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大宗供氣系統(tǒng)的管道若存在顆粒污染物,會(huì)隨氣流高速運(yùn)動(dòng),撞擊管道內(nèi)壁產(chǎn)生噪聲,因此噪聲檢測(cè)可輔助判斷顆粒度是否超標(biāo)。例如管道內(nèi)的鐵銹顆粒(1-10μm)會(huì)導(dǎo)致湍流噪聲,聲壓級(jí)超過(guò) 70dB (A)。檢測(cè)時(shí),先測(cè)噪聲(操作位≤85dB (A)),若噪聲異常,再檢測(cè)顆粒度(0.1μm 及以上顆粒≤10000 個(gè) /m3)。這種關(guān)聯(lián)檢測(cè)能快速發(fā)現(xiàn)管道內(nèi)的異常 —— 若顆粒度超標(biāo),可能是過(guò)濾器失效或管道腐蝕,需及時(shí)更換過(guò)濾器或修復(fù)管道。對(duì)于大宗供氣系統(tǒng)而言,這種聯(lián)動(dòng)檢測(cè)能提高故障排查效率,保障系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行。0.1 微米顆粒度檢測(cè)可識(shí)別高純氣體管道內(nèi)顆粒污染物,每立方米≤1000 個(gè),滿足精密用氣需求。潮州高純氣體系統(tǒng)工程氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)
實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)的保壓測(cè)試不合格(泄漏)會(huì)導(dǎo)致空氣中的水分進(jìn)入,因此需聯(lián)動(dòng)檢測(cè)。例如氣相色譜的載氣管道泄漏,會(huì)吸入潮濕空氣,導(dǎo)致水分超標(biāo),影響色譜柱壽命。檢測(cè)時(shí),保壓測(cè)試合格(壓力降≤1%)后,測(cè)水分(≤50ppb);若保壓不合格,需修復(fù)后重新檢測(cè)。實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)的閥門需使用波紋管密封(無(wú)填料),避免水分從填料函進(jìn)入,而保壓測(cè)試能驗(yàn)證閥門密封性。這種關(guān)聯(lián)檢測(cè)能確保氣體干燥度,為實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性提供堅(jiān)實(shí)保障,也是第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)對(duì)實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)的重要評(píng)估內(nèi)容。廣州大宗供氣系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)大宗供氣系統(tǒng)的 0.1 微米顆粒度檢測(cè),每立方米顆?!?0000 個(gè),保障噴涂質(zhì)量。
大宗供氣系統(tǒng)的管道內(nèi)若存在 0.1 微米及以上顆粒污染物,會(huì)隨氣體進(jìn)入生產(chǎn)設(shè)備,造成產(chǎn)品缺陷。例如在光伏行業(yè),硅片清洗用的高純氮?dú)馊艉w粒,會(huì)在硅片表面形成劃痕,影響電池轉(zhuǎn)換效率;在食品包裝行業(yè),顆粒可能污染包裝材料,引發(fā)食品安全風(fēng)險(xiǎn)。0.1 微米顆粒度檢測(cè)需用激光顆粒計(jì)數(shù)器,在管道出口處采樣,采樣體積≥100L,每立方米顆粒數(shù)需≤10000 個(gè)(0.1μm 及以上)。檢測(cè)前需用超凈氮?dú)獯祾吖艿?1 小時(shí),去除管道內(nèi)壁附著的顆粒。大宗供氣系統(tǒng)的管道多為無(wú)縫鋼管,焊接時(shí)若未采用氬弧焊打底,會(huì)產(chǎn)生焊渣顆粒;過(guò)濾器濾芯老化也會(huì)導(dǎo)致顆粒泄漏,而顆粒度檢測(cè)能及時(shí)發(fā)現(xiàn)這些問(wèn)題,確保氣體潔凈度。
