我們在進(jìn)等離子體化學(xué)氣相沉積硬膜實(shí)驗(yàn)中采用了間接測量壓力的ZDZ型電阻真空計(jì),這種真空計(jì)是用氮?dú)鈦順?biāo)定的。若測量系統(tǒng)中有其他氣體存在時(shí),測量誤差大,直接影響到試驗(yàn)的準(zhǔn)確性。在氮?dú)怏w流量為100sccm時(shí),用ZDZ型電阻真空計(jì)測量的氣壓約為20Pa,而氫氣流量為100sccm時(shí),所測的氣壓約為50Pa;在氮?dú)饬髁繛?00sccm時(shí),所測的氣壓約為65Pa,而在氫氣流量為500sccm時(shí),所測的氣壓達(dá)到300Pa。為了對電阻真空計(jì)在測量不同氣體時(shí)的氣壓進(jìn)行標(biāo)定,我們采用直接測量的麥克勞真空計(jì)作為標(biāo)準(zhǔn),對不同流量的氫氣、氮?dú)?、氬氣和甲烷氣分別用電阻真空計(jì)和麥克勞真空計(jì)進(jìn)行測量。熱傳導(dǎo)真空計(jì)主要被應(yīng)用于中低真空領(lǐng)域。濟(jì)寧數(shù)顯式電阻真空計(jì)廠家電話
該電阻真空計(jì)（又名電阻真空計(jì)）采用本公司潛心研究的經(jīng)過特殊穩(wěn)定化處理的ZJ-52T電阻規(guī)；同時(shí)結(jié)合電阻規(guī)特性精心調(diào)校電子學(xué)參數(shù)，并采用先進(jìn)的恒功率定溫技術(shù)，以及微處理器對規(guī)管的非線性線性化處理技術(shù)?；诖?，該真空計(jì)系列具有強(qiáng)的穩(wěn)定性能、寬廣的有效測量量程、快的響應(yīng)速度、較小的零點(diǎn)/滿度漂移等特性。為適應(yīng)真空設(shè)備自動化技術(shù)，并集成了強(qiáng)大的繼電器觸點(diǎn)控制、串行通訊、真空模擬量等擴(kuò)展功能。特別適用于真空應(yīng)用設(shè)備的粗、低真空測量與控制。 紹興智能型真空表直銷廠家真空計(jì)適用于300 Pa -0.1Pa范圍內(nèi)的真空測量和控制。
隔膜真空計(jì)是用于系統(tǒng)中檢測腔體或管道壓力的關(guān)鍵元器件，就隔膜真空計(jì)本身而言，根據(jù)其測量原理以及量程，精度，組織構(gòu)造，分為很多種類型，這給實(shí)際使用中的隔膜真空計(jì)選型帶來了一定的難度，本文旨在提供一種統(tǒng)一的選型思路，兩步法快速幫助您快速定位所需的隔膜真空計(jì)種類。對于每一個(gè)等級內(nèi)的真空度，較佳的測量儀器是不一樣的，具體來說，若處于中低真空的范圍，通常選用皮拉尼電阻規(guī)隔膜真空計(jì)，若處于高真空或者超高真空的范圍，則只能選擇電離規(guī)。需要注意的是，皮拉尼電阻規(guī)原理特性決定其在靠近大氣端測量誤差較大，且對氣體種類敏感，因此若設(shè)備的工作真空度在10^3Pa以上，或者過程中對這個(gè)區(qū)域的真空度需要監(jiān)控，而且要求測量精度很高，則不宜選擇單純的皮拉尼隔膜真空計(jì)，可以考慮皮拉尼與膜片電容復(fù)合的隔膜真空計(jì)。
