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光刻膠殘留大,殘留分布不均勻,并且產(chǎn)生邊緣聚集殘留。為了能夠進(jìn)一步地表示配方一和配方二之間的光刻膠殘留量對比,圖2中將多張單張檢測圖進(jìn)行疊加,可以更加清楚地看出兩者之間的區(qū)別,能夠明顯地看出使用配方一的剝離液,高世代面板邊緣光刻膠殘留量大。下面列舉更多剝離液組分實(shí)施例。表三:不同組分的剝離液表四:測試剝離性能時(shí)間30s50s70s90s1okokokok2okokokok3okokokok4okokokok5okokokok6okokokok7okokokok8okokokok9okokokok表三為9組不同組分的所制成的剝離液,9組不同組分的剝離液都進(jìn)行剝離性能測試,在50℃下分別放入切好的玻璃,進(jìn)行剝離性能測試,測試結(jié)果如表四所示,具有良好的剝離效果。通過上述,本實(shí)施方式中的剝離液采用酰胺、醇醚、環(huán)胺與鏈胺、緩蝕劑、潤濕劑制得,有效地提高了光刻膠的剝離效果,減少了光刻膠的殘留。對所公開的實(shí)施例的上述說明,使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對這些實(shí)施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的,本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下,在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此,本發(fā)明將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例。剝離液的類別一般有哪些。安徽銅蝕刻液剝離液費(fèi)用是多少
若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞,則關(guān)閉連接被阻塞的所述過濾器的管道上的閥門開關(guān);取出被阻塞的所述過濾器。在一些實(shí)施例中,所述若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞,則關(guān)閉連接被阻塞的所述過濾器的管道上的閥門開關(guān)包括:若所述過濾器包括多個(gè)并列排布的子過濾器,則關(guān)閉連接被阻塞的所述子過濾器的管道上的閥門開關(guān)。本申請實(shí)施例還提供一種剝離液機(jī)臺,包括:依次順序排列的多級腔室、每一級所述腔室對應(yīng)連接一存儲(chǔ)箱;過濾器,所述過濾器的一端設(shè)置通過管道與當(dāng)前級腔室對應(yīng)的存儲(chǔ)箱連接,所述過濾器的另一端通過第二管道與下一級腔室連接;其中,至少在所述管道或所述第二管道上設(shè)置有閥門開關(guān)開關(guān)。通過閥門開關(guān)控制連接每一級腔室的過濾器相互獨(dú)立,從而在過濾器被阻塞時(shí)通過閥門開關(guān)將被堵塞的過濾器取下并不影響整體的剝離進(jìn)程,提高生產(chǎn)效率。附圖說明為了更清楚地說明本申請實(shí)施例中的技術(shù)方案,下面將對實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖是本申請的一些實(shí)施例,對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本申請實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺的種結(jié)構(gòu)示意圖。安徽銅蝕刻液剝離液費(fèi)用是多少剝離液可以實(shí)現(xiàn)光刻膠的剝離;
從而可以在閥門開關(guān)60關(guān)閉后取下被阻塞的過濾器30進(jìn)行清理并不會(huì)導(dǎo)致之后的下一級腔室102的剝離進(jìn)程無法繼續(xù)。其中,腔室10用于按照處于剝離制程的玻璃基板的傳送方向逐級向玻璃基板分別提供剝離液;與多個(gè)腔室10分別對應(yīng)連接的多個(gè)存儲(chǔ)箱20,各級腔室10分別通過管道與相應(yīng)的存儲(chǔ)箱20連接,存儲(chǔ)箱20用于收集和存儲(chǔ)來自當(dāng)前級腔室101的經(jīng)歷剝離制程的剝離液;過濾器30用于過濾來自當(dāng)前級腔室101的存儲(chǔ)箱20的剝離液,并且過濾器30還可以通過管道與下一級腔室102連接,從而過濾器30可以將過濾后的剝離液輸送給下一級腔室102。各腔室10設(shè)計(jì)為適合進(jìn)行剝離制程,用于向制程中的玻璃基板供給剝離液,具體結(jié)構(gòu)可參考現(xiàn)有設(shè)計(jì)在此不再贅述。各級腔室10分別于相應(yīng)的存儲(chǔ)箱20通過管道連接,腔室10中經(jīng)歷剝離制程后的剝離液可以經(jīng)管道輸送至存儲(chǔ)箱20中,由存儲(chǔ)箱20來收集和存儲(chǔ)。各級腔室10的存儲(chǔ)箱20分別與相應(yīng)的過濾器30通過管道連接,經(jīng)存儲(chǔ)箱20處理后的剝離液再經(jīng)相應(yīng)的過濾器30過濾后才經(jīng)管道輸送至下一級腔室102。本申請中,腔室10及過濾器30可以采用與現(xiàn)有技術(shù)相同的設(shè)計(jì)。處于剝離制程中的玻璃基板。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2020-2024年中國剝離液行業(yè)市場供需現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢預(yù)測報(bào)告》顯示,剝離液屬于濕電子化學(xué)品的重要品類,近幾年受新能源、汽車電子等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,我國濕電子化學(xué)品市場規(guī)模持續(xù)擴(kuò)增,2019年我國濕電子化學(xué)品市場規(guī)模達(dá)到100億元左右,需求量約為138萬噸。隨著剝離液在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的應(yīng)用增長,剝離液產(chǎn)量以及市場規(guī)模隨之?dāng)U大,2019年我國半導(dǎo)體用剝離液需求量約為,只占據(jù)濕電子化學(xué)品總需求量的。從競爭方面來看,當(dāng)前全球剝離液的生產(chǎn)由濕電子化學(xué)品企業(yè)主導(dǎo),主要集中在歐美、日韓以及中國,代表性企業(yè)有德國巴斯夫、德國漢高、美國霍尼韋爾、美國ATMI公司、美國空氣化工產(chǎn)品公司、三菱化學(xué)、京都化工、住友化學(xué)、宇部興產(chǎn)、關(guān)東化學(xué),以及中國的江陰江化微、蘇州瑞紅、中國臺灣聯(lián)仕電子等企業(yè)。 剝離液應(yīng)用于什么樣的場合?
