半導(dǎo)體超精密超精細(xì)

微泰提供半導(dǎo)體精密元件精密制造和供應(yīng)機(jī)械設(shè)備（包括半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備、生物電池、新能源電池、航空航天和羅機(jī)器人）所需的所有精密部件和模型。根據(jù)客戶的需求，提出改進(jìn)功能的想法和設(shè)計(jì)，以及生產(chǎn)、質(zhì)量控制和檢測(cè)系統(tǒng)的高效集成基礎(chǔ)設(shè)施、材料和部件。通過(guò)與國(guó)內(nèi)外設(shè)備制造商的合作，我們能夠以高速度、高質(zhì)量和有競(jìng)爭(zhēng)力的優(yōu)化成本提供客戶滿意的產(chǎn)品。尺寸：MCT5~6.5英寸。CNC6~10英寸，旋銑材料:AL5052,AL6061,AL7075,SUS304,SUS316,SUS630,Copper,Tungsten,Titanium,Monel,POM,PEEK。半導(dǎo)體精密元件特性：保持嚴(yán)格的公差，因此零件的制造非常精確，并需要高加工能力，以便與指定公差的偏差小。在整個(gè)加工過(guò)程中進(jìn)行嚴(yán)格的質(zhì)量控制，識(shí)別和糾正零件的規(guī)格和偏差，從而制造出高質(zhì)量的精密零件。超精密加工是為了適應(yīng)核能、大規(guī)模集成電路、激光和航天等技術(shù)的需要而發(fā)展起來(lái)的精度極高的一種加工技術(shù)。半導(dǎo)體超精密超精細(xì)

微泰半導(dǎo)體流量計(jì)精密元件半導(dǎo)體流量計(jì)的精密組件，可精確測(cè)量半導(dǎo)體制造過(guò)程中使用的各種氣體和液體的流量，并提供實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)來(lái)嚴(yán)格控制該過(guò)程。由主體（Body）、葉片(impeller)、鎢軸和釬焊軸組成。鋁、不銹鋼（SUS304、SUS316）、聚甲醛（POM）、可采用聚醚醚酮(PEEK)材料加工，提供1/2"、3/4"、1"、11/4"尺寸。模組型產(chǎn)品尺寸：1/2英寸、9/4英寸、1英寸、11/4英寸材料:AL6061,SUS304,SUS316,POM,PEEK零件包括：主體、葉片、鎢軸和釬焊軸。半導(dǎo)體流量計(jì)適用于半導(dǎo)體設(shè)備的流量計(jì)，具有高精度的流量檢測(cè)功能，能夠承受從低到高的溫度變化，并能將傳感器和轉(zhuǎn)換器等部件降到比較低，從而提高空間利用率。超硬超精密覆膜貼合工具激光超精密加工采用電腦編程，可以把不同形狀的產(chǎn)品進(jìn)行材料的套裁，提高材料的利用率，降低企業(yè)材料成本。

微泰，采用先進(jìn)的飛秒激光的高速螺旋鉆削自主技術(shù)，進(jìn)行半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所需的各種形狀的微孔加工，MIN可做到5微米的微孔，公差可做到±2微米，孔距可做到0.3微米。還可以進(jìn)行MAX10度角的倒錐孔和各種幾何形狀的微孔，飛秒激光利用相對(duì)較短的激光脈沖，熱損傷很小，加工對(duì)象沒(méi)有物性變形層，表面平整，實(shí)現(xiàn)超精密微孔加工。MLCC層壓的真空板相同區(qū)域內(nèi)可加工不規(guī)則位置的孔；可以混合加工不規(guī)則尺寸，孔間距可達(dá)0.3μm；可加工多達(dá)800,000個(gè)孔，用于MLCC印刷吸膜板，MLCC疊層吸膜板，吸附板。