運(yùn)輸及使用時(shí)必須嚴(yán)防倒置平臥，以防化學(xué)物質(zhì)倒回真空像皮管內(nèi)或化學(xué)物質(zhì)珠進(jìn)入中間閉管毛細(xì)管內(nèi)堵塞毛細(xì)管，影響測量精度。因此在每次使用前必須先將真空橡皮管豎直，以使化學(xué)物質(zhì)能流回真空計(jì)玻璃管內(nèi)。在測量時(shí)即真空表為直立狀態(tài),嚴(yán)禁將任何氣體強(qiáng)烈地沖入真空系統(tǒng),以免沖擊玻璃管致使擊碎玻璃管。真空計(jì)內(nèi)工作汞已經(jīng)經(jīng)過化學(xué)物理方法處理，有一定的清潔性。因長期使用等原因而引起的化學(xué)物質(zhì)氧化污染會直接影響測量精度，應(yīng)及時(shí)送往修理，經(jīng)檢驗(yàn)合格后方可使用。真空計(jì)在測量結(jié)束后，應(yīng)用夾子將真空橡皮管夾緊使用之與真空系統(tǒng)氣體隔離。這樣能保持真空計(jì)內(nèi)化學(xué)物質(zhì)清潔，也能避免真空計(jì)被取下分離時(shí)，大氣強(qiáng)烈沖擊真空計(jì)使其破碎。如不將真空計(jì)取下，應(yīng)在機(jī)械真空泵停止后，一定要將機(jī)械泵與真空系統(tǒng)氣路斷開，并將機(jī)械泵內(nèi)放入大氣以免機(jī)械泵油返入真空系統(tǒng)及真空計(jì)受到油的污染。電阻真空計(jì)有較大的熱慣性，壓強(qiáng)改變時(shí)，其讀數(shù)會滯后一些時(shí)間。
電阻真空計(jì)（thermocouplevacuumgauge）的工作原理是：當(dāng)氣體分子平均自由程大于容器的線度時(shí)，它的熱傳導(dǎo)系數(shù)正比于壓強(qiáng)。將一根金屬絲通以恒定的加熱電流時(shí)，由于氣體導(dǎo)走了一部分熱量，故當(dāng)達(dá)到熱平衡時(shí)，金屬絲便保持一定的溫度。氣體的壓強(qiáng)高，導(dǎo)走的熱量多，平衡溫度就低。所以金屬絲的溫度是氣體壓強(qiáng)的函數(shù)，可以通過測量金屬絲的溫度而求得壓強(qiáng)的大小。熱偶真空計(jì)即是用一電阻來測量熱絲的溫度從而得到壓強(qiáng)值的真空計(jì)。電阻由兩種不同的金屬絲連接而成，當(dāng)兩接點(diǎn)溫度不同時(shí)就產(chǎn)生熱電勢，溫差越大，熱電勢越高。電阻的一個(gè)接點(diǎn)與熱絲相接觸，另一接點(diǎn)處于室溫，這樣經(jīng)過校正，即可由熱電勢的值轉(zhuǎn)換為壓強(qiáng)的值。它的測壓范圍為1～10-3pa。真空計(jì)傳感器通常可用異丙醇清洗。棗莊DZA1型真空表銷售
真空計(jì)的可靠性高，操作簡単，測量結(jié)果重復(fù)性好，可持續(xù)監(jiān)視若干測量地點(diǎn)。濟(jì)寧數(shù)顯式電阻真空計(jì)廠家電話
定溫型電阻真空計(jì)工作原理是：先在10-2～10-3 Pa真空度時(shí)，將電橋調(diào)于一定的電壓V0(使熱絲溫度為一定值)；改變電阻Rv使電橋平衡，即指示儀表CB指向零；當(dāng)壓力增高時(shí)，熱損耗大，熱絲溫度降低，電阻變小，電橋失去平衡，CB有指示；再增高電橋輸入電壓至V使電橋再次平衡，則熱絲溫度及電阻回復(fù)原值。文氏橋定溫型電阻真空計(jì)測量線路原理：電橋采用一種文氏交流電橋電路。R1、C1，R2、C2，R3和規(guī)管Rw為電橋四臂。K～為交流振蕩器，其輸出交流電壓V施加于電橋A端與地間，并對規(guī)管熱絲加熱。濟(jì)寧數(shù)顯式電阻真空計(jì)廠家電話
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