玻璃管內(nèi)。在測(cè)量時(shí)即真空表為直立狀態(tài),嚴(yán)禁將任何氣體強(qiáng)烈地沖入真空系統(tǒng),以免沖擊玻璃管致使擊碎玻璃管。真空計(jì)內(nèi)工作汞已經(jīng)經(jīng)過(guò)化學(xué)物理方法處理,有一定的清潔性。因長(zhǎng)期使用等原因而引起的化學(xué)物質(zhì)氧化污染會(huì)直接影響測(cè)量精度,應(yīng)及時(shí)送往修理,經(jīng)檢驗(yàn)合格后方可使用。真空計(jì)在測(cè)量結(jié)束后,應(yīng)用夾子將真空橡皮管夾緊使用之與真空系統(tǒng)氣體隔離。這樣能保持真空計(jì)內(nèi)化學(xué)物質(zhì)清潔,也能避免真空計(jì)被取下分離時(shí),大氣強(qiáng)烈沖擊真空計(jì)使其破碎。如不將...
我們?cè)谶M(jìn)等離子體化學(xué)氣相沉積硬膜實(shí)驗(yàn)中采用了間接測(cè)量壓力的ZDZ型電阻真空計(jì),這種真空計(jì)是用氮?dú)鈦?lái)標(biāo)定的。若測(cè)量系統(tǒng)中有其他氣體存在時(shí),測(cè)量誤差大,直接影響到試驗(yàn)的準(zhǔn)確性。在氮?dú)怏w流量為100sccm時(shí),用ZDZ型電阻真空計(jì)測(cè)量的氣壓約為20Pa,而氫氣流量為100sccm時(shí),所測(cè)的氣壓約為50Pa;在氮?dú)饬髁繛?00sccm時(shí),所測(cè)的氣壓約為65Pa,而在氫氣流量為500sccm時(shí),所測(cè)的氣壓達(dá)到300Pa。為了對(duì)電阻真空計(jì)在測(cè)量不同氣體時(shí)的氣壓進(jìn)行標(biāo)定,我們采用直接測(cè)量的麥克勞真空計(jì)作為標(biāo)準(zhǔn),對(duì)不同流量的氫氣、氮?dú)?、氬氣和甲烷氣分別用電阻真空計(jì)和麥克勞真空計(jì)進(jìn)行測(cè)量。真空計(jì)(Vacuum ...
熱導(dǎo)式真空計(jì)測(cè)量值跟氣體成分有關(guān),在相同的真空壓力條件下,水蒸氣的熱導(dǎo)率是氮?dú)獾?.6倍,因此在一次干燥過(guò)程當(dāng)中,電阻真空計(jì)測(cè)得值比電容真空計(jì)測(cè)得值高約為60%。在接近一次升華干燥終點(diǎn)時(shí),凍干箱內(nèi)部水蒸氣逐漸減少,不凝性氣體(以氮?dú)鉃橹鳎┲饾u增多,因此電阻真空計(jì)測(cè)得壓力值隨著一次干燥過(guò)程的進(jìn)行,逐漸在減小。當(dāng)電阻真空計(jì)測(cè)得值與電容真空計(jì)測(cè)得值接近時(shí)可以判斷一次干燥過(guò)程結(jié)束。但是由于電阻真空計(jì)自身存在的一些性能缺點(diǎn),限制了該方法的使用。電阻真空計(jì)易出現(xiàn)老化現(xiàn)象,使其性能降低;電阻真空計(jì)有較大的熱慣性,壓強(qiáng)改變時(shí),其讀數(shù)會(huì)滯后一些時(shí)間;其受外界溫度的影響較大,必須安裝于不易受輻射或?qū)α鳠嵊绊懙牡胤?..
我們?cè)谶M(jìn)等離子體化學(xué)氣相沉積硬膜實(shí)驗(yàn)中采用了間接測(cè)量壓力的ZDZ型電阻真空計(jì),這種真空計(jì)是用氮?dú)鈦?lái)標(biāo)定的。若測(cè)量系統(tǒng)中有其他氣體存在時(shí),測(cè)量誤差大,直接影響到試驗(yàn)的準(zhǔn)確性。在氮?dú)怏w流量為100sccm時(shí),用ZDZ型電阻真空計(jì)測(cè)量的氣壓約為20Pa,而氫氣流量為100sccm時(shí),所測(cè)的氣壓約為50Pa;在氮?dú)饬髁繛?00sccm時(shí),所測(cè)的氣壓約為65Pa,而在氫氣流量為500sccm時(shí),所測(cè)的氣壓達(dá)到300Pa。為了對(duì)電阻真空計(jì)在測(cè)量不同氣體時(shí)的氣壓進(jìn)行標(biāo)定,我們采用直接測(cè)量的麥克勞真空計(jì)作為標(biāo)準(zhǔn),對(duì)不同流量的氫氣、氮?dú)狻鍤夂图淄闅夥謩e用電阻真空計(jì)和麥克勞真空計(jì)進(jìn)行測(cè)量。熱傳導(dǎo)真空計(jì)主要被應(yīng)用...