電子特氣系統(tǒng)工程中,管道泄漏會(huì)吸入顆粒污染物,因此保壓測(cè)試與顆粒度檢測(cè)需聯(lián)動(dòng)。例如某半導(dǎo)體廠的特氣管道因閥門泄漏,吸入車間粉塵,導(dǎo)致 0.1 微米顆粒超標(biāo),影響晶圓質(zhì)量。檢測(cè)時(shí),保壓測(cè)試合格(壓力降≤0.5%)后,測(cè)顆粒度;若保壓不合格,需修復(fù)后重新檢測(cè)。電子特氣系統(tǒng)的管道需采用無(wú)縫設(shè)計(jì),避免死角積塵,而保壓測(cè)試能驗(yàn)證焊接和閥門的密封性,顆粒度檢測(cè)能驗(yàn)證清潔效果。這種關(guān)聯(lián)檢測(cè)能保障特氣潔凈度,符合半導(dǎo)體行業(yè)的高標(biāo)準(zhǔn)。大宗供氣系統(tǒng)保壓測(cè)試不合格時(shí),需用氦檢漏定位泄漏點(diǎn),修復(fù)后重新測(cè)試。
工業(yè)集中供氣系統(tǒng)的保壓測(cè)試不僅關(guān)乎密封性,還與系統(tǒng)運(yùn)行噪聲相關(guān)。若管道存在微漏,氣體高速泄漏會(huì)產(chǎn)生湍流噪聲,影響車間環(huán)境。保壓測(cè)試時(shí),充壓至 0.8MPa 后,除監(jiān)測(cè)壓力降(≤0.02MPa/24h),還需用聲級(jí)計(jì)在管道 1 米處檢測(cè)噪聲,應(yīng)≤65dB (A)。例如在空壓機(jī)集中供氣系統(tǒng)中,管道法蘭泄漏會(huì)產(chǎn)生 80dB (A) 以上的噪聲,長(zhǎng)期暴露會(huì)危害工人聽力。通過(guò)保壓測(cè)試結(jié)合噪聲檢測(cè),可快速判斷泄漏是否存在:若壓力降正常但噪聲超標(biāo),可能是閥門開度不當(dāng);若壓力降超標(biāo)且噪聲異常,則需定位泄漏點(diǎn)修復(fù)。這種聯(lián)動(dòng)檢測(cè)能提升工業(yè)集中供氣系統(tǒng)的安全性與舒適性。高純氣體系統(tǒng)工程的 0.1 微米顆粒度檢測(cè),每立方米顆粒需≤1000 個(gè),保障氣體潔凈度。佛山氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)0.1微米顆粒度檢測(cè)
工業(yè)集中供氣系統(tǒng)保壓測(cè)試 0.6MPa,24 小時(shí)壓降≤0.02MPa,保障氣動(dòng)設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行。潮州高純氣體系統(tǒng)工程氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)
高純氣體系統(tǒng)工程中,保壓測(cè)試可初步判斷泄漏,氦檢漏則準(zhǔn)確定位,兩者需聯(lián)動(dòng)進(jìn)行。保壓測(cè)試發(fā)現(xiàn)壓力降超標(biāo)(>0.5%)后,立即用氦檢漏定位泄漏點(diǎn);保壓合格但需驗(yàn)證微小泄漏時(shí),也需用氦檢漏(泄漏率≤1×10?1?Pa?m3/s)。例如某光纖廠的高純氦氣系統(tǒng),保壓測(cè)試壓力降 0.3%(合格),但氦檢漏發(fā)現(xiàn)過(guò)濾器密封不良(泄漏率 5×10??Pa?m3/s),長(zhǎng)期運(yùn)行會(huì)導(dǎo)致純度下降。這種聯(lián)動(dòng)檢測(cè)能多方面保障系統(tǒng)密封性,避免 “保壓合格但仍有微漏” 的隱患,符合高純氣體系統(tǒng)的嚴(yán)苛要求。潮州高純氣體系統(tǒng)工程氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)