研究所輪廓儀測樣

來源: 發(fā)布時間:2020-02-27

    隨著時代的發(fā)展,輪廓儀也越來重要了,不少的產(chǎn)品檢測都需要通過輪廓儀進行檢測,***就讓我們來了解一下輪廓儀的工作原理與應(yīng)用吧。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標(biāo)測量儀器。儀器傳感器相對于測量的工件臺以恒定速度滑動。傳感器的觸針檢測測量儀表的幾何變化,并分別在X和Z方向上對其進行采樣,并將其轉(zhuǎn)換為電信號。電信號被放大和處理,然后轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號并存儲在計算機系統(tǒng)的存儲器中。計算機以數(shù)字方式過濾原始表格的輪廓,分離表面并計算粗糙度分量,測量結(jié)果為計算符號。某個曲線的實際值及其與參考點的坐標(biāo),或放大的實際輪廓曲線。測量結(jié)果通過顯示器輸出,也可以由打印機輸出。輪廓儀應(yīng)用輪廓儀***用于機械加工、汽車、摩托車、精密五金、精密工具、刀 具、模具、光學(xué)元件等行業(yè)適用于研究機構(gòu)、大學(xué)、計量機構(gòu)和企業(yè)計量室。在汽車,摩托車和制冷行業(yè),它可以測量活塞,活塞銷,齒輪的總線參數(shù)和汽車,摩托車和壓縮機的閥門柱塞,可以測量各種傾斜部件的參數(shù)。在軸承工業(yè)中,內(nèi)護套環(huán)的密封槽的形狀(角度,倒角R,槽深,槽寬等);各種滾子軸承的滾子和套圈母線的冠部,角度和對數(shù)曲線;電機軸,圓柱銷,活塞銷,滾針軸承,圓柱滾子軸承。光學(xué)系統(tǒng):同軸照明無限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)。研究所輪廓儀測樣

NanoX-8000 3D輪廓測量主要技術(shù)參數(shù)

3D測量主要技術(shù)指標(biāo)(1):

測量模式: PSI + VSI + CSI

Z軸測量范圍: 大行程PZT 掃描 (300um 標(biāo)配/500um選配)

10mm 精密電機拓展掃描

CCD相機: 1920x1200 高速相機(標(biāo)配)

干涉物鏡: 2.5X, 5X, 10X(標(biāo)配), 20X, 50X, 100X(NIKON )

物鏡切換: 5孔電動鼻切換 FOV: 1100x700um(10X物鏡), 220x140um(50X物鏡)

Z軸聚焦: 高精密直線平臺自動聚焦

照明系統(tǒng): 高 效長壽白光LED + 濾色鏡片電動切換(綠色/藍色)

傾斜調(diào)節(jié): ±5°電動調(diào)節(jié)

橫向分辨率: ≥0.35μm(與所配物鏡有關(guān))

3D測量主要技術(shù)指標(biāo)(2):

垂直掃描速度: PSI : <10s,VSI/CSI:< 38um/s

高度測量范圍: 0.1nm – 10mm

表面反射率: > 0.5%

測量精度: PSI: 垂直分辨率 < 0.1nm

準(zhǔn)確度 < 1nm

RMS重復(fù)性 < 0.01nm (1σ)

臺階高重復(fù)性:0.15nm(1σ)

VSI/CSI:垂直分辨率 < 0.5nm

準(zhǔn)確度<1%

重復(fù)性<0.1% (1σ,10um臺階高) Nano X輪廓儀值得買測量模式:移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI)。

我們的輪廓儀有什么優(yōu)勢呢

世界先進水平的產(chǎn)品技術(shù)

合理的產(chǎn)品價格

24小時到現(xiàn)場的本地化售后服務(wù)

無償產(chǎn)品技術(shù)培訓(xùn)和應(yīng)用技術(shù)支持

個性化的應(yīng)用軟件服務(wù)支持

合理的保質(zhì)期后產(chǎn)品服務(wù)

更佳的產(chǎn)品性價比和更優(yōu)解決方案


非接觸式輪廓儀(光學(xué)輪廓儀)是以白光干涉為原理制成的一款高精度微觀形貌測量儀器,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。(本段來自網(wǎng)絡(luò))

輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括:

表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)

幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)

白光干涉系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件,

物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標(biāo)配的10×, 還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。  

不同的鏡頭價格有很大的差別,因此需要量力根據(jù)需求選配對應(yīng)的鏡頭哦。 表面三維評定參數(shù)由于能更***,更真實的反應(yīng)零件表面的特征。

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用:

晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,任何微小的黏附異物和下次均會導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進行檢測,檢測相應(yīng)的輪廓尺寸。



白光輪廓儀的典型應(yīng)用:

對各種產(chǎn)品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。


NanoX-8000 的XY 平臺比較大移動速度:200mm/s 。原裝進口輪廓儀

擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,精確度低的缺點,**提高加工效率。研究所輪廓儀測樣

一、從根源保障物件成品的準(zhǔn)確性:

通過光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測,得出物件的誤差和超差參數(shù),**提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應(yīng)”,造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離,**終導(dǎo)致整個生產(chǎn)鏈更大的損失。

二、提高效率:

智能化檢測,全自動測量,檢測時只需將物件放置在載物臺,然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù),即可一鍵分析批量測量。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,精確度低的缺點,**提高加工效率。 研究所輪廓儀測樣

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司辦公設(shè)施齊全,辦公環(huán)境優(yōu)越,為員工打造良好的辦公環(huán)境。專業(yè)的團隊大多數(shù)員工都有多年工作經(jīng)驗,熟悉行業(yè)專業(yè)知識技能,致力于發(fā)展岱美儀器技術(shù)服務(wù)的品牌。公司以用心服務(wù)為重點價值,希望通過我們的專業(yè)水平和不懈努力,將磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】等業(yè)務(wù)進行到底。岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司主營業(yè)務(wù)涵蓋磁記錄,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā),堅持“質(zhì)量保證、良好服務(wù)、顧客滿意”的質(zhì)量方針,贏得廣大客戶的支持和信賴。