半導(dǎo)體100超高純壓力表有哪些

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-07-13

上海賽途儀器儀表有限公司推出的100超高純壓力表(型號(hào):YTJ-10E/YTJ-10EZ)是一款專(zhuān)為超純氣體運(yùn)輸和模塊化集成系統(tǒng)設(shè)計(jì)的高精度測(cè)量?jī)x器。該產(chǎn)品采用316L不銹鋼/VIM-VAR 316L接液材質(zhì),確保在嚴(yán)苛環(huán)境下依然具備優(yōu)越的耐腐蝕性和化學(xué)穩(wěn)定性。其外徑為100 MM,安裝方式提供徑向和軸向兩種選擇,滿足不同場(chǎng)景的安裝需求。表盤(pán)采用白色鋁材質(zhì),不僅美觀大方,還具備良好的抗干擾性能。連接方式為1/2M-VCR和1/2F-VCR,確保密封性和可靠性。內(nèi)部表面光滑度小于0.25um,有效減少介質(zhì)殘留,適用于對(duì)潔凈度要求極高的領(lǐng)域,如電子產(chǎn)品制造和生物科技實(shí)驗(yàn)室。YTJ-10E配套安裝支架可選。半導(dǎo)體100超高純壓力表有哪些

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上海賽途儀器儀表有限公司的100超高純壓力表(YTJ-10E/YTJ-10EZ)在半導(dǎo)體晶圓制造過(guò)程中發(fā)揮著關(guān)鍵作用。該產(chǎn)品采用VIM-VAR 316L超潔凈不銹鋼材質(zhì),其內(nèi)部表面粗糙度嚴(yán)格控制在0.25μm以下,完全滿足半導(dǎo)體制造對(duì)超高潔凈度的嚴(yán)苛要求。在晶圓生產(chǎn)的關(guān)鍵制程中,如化學(xué)氣相沉積(CVD)和蝕刻工藝,該壓力表能夠精確監(jiān)測(cè)工藝氣體的壓力變化,確保制程穩(wěn)定性。其獨(dú)特的1/2M-VCR和1/2F-VCR連接方式,不僅保證了氣密性,還便于與半導(dǎo)體設(shè)備快速對(duì)接。上海賽途儀器儀表有限公司通過(guò)持續(xù)創(chuàng)新,使該產(chǎn)品在14nm以下先進(jìn)制程中都能保持優(yōu)越性能,為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化提供了重要支持。百級(jí)100超高純壓力表哪家好內(nèi)表面電解處理,粗糙度達(dá)Ra≤0.25μm。

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上海賽途儀器儀表有限公司生產(chǎn)的100超高純壓力表(型號(hào):YTJ-10E/YTJ-10EZ)符合SEMI標(biāo)準(zhǔn),符合EP級(jí),符合BA級(jí)。在百級(jí)千級(jí)潔凈車(chē)間內(nèi)生產(chǎn)運(yùn)輸。適用于超高純氣體的運(yùn)輸管線上。符合半導(dǎo)體行業(yè)的使用。使用1/4VCR作為接口。生產(chǎn)環(huán)境定期進(jìn)行顆粒物檢測(cè)??缮a(chǎn)從-0.1Mpa到0.1MPA到4000PSI的不同量程。可為客戶按照要求開(kāi)發(fā)定制產(chǎn)品。儀表本身經(jīng)過(guò)無(wú)油無(wú)菌脫脂處理。材質(zhì)全部使用316L不銹鋼。使用雙層真空包裝。儀表外部使用耐震棉做包裝。采用電解拋光和研磨來(lái)提升內(nèi)部光潔度。符合SEMI F20 潔凈標(biāo)準(zhǔn)。內(nèi)部管路表面光潔度小于0.18um. 儀表通過(guò)氦質(zhì)譜側(cè)漏,小于1*10的負(fù)九次方 Pa*m3/s.

上海賽途儀器儀表有限公司的100超高純壓力表(YTJ-10E/YTJ-10EZ)在船舶壓載水處理系統(tǒng)中具有重要應(yīng)用。該產(chǎn)品采用超級(jí)雙相不銹鋼材質(zhì),具有優(yōu)異的耐海水腐蝕性能,通過(guò)DNV-GL船級(jí)社認(rèn)證。其內(nèi)部采用防生物附著設(shè)計(jì),表面粗糙度小于0.25μm,有效防止海洋生物附著。在船舶壓載水泵和管路系統(tǒng)中,該壓力表能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)水壓變化,1.0%FS的精度確保了系統(tǒng)安全。上海賽途儀器儀表有限公司還開(kāi)發(fā)了符合IMO標(biāo)準(zhǔn)的防爆版本,適用于各類(lèi)危險(xiǎn)區(qū)域,為遠(yuǎn)洋船舶提供了可靠的監(jiān)測(cè)設(shè)備。YTJ-10E標(biāo)配1/2英寸VCR接口。

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隨著科技的不斷進(jìn)步,對(duì)產(chǎn)品的潔凈度要求越來(lái)越高。上海賽途儀器儀表有限公司的 100 超高純壓力表符合 SEMI 和 B40.1 標(biāo)準(zhǔn) EP 級(jí)潔凈度,這意味著它在生產(chǎn)過(guò)程中經(jīng)過(guò)了嚴(yán)格的清潔與檢測(cè)流程。從原材料采購(gòu)到產(chǎn)品組裝完成,每一個(gè)環(huán)節(jié)都在無(wú)塵環(huán)境中進(jìn)行,杜絕了外界雜質(zhì)的污染。在半導(dǎo)體芯片制造車(chē)間等對(duì)潔凈度要求極高的場(chǎng)所,該壓力表能確保測(cè)量過(guò)程中不會(huì)引入任何雜質(zhì),為芯片制造提供純凈、穩(wěn)定的壓力監(jiān)測(cè),助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向更高的技術(shù)水平。儀表防護(hù)等級(jí)IP65防塵防水。醫(yī)療100超高純壓力表規(guī)格

多種量程可選,適配不同需求。半導(dǎo)體100超高純壓力表有哪些

上海賽途儀器儀表有限公司的100超高純壓力表(YTJ-10E/YTJ-10EZ)在航空航天領(lǐng)域展現(xiàn)了優(yōu)越的性能。該產(chǎn)品采用航空級(jí)316L不銹鋼材質(zhì),具有極高的機(jī)械強(qiáng)度和耐溫性能,能夠適應(yīng)極端環(huán)境下的工作需求。其精度等級(jí)1.0%FS確保了飛行器各系統(tǒng)壓力參數(shù)的準(zhǔn)確測(cè)量。內(nèi)部表面光滑度小于0.25um的特殊處理,有效減少了介質(zhì)流動(dòng)阻力。顆粒物控制達(dá)到0.1um小于15個(gè)的標(biāo)準(zhǔn),完全符合航空航天領(lǐng)域的嚴(yán)格要求。上海賽途儀器儀表有限公司通過(guò)這款產(chǎn)品,為航空航天事業(yè)提供了高可靠性的測(cè)量?jī)x器。半導(dǎo)體100超高純壓力表有哪些