晶圓探針卡又稱探針卡，英文名稱"Probecard"。廣泛應(yīng)用于內(nèi)存、邏輯、消費(fèi)、驅(qū)動(dòng)、通訊IC等科技產(chǎn)品的晶圓測試，屬半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中相當(dāng)席位的一環(huán)。當(dāng)IC設(shè)計(jì)完成后，會(huì)下單給晶圓代工廠制作，晶圓制作完成后而尚未切割封裝之際，為確保晶圓良率及避免封裝的浪費(fèi)，須執(zhí)行晶圓電性測試及分析制程。探針卡預(yù)測試機(jī)構(gòu)構(gòu)成測試回路，與IC封裝前，以探針測晶粒，篩選出電性功能不良的芯片，避免不良品造成后段造成品的浪費(fèi)。隨著半導(dǎo)體制程的快速進(jìn)展，傳統(tǒng)探針卡已面臨測試極限，為滿足高積密度測試，探針卡類型不斷發(fā)展。探針卡的發(fā)簪前景及晶圓高科技設(shè)計(jì)的不斷更新讓人歡欣鼓舞，這表率科技的不斷進(jìn)步，但我們應(yīng)看到探針卡依然面臨不少挑戰(zhàn)，比如探針成本不斷增加，維修更換探針高科技人員的培養(yǎng)，通過有效控制測試機(jī)臺(tái)在線清潔探針的頻率及各種參數(shù)來提高探針卡使用壽命?？傮w來講，晶圓探針卡的發(fā)展可謂機(jī)遇與挑戰(zhàn)并存，需要高科技人員不斷學(xué)習(xí)，跟上世界前列技術(shù)的步伐。 工業(yè)園區(qū)矽利康測試探針卡。蘇州蘇州矽利康測試探針卡收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)
什么是probecard？probecard翻譯過來其實(shí)就是探針卡。探針卡是一種測試接口,主要對裸芯進(jìn)行測試,通過連接測試機(jī)和芯片,通過傳輸信號(hào),對芯片參數(shù)進(jìn)行測試。目前我國探針卡市場發(fā)展迅速，產(chǎn)品產(chǎn)出持續(xù)擴(kuò)張，國家產(chǎn)業(yè)政策鼓勵(lì)探針卡產(chǎn)業(yè)向高技術(shù)產(chǎn)品方向發(fā)展，國內(nèi)企業(yè)新增投資項(xiàng)目投資逐漸增多。投資者對探針卡市場的關(guān)注越來越密切，這使得探針卡市場越來越受到各方的關(guān)注。但是目前探針卡的關(guān)鍵技術(shù)部分是國外廠商壟斷，如何提高其自主創(chuàng)新力度，如何消化吸收再創(chuàng)造，讓研究成果真正的商業(yè)化還是有一段路要做的。就目前來說，國內(nèi)對探針卡的研究較有貢獻(xiàn)的人應(yīng)該屬于“呂軍”了，畢業(yè)于天津師范大學(xué).探針卡專家，他曾發(fā)表20多份關(guān)于探針卡領(lǐng)域的學(xué)術(shù)論文,尤其在小pitch,lcd,memory的探針卡研發(fā)方面有突出貢獻(xiàn).曾經(jīng)用微積分推算出力學(xué)對探針測試的影響.(其中在芯片pad上的壓力和劃痕等).前面的用力學(xué)和微積分的證明懸臂式探針卡的彎針角度為。 廣東矽利康測試探針卡品牌排行蘇州矽利康測試探針卡品牌排行。
在半導(dǎo)體的整個(gè)制造流程上,可簡單的分成IC設(shè)計(jì)、晶圓制造、晶圓測試以及晶圓封裝。晶圓測試又可區(qū)分為晶圓針測與晶粒封裝后的后面的測試(FinalTesting),而兩個(gè)測試的差別是晶圓測試是是針對芯片上的晶粒進(jìn)行電性以及功能方面的測試,以確保在進(jìn)入后段封裝前,可以及早的將那些功能不良的芯片或晶粒加以過濾,以避免由于不良率的偏高因而增加后續(xù)的封裝測試成本,而晶粒封裝后的功能測試主要?jiǎng)t是將那些半導(dǎo)體后段封裝過程中的不良品作后面的的把關(guān),以確保出廠后產(chǎn)品的品質(zhì)能夠達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)。然而晶圓測試的主要功能,除了可將不良的晶粒盡早篩選出來,以節(jié)省額外的后段封裝的制造成本外,對於前段制程來說,它其實(shí)還有一項(xiàng)很重要的功能,也就是針對新產(chǎn)品良率的分析以及前段制程之間的異常問題分析,因?yàn)橥ǔＴ谇岸涡轮瞥涕_發(fā)階段或者是在產(chǎn)品程序修改后,產(chǎn)品可能會(huì)因此而發(fā)生良率下滑的情況,為了驗(yàn)證新制程的開發(fā)以及讓產(chǎn)品能夠盡快的上市,這個(gè)時(shí)候就需要晶圓測試部門在有限的時(shí)間內(nèi)搭配著工程實(shí)驗(yàn)分析制程間的差異并在只是短的時(shí)間內(nèi)找到真正的根本原因來解決問題,避免讓客戶的新產(chǎn)品因?yàn)橹瞥涕g的問題而延后上市。晶圓探針卡是針對整個(gè)芯片上的完整晶粒。
