是為電阻、電容等微型電子元件設(shè)計(jì)的自動(dòng)化電鍍裝置,通過(guò)三滾筒協(xié)同作業(yè)與全流程智能控制,實(shí)現(xiàn)高效、高精度鍍層加工。要點(diǎn):
三滾筒系統(tǒng):
三個(gè)滾筒可同步處理不同工藝或元件(如電阻鍍錫、電容鍍銀),或聯(lián)動(dòng)提升產(chǎn)能。滾筒采用PP/PVC等耐腐蝕材質(zhì),內(nèi)部防碰撞分區(qū)設(shè)計(jì),減少微小元件(如貼片電阻0201)的損傷風(fēng)險(xiǎn)
全自動(dòng)控制:
集成PLC/工業(yè)電腦系統(tǒng),自動(dòng)完成上料、電鍍、清洗、烘干流程。通過(guò)傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)控鍍液溫度、pH值及電流密度,動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)參數(shù)
電鍍優(yōu)化:
多級(jí)過(guò)濾與溫控裝置確保鍍液穩(wěn)定性;多點(diǎn)陰極導(dǎo)電技術(shù)適配電阻引腳、電容電極的復(fù)雜接觸需求
高效靈活:三滾筒并行作業(yè),產(chǎn)能較單筒提升50%以上,可同時(shí)處理多規(guī)格元件或多鍍種
鍍層高一致性:滾筒勻速旋轉(zhuǎn)結(jié)合智能調(diào)控,確保微小元件表面鍍層均勻
低損耗率:防摩擦結(jié)構(gòu)+精細(xì)轉(zhuǎn)速控制,元件破損率低于0.1%
典型場(chǎng)景:
電阻類:金屬膜電阻端頭鍍錫、高精度電阻鍍金
電容類:鋁電解電容電極鍍銅、MLCC電容鍍鎳抗氧化
關(guān)鍵注意:
按元件尺寸匹配滾筒孔徑,防止漏料
定期檢測(cè)鍍液金屬離子濃度,避免雜質(zhì)影響鍍層導(dǎo)電性
維護(hù)自動(dòng)傳輸系統(tǒng),減少卡料風(fēng)險(xiǎn)。 無(wú)氰鍍鋅設(shè)備使用鋅酸鹽絡(luò)合劑替代。國(guó)產(chǎn)電鍍?cè)O(shè)備
龍門式自動(dòng)線通過(guò)龍門機(jī)械手(橫跨電鍍槽上方的移動(dòng)框架)和懸掛系統(tǒng),將工件按預(yù)設(shè)程序在不同工藝槽(如除油、電鍍、水洗等)間自動(dòng)轉(zhuǎn)移,全程由PLC(可編程邏輯控制器)控制,實(shí)現(xiàn)無(wú)人化連續(xù)生產(chǎn)。
組成
1.龍門機(jī)械
手采用伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng),雙立柱+橫梁結(jié)構(gòu),負(fù)載能力可達(dá)200-1000kg行程精度:±0.1mm(機(jī)型可達(dá)±0.05mm)移動(dòng)速度:水平0.5-2m/s,升降0.2-0.5m/s
2.軌道系統(tǒng)
精密導(dǎo)軌+齒輪齒條傳動(dòng),支持多工位并行作業(yè)防腐蝕設(shè)計(jì)(不銹鋼或鍍層保護(hù)),適應(yīng)酸堿環(huán)境
3.掛具系統(tǒng)
定制化夾具,適配不同工件形狀(如支架、吊籃)導(dǎo)電觸點(diǎn)采用銀/銅復(fù)合材料,接觸電阻<0.05Ω
4.控制系統(tǒng)
PLC+觸摸屏(HMI),預(yù)設(shè)上百種工藝配方實(shí)時(shí)監(jiān)控電流、溫度、pH值,數(shù)據(jù)存儲(chǔ)追溯
滾鍍電鍍?cè)O(shè)備周邊設(shè)備滾鍍?cè)O(shè)備采用帶孔滾筒裝載小工件,旋轉(zhuǎn)翻滾中完成電鍍,高效處理螺絲、電子元件等批量小件。
需結(jié)合工藝需求、生產(chǎn)規(guī)模、預(yù)算及環(huán)保要求,以下建議:
