AOI(Automated Optical Inspection縮寫)的中文全稱是自動(dòng)光學(xué)檢測(cè),是基于光學(xué)原理來(lái)對(duì)焊接生產(chǎn)中遇到的常見缺陷進(jìn)行檢測(cè)的設(shè)備。AOI是新興起的一種新型測(cè)試技術(shù),但發(fā)展迅速,很多廠家都推出了AOI測(cè)試設(shè)備。當(dāng)自動(dòng)檢測(cè)時(shí),機(jī)器通過(guò)攝像頭自動(dòng)掃描PCB,采集圖像,測(cè)試的焊點(diǎn)與數(shù)據(jù)庫(kù)中的合格的參數(shù)進(jìn)行比較,經(jīng)過(guò)圖像處理,檢查出PCB上缺陷,并通過(guò)顯示器或自動(dòng)標(biāo)志把缺陷顯示/標(biāo)示出來(lái),供維修人員修整。 [1]運(yùn)用高速高精度視覺處理技術(shù)自動(dòng)檢測(cè)PCB板上各種不同貼裝錯(cuò)誤及焊接缺陷。PCB板的范圍可從細(xì)間距高密度板到低密度大尺寸板,并可提供在線檢測(cè)方案,以提高生產(chǎn)效率,及焊接質(zhì)量。通過(guò)使用AOI作為減少缺陷的工具,在裝配工藝過(guò)程的早期查找和消除錯(cuò)誤,以實(shí)現(xiàn)良好的過(guò)程控制。早期發(fā)現(xiàn)缺陷將避免將壞板送到隨后的裝配階段,AOI將減少修理成本將避免報(bào)廢不可修理的電路板。這個(gè)位置的檢查直接地支持過(guò)程跟蹤和特征化。太倉(cāng)附近自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備規(guī)格尺寸
缺陷類型:微粒缺陷(如異物污染)圖形缺陷(如光刻圖案偏移) [1-3]2.檢測(cè)精度:可實(shí)現(xiàn)0.2微米級(jí)缺陷的識(shí)別,滿足45納米工藝節(jié)點(diǎn)的質(zhì)量控制需求 [1-3]。吞吐量:每小時(shí)處理20片300毫米晶圓(基于2021年技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)) [1] [3]適用工藝:45納米及更高制程的集成電路制造 [1-3]主要用于半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)的在線缺陷檢測(cè),覆蓋晶圓前道制程中的關(guān)鍵工藝步驟,確保芯片良率與可靠性 [1-3]。上海集成電路研發(fā)中心有限公司自2011年起使用KLA-Tencor Puma9150型號(hào)設(shè)備(截至2020年),同期配備頻譜分析儀、晶邊缺陷檢查設(shè)備等科研儀器 [2-3]。吳江區(qū)國(guó)內(nèi)自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備銷售電話這個(gè)信息可用來(lái)修改元件貼放或表明貼片機(jī)需要校準(zhǔn)。這個(gè)位置的檢查滿足過(guò)程跟蹤的目標(biāo)。
暗場(chǎng)缺陷檢查設(shè)備是一種**于45納米及以上工藝半導(dǎo)體制造缺陷檢測(cè)的分析儀器。該設(shè)備通過(guò)低角度散射信號(hào)收集技術(shù)抑制前層噪音,顯著提高信噪比,同時(shí)具備檢測(cè)0.2微米級(jí)微粒缺陷與圖形缺陷的雙重能力 [1-3]。在滿足基本檢測(cè)靈敏度的條件下,其吞吐量可達(dá)每小時(shí)20片晶圓 [1-2]。主要應(yīng)用于集成電路研發(fā)領(lǐng)域,典型用戶包括上海集成電路研發(fā)中心有限公司采用低角度散射信號(hào)收集技術(shù),通過(guò)優(yōu)化光學(xué)路徑抑制晶圓前層結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的背景噪音,提升檢測(cè)信號(hào)與背景噪音的比例 [1-2]。
缺陷檢測(cè)是通過(guò)機(jī)器視覺技術(shù)對(duì)物品表面斑點(diǎn)、凹坑、劃痕等缺陷進(jìn)行自動(dòng)化識(shí)別與評(píng)估的質(zhì)量控制技術(shù)。該技術(shù)廣泛應(yīng)用于金屬表面、玻璃表面、電子元器件等對(duì)外觀有嚴(yán)格要求的工業(yè)領(lǐng)域,主要采用圖像處理算法結(jié)合多光源協(xié)同成像系統(tǒng),通過(guò)暗場(chǎng)、明場(chǎng)及透光打光方式增強(qiáng)不同材質(zhì)表面缺陷的成像效果 [1] [3]。2024年相關(guān)**技術(shù)顯示,檢測(cè)系統(tǒng)可通過(guò)線掃相機(jī)逐行拍攝與頻閃光源編程控制實(shí)現(xiàn)微米級(jí)檢測(cè)精度 [2],配套的算法模型包含傳統(tǒng)圖像處理與深度學(xué)習(xí)混合方法,目前已形成覆蓋ISO標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)規(guī)范與企業(yè)內(nèi)部標(biāo)準(zhǔn)的完整質(zhì)量體系。貼片后回流焊前:移位,漏料、極性、歪斜、腳彎、錯(cuò)件.
