曲面基底上的納米結構在許多領域都有著重要應用,例如仿生學、柔性電子學和光學器件等。傳統(tǒng)的納米壓印技術通常采用剛性模板,可以實現(xiàn)亞10nm的分辨率,但是模板不能彎折,無法在曲面基底上壓印制備納米結構。而采用彈性模板的軟壓印技術可以在無外界提供壓力下與曲面保形接觸,實現(xiàn)結構在非平面基底上的壓印復制,但是由于彈性模板的楊氏模量較低,所以壓印結構的分辨率和精度都受到限制。基于目前納米壓印的發(fā)展現(xiàn)狀,結合傳統(tǒng)的納米壓印技術和軟壓印技術,中國科學院光電技術研究所團隊發(fā)展了一種基于紫外光固化巰基-烯材料的亞100nm分辨率的復合軟壓印模板的制備方法,該模板包含剛性結構層和彈性基底層。(來自網絡,侵權請聯(lián)系我們進行刪除,謝謝!) EVG620 NT是以其靈活性和可靠性而聞名的,因為它以**小的占位面積提供了***的掩模對準技術。晶圓片納米壓印優(yōu)惠價格
UV-NIL / SmartNIL 納米壓印系統(tǒng)
EV Group為基于紫外線的納米壓印光刻(UV-NIL)提供完整的產品線,包括不同的單步壓印系統(tǒng),大面積壓印機以及用于高 效母版制作的分步重復系統(tǒng)。除了柔軟的UV-NIL,EVG還提供其專有的SmartNIL技術以及多種用途的聚合物印模技術。高 效,強大的SmartNIL工藝可提供高圖案保真度,高度均勻的圖案層和**少的殘留層,并具有易于調整的晶圓尺寸和產量。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期承諾,即納米壓印是一種用于大規(guī)模生產微米和納米級結構的高性能,低成本和具有批量生產能力的技術。
這個系列的型號包括:EVG®610;EVG®620NT;EVG®6200NT;EVG®720;EVG®7200;EVG®7200LA;HERCULES®NIL;EVG®770;IQAligner®。 江蘇納米壓印用途是什么EV Group的一系列高精度熱壓花系統(tǒng)是基于該公司市場**的晶圓鍵合技術。
關于WaveOptics
WaveOptics是衍射波導的全球**設計商和制造商,衍射波導是可穿戴AR設備中的關鍵光學組件。
諸如智能眼鏡之類的AR可穿戴設備使用戶能夠觀看覆蓋在現(xiàn)實世界之上的數(shù)字圖像。有兩個關鍵元素可讓您看到這些圖像-微型投影儀之類的光源,以及將圖像從投影儀傳遞到用戶眼睛中的一種方式。
WaveOptics的波導技術可傳輸來自光源的光波并將其投射到用戶的眼睛中。該技術可產生大的眼框,雙目觀察和高視野。眼圖框(查看窗口)是從中可以看到完整圖像的AR顯示器的尺寸-請參見下圖。WaveOptics的波導提供清晰,無失真的文本以及穩(wěn)定的圖像。
WaveOptics技術旨在用于工業(yè),企業(yè)和消費者市場的沉浸式AR體驗。該公司的目標是,憑借其獨特的技術和專業(yè)知識,其波導將成為所有AR可穿戴設備中使用的he心光學組件,以實現(xiàn)****的制造可擴展性和視覺性能,并為眾多應用提供多功能性。
HERCULES NIL 300 mm提供了市場上**的納米壓印功能,具有較低的力和保形壓印,快速的高功率曝光和平滑的壓模分離。該系統(tǒng)支持各種設備和應用程序的生產,包括用于增強/虛擬現(xiàn)實(AR / VR)頭戴式耳機的光學設備,3D傳感器,生物醫(yī)學設備,納米光子學和等離激元學。
HERCULES ® NIL特征:
全自動UV-NIL壓印和低力剝離
**多300毫米的基材
完全模塊化的平臺,具有多達八個可交換過程模塊(壓印和預處理)
200毫米/ 300毫米橋接工具能力
全區(qū)域烙印覆蓋
批量生產**小40 nm或更小的結構
支持各種結構尺寸和形狀,包括3D
適用于高地形(粗糙)表面
*分辨率取決于過程和模板
HERCULES?NIL是完全集成的納米壓印光刻解決方案,可實現(xiàn)300 mm的大批量生產。
納米壓印光刻(NIL) -SmartNIL ®
用于大批量生產的大面積軟UV納米壓印光刻工藝
介紹:
EVG是納米壓印光刻(NIL)的市場**設備供應商。EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術多年,掌握了NIL并已在不斷增長的基板尺寸上實現(xiàn)了批量生產。EVG的專有SmartNIL技術通過多年的研究,開發(fā)和現(xiàn)場經驗進行了優(yōu)化,以解決常規(guī)光刻無法滿足的納米圖案要求。SmartNIL可以提供低至40 nm或更小的出色的共形烙印結果。
如果要獲得詳細信息,請聯(lián)系我們岱美儀器技術服務有限公司或者訪問官網。
EVG620 NT支持多種標準光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,以及背面對準選項。湖北納米壓印供應商
SmartNIL 非常適合對具有復雜納米結構微流控芯片進行高精度圖案化,用在下一代藥 物研究和醫(yī)學診斷設備生產。晶圓片納米壓印優(yōu)惠價格
EVG ® 510 HE特征:
用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印應用
自動化壓花工藝
EVG專有的**對準工藝,用于光學對準的壓印和壓印
完全由軟件控制的流程執(zhí)行
閉環(huán)冷卻水供應選項
外部浮雕和冷卻站
EVG ® 510 HE技術數(shù)據:
加熱器尺寸:150毫米 ,200毫米
比較大基板尺寸:150毫米,200毫米
**小基板尺寸:單芯片,100毫米
比較大接觸力:10、20、60 kN
比較高溫度:標準:350°C;可選:550°C
夾盤系統(tǒng)/對準系統(tǒng)
150毫米加熱器:EVG ® 610,EVG ® 620,EVG ® 6200
200毫米加熱器:EVG ® 6200,MBA300,的Smart View ® NT
真空:
標準:0.1毫巴
可選:0.00001 mbar
晶圓片納米壓印優(yōu)惠價格
岱美儀器技術服務(上海)有限公司致力于儀器儀表,以科技創(chuàng)新實現(xiàn)***管理的追求。公司自創(chuàng)立以來,投身于磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發(fā),是儀器儀表的主力軍。岱美儀器技術服務致力于把技術上的創(chuàng)新展現(xiàn)成對用戶產品上的貼心,為用戶帶來良好體驗。岱美儀器技術服務創(chuàng)始人陳玲玲,始終關注客戶,創(chuàng)新科技,竭誠為客戶提供良好的服務。