精度高、表面質(zhì)量好、加工效率高、材料利用率高、能夠加工復(fù)雜形狀的零件。超精密加工技術(shù)是指加工精度達(dá)到亞微米級(jí)甚至納米級(jí)的制造技術(shù)，主要包括超精密車削、磨削、銑削和電化學(xué)加工等方法。這些方法能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)硬脆材料、難加工材料和功能材料的精確加工，適用于光學(xué)元件、微型機(jī)械、生物醫(yī)療器件等領(lǐng)域。常見(jiàn)的超精密加工方法有：1.超精密車削：使用金剛石刀具進(jìn)行加工，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)非球面和自由曲面的高精度加工。2.超精密磨削：采用超硬磨料磨具，適用于加工硬質(zhì)合金、陶瓷等高硬度材料。3.超精密銑削：利用金剛石或立方氮化硼刀具，適用于復(fù)雜形狀零件的高精度加工。4.超精密電化學(xué)加工：通過(guò)電解作用去除材料，適用于加工微細(xì)、復(fù)雜結(jié)構(gòu)的零件。超精密加工技術(shù)的發(fā)展對(duì)提高我國(guó)制造業(yè)的國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力具有重要意義。超激光精密打孔的特點(diǎn)是可以在硬度高、質(zhì)地脆或者軟的材料上打孔，孔徑小、加工速度快、效率高。

一般來(lái)說(shuō)，拋光是指使用陶瓷漿料的機(jī)械拋光，以及主要用于工業(yè)領(lǐng)域和藍(lán)寶石拋光。激光拋光技術(shù)在技術(shù)上經(jīng)常被提及，但并未應(yīng)用于工業(yè)領(lǐng)域。這使我們的微泰感到拋光技術(shù)的需求，以便在精細(xì)磨削后對(duì)精細(xì)的平面進(jìn)行校正。我們與國(guó)際的研究機(jī)構(gòu)合作，開(kāi)發(fā)了激光拋光設(shè)備并將其應(yīng)用于工業(yè)領(lǐng)域。激光拋光技術(shù)是微泰的一項(xiàng)自主技術(shù)，它被廣泛應(yīng)用于大面積拋光和磨削后精細(xì)校正以及圖案化技術(shù)。激光拋光特點(diǎn)是可以拋光異形件，復(fù)雜的圖案，大面積均衡拋光，局部選擇性拋光，拋光機(jī)動(dòng)靈活，拋光時(shí)間短等特點(diǎn)。激光拋光原理和方法：1.掃描測(cè)量被加工表面臺(tái)階;2.測(cè)量結(jié)果轉(zhuǎn)化制作等高線數(shù)據(jù);3.按高度剖切曲面,進(jìn)行打磨拋光；4.每個(gè)表面的激光拋光不同條件下MAX限度地減少因間隙和齊平造成的加工錯(cuò)誤。高功率激光打磨：測(cè)量高度→獲取高度數(shù)據(jù)→轉(zhuǎn)換成面數(shù)據(jù)→去除表面凸起中等功率，利用中等功率激光可以刻畫低功率時(shí)具有，清洗效果；拋光效果激光超精密加工打孔在PCB行業(yè)應(yīng)用廣，激光在PCB上不僅加工速度快，能打2μm以下的小孔微孔及隱形孔的鉆孔。超快超精密打孔

激光超精密切割的加工特點(diǎn)是速度快，切口光滑平整，一般無(wú)需后續(xù)加工;切割熱影響區(qū)小，板材變形小。半導(dǎo)體超精密超精細(xì)

精密磨削技術(shù)-電解在線砂輪修整技術(shù)(ELID)對(duì)于精密零件的加工生產(chǎn)，精密磨削技術(shù)是必不可少的。在半導(dǎo)體/LCD、MLCC和新能源電池等領(lǐng)域中，精密元件的使用率很高。常見(jiàn)的磨削技術(shù)的問(wèn)題是，必須根據(jù)磨削后的弓形磨損量繼續(xù)修整，這給保持同等質(zhì)量帶來(lái)了困難，因?yàn)楸砻鏍顩r會(huì)發(fā)生細(xì)微變化。簡(jiǎn)而言之，ELID磨削技術(shù)是一種在不斷修整的同時(shí)進(jìn)行拋光的技術(shù)。微泰采用了高精度的磨削技術(shù)，這些技術(shù)都以ELID技術(shù)和專有技術(shù)為基礎(chǔ)，在這種技術(shù)中，我們生產(chǎn)的產(chǎn)品具有高精度、平坦度和高質(zhì)量，這是很難生產(chǎn)的。真空板ELID磨削技術(shù)ELID磨削技術(shù)（真空板）。利用電解在線砂輪修整技術(shù)(ELID)，提高真空吸附板、刀片的表面粗糙度，減少研磨時(shí)的毛刺，減少手動(dòng)調(diào)節(jié)提高作業(yè)自動(dòng)化。400mm見(jiàn)方的真空板平面度可達(dá)5um。半導(dǎo)體超精密超精細(xì)