印刷圖案圖3所有印有圖案的PCB也是能夠被檢查的,例如,當(dāng)元 器件的邊框或元器件本體上的字母單獨(dú)出現(xiàn)在組件的某個(gè) 區(qū)域從而干擾對(duì)其他部分的檢查時(shí),可以手工調(diào)整檢查程 序。盡管如此,在生產(chǎn)允許的范圍內(nèi),圖案的印刷范圍仍 然有一個(gè)較大的選擇,因此,減少非反射性標(biāo)識(shí)印刷(黑 或暗黃)值得加以考慮。另外一個(gè)可能出現(xiàn)的情況是需要 有選擇地印刷標(biāo)識(shí):例如,當(dāng)某些特定的器件(如霍爾傳 感器)正面向下時(shí)就必須印刷成白色;而另一種情況是印 有極性標(biāo)志的有傾斜角的鉭電容器件;這樣能使標(biāo)識(shí)和背 景形成鮮明的對(duì)比,使得檢查的圖像更加清晰。通過(guò)用墨水直接標(biāo)記于PCB板上或在操作顯示器上用圖形錯(cuò)誤表示來(lái)進(jìn)行檢測(cè)電的核對(duì).姑蘇區(qū)重型自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備銷售電話
器件到PCB的邊緣應(yīng)該至少留有3mm(0.12”)的工 藝邊。太倉(cāng)附近自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備規(guī)格尺寸
非金屬超聲波檢測(cè)儀是用于檢測(cè)混凝土強(qiáng)度、裂縫深度、勻質(zhì)性及內(nèi)部缺陷的專業(yè)設(shè)備,廣泛應(yīng)用于建筑基樁完整性評(píng)估、結(jié)構(gòu)缺陷檢測(cè)和巖土工程勘察領(lǐng)域 [1] [3] [5]。該設(shè)備通過(guò)超聲波透射法、回彈綜合法實(shí)現(xiàn)非破壞性檢測(cè),可識(shí)別損傷層厚度并評(píng)估材料力學(xué)性能,檢測(cè)穿透距離可達(dá)10米(電火花震源超過(guò)50米) [1-2] [6]。設(shè)備采用雙通道信號(hào)采集系統(tǒng),配備高亮度彩屏和智能處理軟件,支持聲參量自動(dòng)判讀與動(dòng)態(tài)波形顯示(≥30幀/秒),聲時(shí)測(cè)讀精度達(dá)±0.05μs [1] [3] [6]。內(nèi)置大容量鋰電池可實(shí)現(xiàn)8-10小時(shí)續(xù)航,發(fā)射電壓可調(diào)范圍涵蓋250V至1000V,兼容一發(fā)雙收檢測(cè)模式 [2] [4]。部分型號(hào)集成無(wú)線傳輸功能并符合JGJ 106、CECS 02:2005等十余項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),支持基樁全組合超聲波分析及多剖面同步檢測(cè) [5]。太倉(cāng)附近自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備規(guī)格尺寸
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