上海大載機(jī)電有限公司2025-07-10
隔膜密封設(shè)計(jì)優(yōu)勢(shì):1)實(shí)現(xiàn)零泄漏(<1×10??mbar·l/s);2)消除閥桿處的顆粒產(chǎn)生;3)避免潤(rùn)滑油污染高純氣體;4)維護(hù)時(shí)無(wú)需排空系統(tǒng)。此類閥門需滿足SEMI F72標(biāo)準(zhǔn),表面粗糙度Ra<0.25μm,且經(jīng)過(guò)三次以上氬氣等離子清洗。
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