1.工藝類型根據(jù)鍍層種類選擇設(shè)備,例如鍍鉻需耐高溫鍍槽,鍍金需高精度整流器。前處理/后處理流程決定是否需要超聲波清洗機(jī)、甩干機(jī)等配。
2.生產(chǎn)規(guī)模中小批量:優(yōu)先選擇模塊化設(shè)備(如可擴(kuò)展的鍍槽、單機(jī)過(guò)濾機(jī)),降低初期投入。大規(guī)模量產(chǎn):考慮自動(dòng)化生產(chǎn)線(如機(jī)器人上下料、PLC集中控制系統(tǒng)),提升效率。
3.鍍層質(zhì)量要求高精度產(chǎn)品(如電子元件):需配備在線檢測(cè)設(shè)備(如X射線測(cè)厚儀)、恒溫恒濕控制系統(tǒng)。普通五金件:可選基礎(chǔ)檢測(cè)設(shè)備(如磁性測(cè)厚儀)。
1.鍍槽材質(zhì):酸性選聚丙烯(PP),高溫強(qiáng)堿選聚四氟乙烯(PTFE)。尺寸:根據(jù)工件大小和產(chǎn)能計(jì)算槽體容積,預(yù)留10%-20%余量避免溢出。
2.整流器優(yōu)先選擇高頻開關(guān)電源(節(jié)能30%以上),輸出電流需覆蓋最大負(fù)載的120%。復(fù)雜工藝(如脈沖電鍍)需配置可編程整流器。
3.過(guò)濾系統(tǒng)精密電鍍(如PCB):采用多級(jí)過(guò)濾(濾芯+超濾膜),精度≤1μm。常規(guī)電鍍:選用袋式過(guò)濾機(jī),精度5-25μm即可。
4.環(huán)保設(shè)備廢氣處理:酸霧量大時(shí)選噴淋塔+活性炭吸附廢水處理:重金屬?gòu)U水需配備離子交換或反滲透(RO)系統(tǒng)
掛鍍工藝:晶圓固定在掛具上,浸入電鍍液,通過(guò)精細(xì)控制電流、電壓及溶液成分,在表面沉積均勻金屬層。
電鍍槽:耐腐蝕材質(zhì),配備溫控、循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng),維持鍍液均勻性
掛具與陽(yáng)極:鈦或鉑金陽(yáng)極,掛具設(shè)計(jì)適配晶圓尺寸,確保電場(chǎng)分布均勻
自動(dòng)化傳輸:機(jī)械臂自動(dòng)上下料,減少人工污染風(fēng)險(xiǎn)
控制系統(tǒng):PLC/計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)調(diào)控電流密度、電鍍時(shí)間、pH值等參數(shù)
高均勻性:通過(guò)脈沖電鍍或水平電鍍技術(shù)(如ECP),減少邊緣效應(yīng),實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)鍍層均勻性
低缺陷率:鍍液雜質(zhì)控制(<0.1ppm)與膜厚在線監(jiān)測(cè),降低孔洞、結(jié)節(jié)等缺陷
高產(chǎn)能:支持多晶圓并行處理
銅互連:在邏輯芯片中沉積多層銅導(dǎo)線,替代傳統(tǒng)鋁工藝以降低電阻
TSV填充:為3D封裝提供垂直導(dǎo)電通道,實(shí)現(xiàn)芯片堆疊
凸塊電鍍:在晶圓表面形成錫、銅柱凸塊,用于Flip-Chip鍵合
RDL(重布線層):沉積銅層實(shí)現(xiàn)芯片I/O端口的重新布局
半導(dǎo)體掛鍍?cè)O(shè)備通過(guò)精密電化學(xué)控制與自動(dòng)化技術(shù),解決了納米級(jí)金屬沉積的均勻性與可靠性難題,是先進(jìn)芯片制造與封裝的裝備。其性能直接關(guān)聯(lián)芯片的導(dǎo)電性、散熱及良率 鍍銅設(shè)備的陽(yáng)極磷銅板定期活化處理,維持表面活性,穩(wěn)定銅離子濃度,保障鍍層沉積速率。
電鍍生產(chǎn)線其組成部分圍繞 “前處理→電鍍處理→后處理→輔助控制” 具體如下:
一、工藝處理系統(tǒng)
1. 前處理設(shè)備
除油裝置:
