傳感器位置
傳感器可以移動到任何期望的位置。 它可能位于負載下方或外部,但必須位于支持AVI元素的同一表面上。 制作后連接時,傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。
支撐面的剛性
支撐表面的剛性很重要。 水平傳感器無法區(qū)分在水平加速度和傾斜之間。 LFS和因此,AVI元素所在的位置必須盡可能堅硬,以使其不會明顯傾斜當人們在附近移動時。 傾斜會導致傳感器輸出飽和并失去隔離。
運作方式
設置好并將電源連接到傳感器后,就可以使用系統(tǒng)了。按下電源上的電源旋鈕打開電源。 綠色LED將點亮。 紅色LED開始閃爍,這意味著存在一些振動。現(xiàn)在,您可以通過按啟用按鈕來啟用系統(tǒng)。 紅色LED不應點亮了。 如果它們點亮,則表示系統(tǒng)過載且振動建筑物中存在的物體太嚴重。
請注意,如果未啟用LFS,則它將無效。
敏感的傳感器單元,請勿撞擊,敲打或跌落!
LFS
LFS傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度,直到頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上,并與標準AVI / LP系統(tǒng)結合使用在前饋環(huán)路中,以提高非常低頻率的振動隔離。LFS可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。
LFS-3的設計、制造和測試均符合測量和控制設備的安全規(guī)定,并滿足EEC指令73/23的相關要求。系統(tǒng)符合EEC指令89/336(電磁兼容性)
每個單獨的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實際位置并不重要,但它當然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub 15插座(診斷插座)連接到傳感器。 北京隔振臺推薦型號LFS-3性能使用測振儀的H-1檔并有50公斤的重量下測試的。
TS-150
TS-150結合了久經(jīng)考驗的技術特點和優(yōu)雅且用戶友好的設計
TS 150的隔離頻率始于0.7 Hz,超過10Hz時迅速增加至40db
缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動空氣阻尼方法要好得多
TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性
TS 150的出色性能包括所有水平和垂直共計六個方向的震動隔離模式
精確的**于載荷的自動高度調(diào)節(jié)機構即使在載荷發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在比較好工作水平
遙控器允許在外部將隔離開關“打開”和“關閉”
頻率:0,7-1000 Hz
負載范圍:0-150公斤
尺寸 :400 x 450 x 78.5 毫米
TS-150結合了久經(jīng)考驗的技術***性和優(yōu)雅且用戶友好的設計。TS 150的隔離頻率始于0.7 Hz,超過10Hz時迅速增加至40db缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動空氣阻尼方法要好得多。
TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性。TS 150的出色性能包括所有六個平移和旋轉(zhuǎn)振動模式精確的**于載荷的自動高度調(diào)節(jié)機構即使在載荷發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在比較好工作水平。遙控器允許在外部將隔離開關“打開”和“關閉”用戶友好,實用的操作優(yōu)勢是創(chuàng)新建筑理念的結果。
TS-150的高度*為78.5毫米
TS-150的重量*為17.5千克
Table Stable生產(chǎn)的主動式微振動控制系統(tǒng)AVI是一款多功能的主動式防振系統(tǒng),具有**的防振單元和控制器。
可能有多種變化,例如將其用作電子顯微鏡(SEM)的隔振臺,或與光學平臺結合使用的高性能光學實驗臺。
特點:
?通過主動控制沒有共振點,可以防止低頻范圍的振動。
?安裝時不需要參數(shù)調(diào)整,安裝后可以立即使用。-由于不使用空氣彈簧,因此不需要空氣彈簧。
?振動狀態(tài)一目了然。
(可以目視觀察控制器的每個LED閃爍單元的振動狀態(tài)。)
-加速度信號可以從外部輸出。
(通過將BNC連接器連接到示波器,可以看到活動對象正在正常工作。 控制中心有超載指示燈。
技術指標:頻率負載范圍尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米
隔離:動態(tài)(超過1kHz)
透射率:參見附件曲線10Hz以上的透射率<(-40dB)
矯正力:垂直+/-8N水平+/-4N
靜態(tài)合規(guī)性:大約垂直約12μm/N水平30-40μm/N
比較大負載:140公斤尺寸:500x600x84毫米
重量:28.5kg
電的安全等級:1個能量消耗:比較大10W負載調(diào)整時20W輸入電壓:115-230VAC+/-10%50-60Hz
超載:顯示屏指示負載過重或嚴重失衡
監(jiān)控信號:示波器上顯示的多路復用信號顯示有無隔離的振動水平-*用于診斷目的
前面板顯示菜單:顯示儀器狀態(tài),包括:-高度調(diào)節(jié)-隔離開/關-過載-運輸鎖定-技術熱線
桌上尺寸:500x600毫米。 實際測量的振動結果:AVI 主動隔振頻率范圍在 1.0Hz 到 200Hz之間。臺積電隔振臺價格怎么樣
必須改善測量環(huán)境,以發(fā)揮儀器的極大效能,達到比較好成果。半導體設備隔振臺推薦廠家
AVI主動隔震臺
AVI應用于掃描電鏡
1、如有可能,拆下掃描電鏡柱的側板。
2、使用掃描電鏡找平腳將立柱抬離地面至少6“。如有必要,在水平尺下放置木塊以增加高度。
3、拆下主銷后傾角和主銷后傾角螺栓(如有必要)。
4、將***個鋁制安裝板放在掃描電鏡下的地面上。前后各27.5英寸,左右各27英寸。用水平儀確保盤子坐平。按下所有角落,確保其與地面齊平。如果不水平或不齊平,則使用墊片確保水平,并在各側均勻地放置在地面上。
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