工業(yè)集中供氣系統(tǒng)的保壓測試不合格(泄漏)會(huì)導(dǎo)致浮游菌進(jìn)入管道,因此需聯(lián)動(dòng)檢測。例如食品廠的壓縮空氣管道泄漏,會(huì)吸入車間空氣中的霉菌,導(dǎo)致浮游菌超標(biāo),污染食品。檢測時(shí),保壓測試合格(壓力降≤1%)后,測浮游菌(≤10CFU/m3);若保壓不合格,需修復(fù)后重新檢測。工業(yè)集中供氣系統(tǒng)的過濾器需安裝在靠近用氣點(diǎn)的位置,且需驗(yàn)證其密封性能,而保壓測試能發(fā)現(xiàn)過濾器與管道的連接泄漏。這種關(guān)聯(lián)檢測能保障氣體衛(wèi)生安全,符合食品生產(chǎn)的衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)。尾氣處理系統(tǒng)保壓測試前需置換空氣,防止可燃尾氣與空氣混合引發(fā)危險(xiǎn)。潮州氣體管道五項(xiàng)檢測保壓測試
在電子特氣系統(tǒng)工程中,保壓測試是保障管道安全運(yùn)行的重要環(huán)節(jié)。電子特氣多為腐蝕性、毒性或易燃易爆氣體,管道一旦泄漏,不僅會(huì)污染生產(chǎn)環(huán)境,還可能引發(fā)安全事故。保壓測試需在管道安裝完成后,先進(jìn)行氮?dú)庵脫Q去除空氣,再充入高純氮?dú)庵猎O(shè)計(jì)壓力(通常為 0.6-1.0MPa),關(guān)閉閥門后持續(xù)監(jiān)測 24 小時(shí)。根據(jù)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),壓力降需≤0.5% 初始?jí)毫?,且每小時(shí)壓力波動(dòng)不超過 0.01MPa。測試過程中,需重點(diǎn)關(guān)注閥門接口、焊接點(diǎn)等易泄漏部位,結(jié)合壓力曲線判斷是否存在微漏。對(duì)于電子特氣系統(tǒng)而言,保壓測試的嚴(yán)格執(zhí)行能有效避免因泄漏導(dǎo)致的特氣純度下降,確保半導(dǎo)體芯片等精密產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量,是第三方檢測機(jī)構(gòu)對(duì)電子特氣系統(tǒng)安全評(píng)級(jí)的重要依據(jù)。清遠(yuǎn)尾氣處理系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測氦撿漏大宗供氣系統(tǒng)保壓測試不合格時(shí),需用氦檢漏定位泄漏點(diǎn),修復(fù)后重新測試。
電子特氣系統(tǒng)工程中,水分會(huì)導(dǎo)致顆粒污染物增多(如金屬氧化物顆粒),因此需關(guān)聯(lián)檢測。例如氟化氫氣體中的水分會(huì)與管道內(nèi)壁的金屬反應(yīng),生成氟化鹽顆粒(0.1-1μm),堵塞閥門。檢測時(shí),先測水分(≤10ppb),合格后再測顆粒度(0.1μm 及以上顆?!?00 個(gè) /m3)。檢測需關(guān)注特氣的化學(xué)特性 —— 如三氯化硼遇水會(huì)水解生成鹽酸和硼酸顆粒,因此這類特氣系統(tǒng)的水分控制需更嚴(yán)格(≤5ppb)。通過關(guān)聯(lián)檢測,可多方面評(píng)估氣體潔凈度,避免因水分引發(fā)的顆粒污染,確保電子特氣系統(tǒng)工程滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)要求。
高純氣體系統(tǒng)工程中,氧氣會(huì)導(dǎo)致金屬管道氧化,生成顆粒污染物,因此需聯(lián)動(dòng)檢測。例如高純氬氣中的氧氣(>50ppb)會(huì)與管道內(nèi)壁反應(yīng),生成氧化亞鐵顆粒(0.1-1μm),污染氣體。檢測時(shí),氧含量合格(≤10ppb)后,測顆粒度;若氧含量超標(biāo),需先脫氧再檢測顆粒度。高純氣體系統(tǒng)的管道需采用電解拋光 316L 不銹鋼,減少氧化反應(yīng),而氧含量檢測能驗(yàn)證脫氧效果,顆粒度檢測能驗(yàn)證管道清潔度。這種關(guān)聯(lián)檢測能多方面保障氣體純度,符合精密制造的要求。工業(yè)集中供氣系統(tǒng)的氧含量檢測,需在用氣點(diǎn)實(shí)時(shí)監(jiān)測,保障工藝穩(wěn)定性。
實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)常輸送易燃易爆氣體(如氫氣、乙炔)或劇毒氣體,泄漏會(huì)危及實(shí)驗(yàn)人員安全,氦檢漏是保障其安全性的關(guān)鍵。檢測時(shí),先將管道抽真空至≤5Pa,再向管道內(nèi)充入 5% 氦氣與 95% 氮?dú)獾幕旌蠚怏w(壓力 0.2MPa),用氦質(zhì)譜檢漏儀在管道外側(cè)掃描,泄漏率需≤1×10??Pa?m3/s。實(shí)驗(yàn)室氣路管道布局復(fù)雜,接頭、閥門眾多,例如氣相色譜儀的載氣管道與儀器接口處,若密封不良會(huì)導(dǎo)致氣體泄漏,不僅浪費(fèi)氣體,還可能引發(fā)事故風(fēng)險(xiǎn)。氦檢漏能準(zhǔn)確定位泄漏點(diǎn)(如卡套接頭未擰緊、閥門閥芯磨損),確保實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng) “零泄漏”,為實(shí)驗(yàn)人員提供安全的工作環(huán)境。工業(yè)集中供氣系統(tǒng)的水分(ppb 級(jí))檢測,需定期進(jìn)行,防止干燥劑失效導(dǎo)致超標(biāo)。東莞尾氣處理系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測0.1微米顆粒度檢測
尾氣處理系統(tǒng)的 0.1 微米顆粒度檢測,需在處理前后對(duì)比,評(píng)估凈化效果。潮州氣體管道五項(xiàng)檢測保壓測試
高純氣體系統(tǒng)工程對(duì)管道密封性的要求堪稱苛刻,哪怕微小泄漏都可能引入雜質(zhì),破壞氣體純度。氦檢漏作為高精度泄漏檢測手段,在該系統(tǒng)中不可或缺。檢測時(shí),先將高純氣體管道抽真空至≤5×10?3Pa,再向管道內(nèi)側(cè)充入 5% 氦氣與 95% 氮?dú)獾幕旌蠚怏w,外側(cè)用氦質(zhì)譜檢漏儀探頭掃描。根據(jù)標(biāo)準(zhǔn),泄漏率需控制在≤1×10??Pa?m3/s,這一精度遠(yuǎn)高于肥皂水檢漏等傳統(tǒng)方法。對(duì)于輸送超高純氮?dú)猓兌?99.9999%)或電子級(jí)氨氣的管道,氦檢漏能準(zhǔn)確定位焊接缺陷、閥門密封不良等問題,避免微量泄漏導(dǎo)致的氣體純度下降 —— 要知道,電子級(jí)氣體中雜質(zhì)含量需控制在 ppb 級(jí),任何泄漏引入的空氣(含氧氣、水分)都會(huì)直接影響產(chǎn)品良率,因此氦檢漏是高純氣體系統(tǒng)工程驗(yàn)收的 “必過項(xiàng)”。潮州氣體管道五項(xiàng)檢測保壓測試