真空計(jì)是基于皮拉尼真空計(jì)的熱傳導(dǎo)原理設(shè)計(jì),配備集成的繼電器輸出,適合工藝控制。還帶有LED環(huán),可顯示真空計(jì)的狀態(tài)。真空計(jì)的可靠性高,操作簡(jiǎn)単,測(cè)量結(jié)果重復(fù)性好,可持續(xù)監(jiān)視若干測(cè)量地點(diǎn),安裝簡(jiǎn)單并且節(jié)省成本和空間。真空計(jì)間接壓力測(cè)量是通過(guò)測(cè)量氣體與壓力有關(guān)的性質(zhì)(例如熱導(dǎo)率、電離概率)進(jìn)行間接測(cè)量的,因此間接壓力測(cè)量的結(jié)果取決于具體的氣體類(lèi)型。測(cè)量讀數(shù)是以空氣或氮?dú)鉃闇y(cè)量氣體時(shí)的讀數(shù),對(duì)于其它氣體,可利用修正因數(shù)修正測(cè)量讀數(shù)。真空泵用真空計(jì)還配置數(shù)字接口或者觸碰顯示器。帶有鍍膜適合腐蝕性應(yīng)用。真空計(jì)(Vacuum Gauge),又名真空表,是測(cè)量真空度或氣壓的儀器。上海指針式真空計(jì)廠(chǎng)家電話(huà)真空計(jì)...
實(shí)用的電阻真空計(jì)測(cè)量線(xiàn)路常采用惠氏電橋或文氏電橋。根據(jù)測(cè)量熱絲電阻變化的方法不同,可分為三種模式:(1)定電壓法:保持電橋兩端電壓不變,觀(guān)察失平衡電流與壓力的關(guān)系。(2)定電流法:保持熱絲電流(或電橋電流)不變,觀(guān)察失平衡電壓與壓力的關(guān)系。(3)定電阻法(即定溫度法):在任何壓力下都用改變電橋電壓的方法,保持電橋于平衡狀態(tài)。電橋電壓與壓力的關(guān)系即為校準(zhǔn)曲線(xiàn)。在此方法中,熱絲電阻及其溫度基本為定值,具有熱輻射及邊桿導(dǎo)熱均為恒定的優(yōu)點(diǎn)。在以上三種模式中,常用的是定電壓法和定溫度法。隔膜真空計(jì)是用于系統(tǒng)中檢測(cè)腔體或管道壓力的關(guān)鍵元器件。東北三省皮拉尼真空表哪家好電阻真空計(jì)特點(diǎn):1.電阻真空計(jì)配用的傳...
隔膜真空計(jì)是用于系統(tǒng)中檢測(cè)腔體或管道壓力的關(guān)鍵元器件,就隔膜真空計(jì)本身而言,根據(jù)其測(cè)量原理以及量程,精度,組織構(gòu)造,分為很多種類(lèi)型,這給實(shí)際使用中的隔膜真空計(jì)選型帶來(lái)了一定的難度,本文旨在提供一種統(tǒng)一的選型思路,兩步法快速幫助您快速定位所需的隔膜真空計(jì)種類(lèi)。對(duì)于每一個(gè)等級(jí)內(nèi)的真空度,較佳的測(cè)量?jī)x器是不一樣的,具體來(lái)說(shuō),若處于中低真空的范圍,通常選用皮拉尼電阻規(guī)隔膜真空計(jì),若處于高真空或者超高真空的范圍,則只能選擇電離規(guī)。需要注意的是,皮拉尼電阻規(guī)原理特性決定其在靠近大氣端測(cè)量誤差較大,且對(duì)氣體種類(lèi)敏感,因此若設(shè)備的工作真空度在10^3Pa以上,或者過(guò)程中對(duì)這個(gè)區(qū)域的真空度需要監(jiān)控,而且要求測(cè)量...
在數(shù)字真空計(jì)的使用過(guò)程中,影響電子真空計(jì)工作的較常見(jiàn)問(wèn)題是傳感器污染。傳感器區(qū)域中的機(jī)油和其他污染物可能會(huì)影響傳感器檢測(cè)真空度變化的能力。所有電子真空計(jì)都會(huì)受到油污染。機(jī)油污染通常是可以避免的,不在保修范圍內(nèi)。油存在于所有空調(diào)/制冷系統(tǒng)中,并可在排空過(guò)程中從系統(tǒng)中抽出。在將電子真空計(jì)連接到閥門(mén)上的側(cè)端口之前,盡量真空充注閥拆下檢修接頭芯,并將系統(tǒng)拉至28“Hg以下。這將使您能夠正確地將系統(tǒng)與泵隔離,并減少系統(tǒng)或真空泵的機(jī)油污染傳感器的可能性。如果真空計(jì)傳感器被機(jī)油污染,則會(huì)在傳感器端部的橡膠密封件中看到機(jī)油跡象。真空讀數(shù)也將高于預(yù)期值。在某些特殊污染的情況下,顯示器不會(huì)低于大氣壓力。真空計(jì)在測(cè)...
對(duì)于使用進(jìn)口電阻真空計(jì)時(shí)如何保證測(cè)量吸氣劑放氣量的精度這一問(wèn)題進(jìn)行了探索。首先通過(guò)對(duì)膨脹法標(biāo)準(zhǔn)裝置的改進(jìn)、提高極限真空、提高靜態(tài)保持的真空度、改進(jìn)取氣方法等項(xiàng)措施,提高了校準(zhǔn)精度。使校準(zhǔn)誤差控制在不大于±10%以?xún)?nèi)。同時(shí)又討論了測(cè)量時(shí)的環(huán)境溫度、氣體種類(lèi)、真空計(jì)的靈敏度、熱絲的污染等因素對(duì)儀器測(cè)量精度的影響和消除方法。薄膜電阻真空計(jì)的測(cè)量范圍為1托~1000托,線(xiàn)性測(cè)量,測(cè)量精度優(yōu)于5%,為全壓強(qiáng)測(cè)量,測(cè)量值受被測(cè)氣體種類(lèi)影響較小,引言利用集成電路平面工藝在硅膜片上制作四個(gè)等值電阻,組成惠斯登電橋。真空計(jì)一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化氣壓的測(cè)量。臺(tái)州皮拉尼真空計(jì)報(bào)價(jià)測(cè)量時(shí)壓力計(jì)旋...