按照玻璃基板傳送方向從當(dāng)前腔室101開始逐級由各腔室10向玻璃基板供給剝離液以進(jìn)行剝離制程。剝離液從當(dāng)前腔室101進(jìn)入相應(yīng)的存儲(chǔ)箱20,在剝離液的水平面超過預(yù)設(shè)高度后流入過濾器30,再經(jīng)過過濾器30的過濾將過濾后的剝離液傳送至下一級腔室102內(nèi)。其中,薄膜碎屑70一般為金屬碎屑或ito碎屑。其中,如圖2所示,圖2為本申請實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺100的第二種結(jié)構(gòu)示意圖。閥門開關(guān)60設(shè)置在管道40及第二管道50上。在過濾器30被阻塞時(shí),關(guān)閉位于過濾器30兩側(cè)的管道40及第二管道50上的閥門開關(guān)60,可以保證當(dāng)前級腔室101對應(yīng)的存儲(chǔ)箱20內(nèi)剝離液不會(huì)流出,同時(shí)下一級腔室102內(nèi)的剝離液也不會(huì)流出。在一些實(shí)施例中,請參閱圖3,圖3為本申請實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺100的第三種結(jié)構(gòu)示意圖。過濾器30包括多個(gè)并列排布的子過濾器301,所述管道40包括多個(gè)子管道401,每一所述子管道401與一子過濾器301連通,且所述多個(gè)子管道401與當(dāng)前級腔室101對應(yīng)的存儲(chǔ)箱20連通。在一些實(shí)施例中,第二管道50包括公共子管道501及多個(gè)第二子管道502,每一所述第二子管道502與一子過濾器301連通,每一所述第二子管道502與所述公共子管道501連通,所述公共子管道501與所述下一級腔室102連通。其中。哪家的剝離液的價(jià)格低?佛山市面上哪家剝離液銷售廠
剝離液有水性和溶劑型兩種不同的區(qū)分。安徽銅蝕刻液剝離液費(fèi)用是多少
所述功能切換口外部并聯(lián)有高純水輸入管線和沉淀劑輸入管線,所述二級過濾罐的底部設(shè)有廢液出口,所述一級過濾罐和二級過濾罐內(nèi)部均懸設(shè)有攔截固體成分的過濾筒。上述的光刻膠廢剝離液回收裝置,所述一級過濾罐和二級過濾罐的結(jié)構(gòu)相同,均由外殼、懸設(shè)于外殼內(nèi)的過濾筒、扣裝于過濾筒頂部的壓蓋組成,所述壓蓋中心設(shè)有對應(yīng)進(jìn)料管路的通孔,所述過濾筒由均勻布設(shè)多孔的支撐筒體、設(shè)于支撐筒體內(nèi)表面的金屬濾網(wǎng)、設(shè)于金屬濾網(wǎng)表面的纖維濾布組成,所述支撐筒體的上沿伸出外殼頂部并利用水平翻邊支撐于外殼上表面,所述金屬濾網(wǎng)的上沿設(shè)有與支撐筒體的水平翻邊扣合的定位翻邊,所述支撐筒體的底面為向筒體內(nèi)側(cè)凹陷的錐面。上述的光刻膠廢剝離液回收裝置,所述攪拌釜設(shè)有ph計(jì),用于檢測溶液ph值。本實(shí)用新型的有益效果是:使用時(shí),先將高純水與光刻膠廢剝離液在攪拌釜內(nèi)攪拌均勻,形成固液混合物,打開一級過濾罐進(jìn)料管路上的電磁閥,固液混合物進(jìn)入一級過濾罐的過濾筒中,先由一級過濾罐的過濾筒過濾得到一級線性酚醛樹脂,濾液由提升泵送往攪拌釜的循環(huán)料口,往復(fù)設(shè)定次數(shù)后,一級線性酚醛樹脂回收完成,關(guān)閉一級過濾罐進(jìn)料管路上的電磁閥。安徽銅蝕刻液剝離液費(fèi)用是多少