湖南如何分類BOE蝕刻液

    35kilogramos/centímetrocuadrado).IgualmenteserealizaráunapruebademedicióndieléáncertificadasporunOrganismodecontrolcompetentedebidamenteacreditado..DepósitodepláóónTécnicaComplementariaseentiendepordepósitosdeplásticoreforzadoaquellosdepósitoscilíndricos,deejecuciónhorizontalenplásticoreforzado,destinadosalalmacenamientodeproductospetrolíferos(incluidosproductosoxigenados),atemperaturaypresiónatmosférica,conunacapacidadigualosuperiora1,5metroscúíndricodeseccióóndelosdepósitosseemplearánresinassintéticasdepoliésteresinsaturadosuotrostiposderesinasconcaracterísticasanálogassegúáfibradevidrioocualquierotromaterialconresistenciaequivalente,queseincorporaalaresinaparamejorarsuscaracteríóósitosnodeberásersuperioraun3por100delacapacidadnominal,ó)Fondos:Losfondosseejecutaránporprocedimientomanual,moldeoporproyección,moldeoporinyección。BOE蝕刻液推薦蘇州博洋化學股份有限公司。湖南如何分類BOE蝕刻液

    此處所描述的具體實施例用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。參照圖1，本實用新型實施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)包括：電解槽1、射流器2、再生液調配缸3、液體泵4，其中，電解槽1具有一出液口和出氣口，且電解槽1中內置有酸性蝕刻液，電解槽1對該酸性蝕刻液進行電解提銅，產生氯氣，得到電解后液，并且，產生的氯氣通過位于上方的出氣口排出，電解后液通過位于下方的出液口排出。射流器2包括混氣室21和擴散管22，混氣室21和擴散管22之間為喉管，混氣室21具有進氣口2a、進液口2b、出液口2c，擴散管22連接至出液口2c，進氣口2a通過導氣管a與電解槽1的出氣口連接以接收氯氣，擴散管22深入到再生液調配缸3中。再生液調配缸3具有進液口和循環(huán)出液口，進液口通過管道b與電解槽1的出液口連接以接收電解后液。液體泵4的一端通過管道b連接再生液調配缸3的循環(huán)出液口，另一端通過管道b連接射流器2的進液口2b，用于將再生液調配缸3中的電解后液通過管道b抽取至射流器2的進液口2b。電解槽1電解提銅后，陽極產生的氯氣通過導氣管a進入到射流裝置2的混氣室21內，電解后液通過液體泵4打入到射流裝置2的混氣室21，在混氣室21形成真空，在喉管處氯氣與電解后液劇烈混合。浙江如何分類BOE蝕刻液批量定制蘇州博洋化學股份專業(yè)生產BOE蝕刻液。

    sedispondrándeanillosderefuerzoennúánenelinteriordelasvirolasalasqueestánfijadosporsoldaduraenángulodiscontinua,concosturasalternadassobrelosdosladosdelalma,conunainterrupciónenlageneratrizinferiorparadarpasoallíquido,áncubrirnitotalniparcialmentelassoldaduras,ánconarcoeléctricoyserealizaráétodoempleadoylapreparacióndelosbordesdebenpermitirconseguirunasoldadurasanaatodololargodelasjuntas,asíánconunprocedimientohomologadoqueasegureunapenetracióntotal,consoldaduraporambascaras,oconprocedimientoshomologadosqueconsigaigualmenteunapenetracióóándemaneraquenoesténenlaprolongaciónlasunasdelasotras,conunasseparacionesmínimasde100milíánenlamitadsuperiordelosdepósitos,simétricamente,aunoyotroladodelplanoverticaldesimetríáformadapormáón,etc.,deberáencontrarseamenosde50milíóósitosnodeberásersuperiorenun3por100alacapacidadnominal,ámenesenfabricacióó).aSobreespesoresnominalesdelaschapasydelosfondos:segúnUNE36-559。

