激光平面干涉儀是基于菲索干涉原理設(shè)計(jì)的光學(xué)精密計(jì)量儀器,主要用于檢測光學(xué)元件表面面形精度和光學(xué)材料的均勻性 [1] [3-4]。該設(shè)備測量精度可達(dá)到1/10-1/100波長量級,采用半導(dǎo)體激光器(635nm)作為光源,具有防塵效果好、結(jié)構(gòu)緊湊等特點(diǎn),適用于光學(xué)車間、實(shí)驗(yàn)室等場景的批量檢測 [3-4]。上海乾曜光學(xué)科技有限公司與北京海富達(dá)科技有限公司均具備相關(guān)生產(chǎn)能力,其中G150M、G200M及60-LP等型號產(chǎn)品采用標(biāo)準(zhǔn)化測量口徑設(shè)計(jì),可滿足不同使用場景需求 [2-4]。截至2025年,相關(guān)企業(yè)產(chǎn)品已服務(wù)國內(nèi)外科研院所及工業(yè)企業(yè) [2]。現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測速普遍達(dá)到1m/s,有的甚至達(dá)到十幾m/s,適于高速動(dòng)態(tài)測量。蘇州本地雙頻激光干涉儀維保
激光干涉測量儀是一種基于激光干涉原理的高精度計(jì)量儀器,廣泛應(yīng)用于工程與技術(shù)科學(xué)領(lǐng)域 [1-2]。該儀器通過測量激光波長變化實(shí)現(xiàn)幾何量的檢測,具備抗干擾能力強(qiáng)、精度高等特點(diǎn)。主要應(yīng)用場景包括數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)、光學(xué)平臺校準(zhǔn)等,通過與不同光學(xué)組件結(jié)合,可檢測線性位移、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數(shù) [2]截至2020年11月,激光干涉測量儀的技術(shù)參數(shù)包括 [1]:標(biāo)準(zhǔn)量程:0-40米測量精度:±0.5 ppm分辨率:1納米比較大速率:240米/分鐘角度測量精度:0.2%吳江區(qū)耐用雙頻激光干涉儀選擇通過分析干涉條紋的變化,可以得到被測物體的位移信息。
激光干涉儀具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,包括但不限于:科學(xué)研究:用于檢測引力波、測量微小位移和振動(dòng)等。工業(yè)制造:用于精密機(jī)械加工、質(zhì)量控制和機(jī)床校準(zhǔn)等。在機(jī)床校準(zhǔn)中,激光干涉儀能夠測量機(jī)床的線性定位誤差、直線度誤差、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角等,以及速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù),并評估機(jī)床的動(dòng)態(tài)特性。計(jì)量學(xué):用于長度標(biāo)準(zhǔn)的校準(zhǔn)。通信:用于光纖傳感和信號處理。四、主要特點(diǎn)高精度:激光干涉儀能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級的測量精度,非常適合各種高精度測量應(yīng)用。
8、激光干涉儀的光源——激光,具有**度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。9、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。1、儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無振動(dòng)的環(huán)境中應(yīng)用。2、在移動(dòng)儀器時(shí),為防止導(dǎo)軌變形,應(yīng)托住底座再進(jìn)行移動(dòng)。3、儀器的光學(xué)零件在不用時(shí),應(yīng)在清潔干燥的器皿中進(jìn)行存放,以防止發(fā)霉。4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等,如必須擦拭則應(yīng)當(dāng)小心擦拭,利用科學(xué)的方法進(jìn)行清潔。雙頻激光干涉儀的發(fā)明使激光干涉儀擺脫了計(jì)量室的束縛,更為廣泛的應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中。
激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。單頻激光干涉儀從激光器發(fā)出的光束,經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號,經(jīng)整形、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù),再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式[356-11]式中λ為 激光波長(N 為電脈沖總數(shù)),算出可動(dòng)反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時(shí),要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài),各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。用激光干涉儀作為機(jī)床的測量系統(tǒng)可以提高機(jī)床的精度和效率。高新區(qū)銷售雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)
即使不做細(xì)分也可達(dá)到μm量級,細(xì)分后更可達(dá)到nm量級。蘇州本地雙頻激光干涉儀維保
若干涉條紋發(fā)生移動(dòng),一定是場點(diǎn)對應(yīng)的光程差發(fā)生了變化,引起光程差變化的原因,可能是光線長度L發(fā)生變化,或是光路中某段介質(zhì)的折射率n發(fā)生了變化,或是薄膜的厚度e發(fā)生了變化。S為點(diǎn)光源,M1(上邊)、M2(右邊)為平面全反射鏡,其中M1是定鏡;M2為動(dòng)鏡,它和精密螺絲相連,轉(zhuǎn)動(dòng)鼓輪可以使其向前后方向移動(dòng),最小讀數(shù)為10mm,可估計(jì)到10mm,。M1和M2后各有3個(gè)小螺絲可調(diào)節(jié)其方位。G1(左)為分光鏡,其右表面鍍有半透半反膜,使入射光分成強(qiáng)度相等的兩束(反射光和透射光)。蘇州本地雙頻激光干涉儀維保
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