據(jù)IHS統(tǒng)計(jì)，2015年全球半導(dǎo)體營收3670億美元，預(yù)計(jì)2016年增長，達(dá)到3730億美元。中國半導(dǎo)體市場約1520億美元，預(yù)計(jì)2019年達(dá)到1790億美元，五年復(fù)合增長。中國占全球半導(dǎo)體市場比例未來幾年維持在43%左右。與國內(nèi)行業(yè)協(xié)會(huì)口徑有差異，國內(nèi)統(tǒng)計(jì)占比是在50%以上，主要是有些重復(fù)計(jì)算。目前，中國本土芯片供需缺口還是很大，2300億美金的進(jìn)口，大數(shù)是3個(gè)三分之一，我們自己整機(jī)企業(yè)消耗三分之一，信息外部企業(yè)消耗三分之一，比如汽車、裝備之類，還有三分之一是跨國企業(yè)帶進(jìn)來又銷出去?，F(xiàn)在下游市場在向中國集中，集成電路產(chǎn)業(yè)必向中國集中。市場在什么地方，產(chǎn)業(yè)就必須在這個(gè)地方，如果不在一個(gè)地方是不符合經(jīng)濟(jì)規(guī)律的，這是必然趨勢。今年二季度之后，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)有向下的趨勢。十家咨詢公司預(yù)測，今年較樂觀的4%左右，較悲觀的有1%，明年有預(yù)測負(fù)增長的。整體對今明兩年持謹(jǐn)慎態(tài)度，年增長平均值。從產(chǎn)品應(yīng)用角度看，預(yù)計(jì)2016年智能手機(jī)消耗半導(dǎo)體780億美元，較15年稍有增長，說明4G高峰期已過，5G還沒到來。新興市場增長快，但是基數(shù)還很小。固態(tài)硬盤增長15%，滲透率逐漸提高。有線通訊、工業(yè)電子、平板電腦、汽車電子等保持穩(wěn)定增長。 測試探針卡生產(chǎn)廠家。
整個(gè)過程始于fab，在那里使用各種設(shè)備在晶片上處理芯片。晶圓廠的該部分稱為生產(chǎn)線前端（FEOL）。在混合鍵合中，在流動(dòng)過程中要處理兩個(gè)或多個(gè)晶片。然后，將晶圓運(yùn)送到晶圓廠的另一部分，稱為生產(chǎn)線后端（BEOL）。使用不同的設(shè)備，晶圓在BEOL中經(jīng)歷了單一的鑲嵌工藝。單一大馬士革工藝是一項(xiàng)成熟的技術(shù)?；旧?，氧化物材料沉積在晶片上。在氧化物材料中對微小的通孔進(jìn)行構(gòu)圖和蝕刻。使用沉積工藝在通孔中填充銅。這繼而在晶片表面上形成銅互連或焊盤。銅焊盤相對較大，以微米為單位。此過程有點(diǎn)類似于當(dāng)今工廠中先進(jìn)的芯片生產(chǎn)。但是，對于高級(jí)芯片而言，蕞大的區(qū)別在于銅互連是在納米級(jí)上測量的。那瑾瑾是過程的開始。Xperi的新管芯對晶片的銅混合鍵合工藝就是在這里開始的。其他人則使用相似或略有不同的流程。Xperi芯片到晶圓工藝的第一步是使用化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）拋光晶圓表面。CMP在系統(tǒng)中進(jìn)行，該系統(tǒng)使用化學(xué)和機(jī)械力拋光表面。在此過程中，銅墊略微凹陷在晶片表面上。目標(biāo)是獲得一個(gè)淺而均勻的凹槽，以實(shí)現(xiàn)良好的良率。CMP是一個(gè)困難的過程。如果表面過度拋光，則銅焊盤凹槽會(huì)變得太大。在接合過程中某些焊盤可能無法接合。如果拋光不足。 蘇州矽利康測試探針卡。安徽好的測試探針卡制造
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FormFactor發(fā)表Harmony全區(qū)12寸晶圓針測解決方案的靠前的成員——Harmony晶圓級(jí)預(yù)燒(Wafer-LevelBurn-In，WLBI)探針卡。HarmonyWLBI探針卡能提高作業(yè)流量，并且確保半導(dǎo)體元件的品質(zhì)與可靠度。HarmonyWLBI探針卡一次能接觸約4萬個(gè)測試焊墊，還能在高溫(比較高130℃)下測試整片12寸晶圓。HarmonyWLBI探針卡結(jié)合各種電子元件以及新型3DMEMSMicroSpring接觸器，能承受高溫的預(yù)燒測試，降低清理次數(shù)，提高探針卡的可用度以及測試元件的生產(chǎn)力。FormFactor專利技術(shù)可以增加同時(shí)測試晶粒的數(shù)量，運(yùn)用現(xiàn)有的測試設(shè)備資源。HarmonyWLBI是FormFactor確保合格裸晶(knowngooddie，KGD)專屬探針卡解決方案的一個(gè)重要元件，這類元件必須進(jìn)行測試、確定符合規(guī)格后才能進(jìn)行封裝。確保合格裸晶的應(yīng)用范例包括手機(jī)與便攜式媒體播放器，這類產(chǎn)品會(huì)把多種元件整合至一個(gè)系統(tǒng)級(jí)封裝(SiP)芯片或多芯片封裝(MCP)。 蘇州蘇州矽利康測試探針卡收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)
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