化學(xué)除油槽:使用堿性溶液或表面活性劑,去除工件表面油污。
電解除油槽:通過(guò)電化學(xué)作用強(qiáng)化除油效果,分陽(yáng)極除油(適用于鋼鐵件)和陰極除油(適用于鋁、銅等易腐蝕金屬)。
酸洗 / 活化設(shè)備:
酸洗槽-活化槽-水洗槽
2.電鍍處理設(shè)備
鍍槽主體:
按電鍍方式分類:
掛鍍槽:用于中大件或精密件
滾鍍機(jī):用于小尺寸、大批量工件(如螺絲、電子元件)
連續(xù)鍍?cè)O(shè)備:針對(duì)帶狀 / 線狀工件(如鋼帶、銅線)
槽體材料:根據(jù)電解液性質(zhì)選擇
3. 后處理設(shè)備
清洗系統(tǒng):多級(jí)水洗(冷水洗、熱水洗),去除鍍層表面殘留電解液,防止腐蝕。
鈍化 / 封閉裝置:
鈍化槽:通過(guò)鉻酸鹽、無(wú)鉻鈍化劑等形成保護(hù)膜(如鍍鋅后的藍(lán)白鈍化、五彩鈍化),提高耐腐蝕性。
封閉槽:用于多孔鍍層(如陽(yáng)極氧化膜),通過(guò)熱水封閉或有機(jī)涂層封閉,增強(qiáng)膜層致密性。
干燥設(shè)備:
熱風(fēng)干燥箱:適用于小件批量干燥,溫度可控(50~150℃)。
離心干燥機(jī):滾鍍后工件甩干(滾筒直接接入,快速去除表面水分)。
特殊處理:如鍍后拋光(機(jī)械或電解拋光)、涂油(防銹)等。 滾鍍機(jī)滾筒采用聚氯乙烯材質(zhì)打孔設(shè)計(jì),確保電解液流通,配合變頻電機(jī)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速,保障小件鍍層均勻。四川超硬鍍層電鍍?cè)O(shè)備
無(wú)氰電鍍?cè)O(shè)備配套活化劑與絡(luò)合劑,替代傳統(tǒng)含氰工藝,在保障鍍層質(zhì)量的同時(shí)提升安全性。國(guó)產(chǎn)電鍍?cè)O(shè)備
按電鍍工藝藥劑添加
分化學(xué)鎳自動(dòng)加藥設(shè)備:通過(guò)先進(jìn)傳感器和控制系統(tǒng),實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)化學(xué)鎳溶液濃度、pH值、溫度等參數(shù),依預(yù)設(shè)工藝要求自動(dòng)調(diào)整添加劑加入量,保障溶液穩(wěn)定性,提高電鍍產(chǎn)品一致性與質(zhì)量。還具備高效節(jié)能特點(diǎn),減少化學(xué)品浪費(fèi)與環(huán)境污染,同時(shí)減輕工人勞動(dòng)強(qiáng)度。
電鍍藥水全自動(dòng)添加系統(tǒng):如秒準(zhǔn)MAZ-XR300A18,基于莫塞萊定律和比爾-朗伯定律,利用軟X射線和可見光譜對(duì)電鍍液中金屬離子(如Ni2?、Sn2?等)和非金屬組分(如磷酸、氫氧化鈉等添加劑)進(jìn)行定性、定量分析。具備自清洗功能,支持多通道采樣,可全組分在線分析,適用于高溫強(qiáng)腐蝕性環(huán)境,安全性高。
pH自動(dòng)加藥機(jī):用于維持電鍍液pH值穩(wěn)定。電鍍過(guò)程中,pH值變化會(huì)影響鍍層質(zhì)量,該設(shè)備通過(guò)pH傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),當(dāng)pH值偏離設(shè)定范圍,自動(dòng)控制加酸或加堿泵添加相應(yīng)藥劑,使pH值保持在合適區(qū)間。
光亮劑自動(dòng)加藥機(jī):光亮劑能提升電鍍層光亮程度和表面質(zhì)量。此設(shè)備依據(jù)電鍍液中光亮劑濃度變化,自動(dòng)添加光亮劑,保證鍍層外觀質(zhì)量穩(wěn)定,避免因光亮劑不足或過(guò)量導(dǎo)致鍍層發(fā)暗、出現(xiàn)條紋等問(wèn)題。 國(guó)產(chǎn)電鍍?cè)O(shè)備