    本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑，來改善磷酸的浸潤性和表面張力，使之均勻蝕刻氮化硅。背景技術：氮化硅是一種具有很高的化學穩(wěn)定性的絕緣材料，氫氟酸和熱磷酸能對氮化硅進行緩慢地腐蝕。在半導體制造工藝中，一般是采用熱磷酸對氮化硅進行蝕刻，一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來蝕刻氮化硅。但隨著半導體制程的飛速發(fā)展，器件的特征尺寸越來越小，集成度越來越高，對制造工藝中的各工藝節(jié)點要求也越來越高，如蝕刻工藝中對蝕刻后晶圓表面的均勻性、蝕刻殘留、下層薄膜的選擇性等都有要求。在使用熱磷酸對氮化硅進行蝕刻時，晶圓表面會出現(xiàn)不均勻的現(xiàn)象，體現(xiàn)于在蝕刻前后進行相同位置取點的厚度測量時，檢測點之間蝕刻前后的厚度差值存在明顯差異。為了解決氮化硅蝕刻不均勻的問題，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑可以實現(xiàn)氮化硅層的均勻蝕刻。技術實現(xiàn)要素：本發(fā)明所要解決的技術問題是提供一種能均勻蝕刻氮化硅層的蝕刻液。本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液，所述蝕刻液的組成包括：占蝕刻液總重量≥88％的磷酸、％的醇醚類、％的表面活性劑。進一步地，本發(fā)明涉及上述蝕刻液。歡迎詢價，蘇州博洋化學股份有限公司。

    添加劑為二乙二醇單甲醚、三乙二醇乙醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p，添加量分別為％、％、％。實施例6本發(fā)明的實施例按蝕刻液總質量為400g進行配制，先稱取濃度為85％的磷酸，然后稱取添加劑加入磷酸中，該實施例中所含成分及各成分稱取的質量顯示于表1。添加劑為丙二醇丁醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、月桂酰氨乙基硫酸鈉，添加量分別為總質量的％、％、％。對照例對照例中所含成分顯示于表1，并采用與實施例相同的方法進行處理。對照例1為純磷酸，總質量為400g。對照例2為磷酸、丙二醇丁醚，其中丙二醇丁醚的添加量為總質量的％。對照例3為磷酸、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p，其中脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p的添加量為總質量的％。結果如表2所示，與對照例蝕刻液相比，實施例蝕刻液有更低的表面張力和接觸角，并且氮化硅層蝕刻后顯示出良好的均勻性。表1表2顯然，上述實施例和對照例是為了清楚地說明所作的實例，而并非對實施方式的限制。對于所屬領域的技術人員來說，在上述說明的基礎上還可以做出其它不同形式的變化或變動，這里無需也無法對所有的實施方式予以窮舉。而因此所引申的顯而易見的變化或變動仍處于本發(fā)明創(chuàng)造的保護范圍之內。BOE蝕刻液公司的聯(lián)系方式。湖北無機BOE蝕刻液批量定制

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    asícomoeldeinstalaciónypruebasdelosmismos,deacuerdoconunasnormasycóásustituirseporotrodehomologació)Normasdeaplicación:Enlosplanosseindicaránlasnormasdeaplicaciónutilizadasparalaclasificacióndelosemplazamientosasícomolaseleccióndelosmaterialeseléctricos,ándecobre,conaislamientodePVCycubiertaexternadePVCresistentealoshidrocarburosynopropagadoradelallama,segúónylasintensidadesmáximasestaráónmecánica,oquedispongandearmaduraabasedehilosdeacerogalvanizado,susecciónmínimapodráserde2,5milímetroscuadrados,paraalimentacionesdefuerza;paraalumbradoycontrol,tendránunasecciónmínimadeunmilíálculodelaseccióndeloscables,laintensidadadmisibledelosconductoresdeberádisminuirseenun15por100,ademásdeaplicarlosfactoresdecorreccióndependiendodelascaracterísticasdelainstalacióándisponerdeunaproteccióncontracortocircuitosycontrasobrecargassiéánconconductordeproteccióásicas,tresfasesyconductordeprotección,encircuitosmonofásicos,fase。湖南如何分類BOE蝕刻液