江蘇國產(chǎn)超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備服務(wù)電話

來源: 發(fā)布時(shí)間:2023-05-30

超通智能研發(fā)了一款超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備,與傳統(tǒng)的切割設(shè)備相比,新型半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機(jī)的性能優(yōu)勢(shì)明顯。首先,激光晶圓切割機(jī)采用特殊材料、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和運(yùn)動(dòng)平臺(tái),可在加工平臺(tái)高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)保持穩(wěn)定性和精細(xì)性,轉(zhuǎn)速和效率較高。其次,激光晶圓切割機(jī)采用了合適的波長、總功率、脈寬以及重頻的激光器,克服了激光劃片產(chǎn)生的熔渣污染,顯著提高了切割質(zhì)量。同時(shí),設(shè)備還采用了不同像素尺寸與感光芯片的相機(jī)和鏡頭,可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品輪廓識(shí)別倍數(shù)的水平調(diào)整。無錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備質(zhì)量保證。江蘇國產(chǎn)超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備服務(wù)電話

晶圓切割是半導(dǎo)體封測(cè)工藝中不可或缺的關(guān)鍵工序,據(jù)悉,與傳統(tǒng)的切割方式相比,激光切割屬于非接觸式加工,可以避免對(duì)晶體硅表面造成損傷,并且具有加工精度高、加工效率高等特點(diǎn),可以大幅提升芯片生產(chǎn)制造的質(zhì)量、效率、效益。在光學(xué)方面,根據(jù)單晶硅的光譜特性,結(jié)合工業(yè)激光的應(yīng)用水平,該設(shè)備采用了合適的波長、總功率、脈寬和重頻的激光器,**終實(shí)現(xiàn)了隱形切割。 在影像方面,采用不同像素尺寸、不同感光芯片的相機(jī),配以不同功效的鏡頭,實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品輪廓識(shí)別及低倍、中倍和高倍的水平調(diào)整。安徽自動(dòng)化超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備價(jià)格表無錫超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備廠家直銷優(yōu)勢(shì)。

近年來光電產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,高集成度和高性能的半導(dǎo)體晶圓需求不斷增長,硅、碳化硅、藍(lán)寶石、玻璃以及磷化銦等材料被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓的襯底材料。隨著晶圓集成度大幅提高,晶圓趨向于輕薄化,傳統(tǒng)的很多加工方式已經(jīng)不再適用,于是在部分工序引入了激光技術(shù)。在諸多激光技術(shù)中脈沖激光特別是超短脈沖激光在精密加工領(lǐng)域應(yīng)用又尤為***,超短脈沖激光是指激光單個(gè)脈沖寬度達(dá)到甚至小于10-12秒(即皮秒)這個(gè)量級(jí)的激光,由于激光脈沖時(shí)間寬度極短,在某個(gè)頻率(即一定脈沖個(gè)數(shù))下需要釋放設(shè)定的激光功率,單個(gè)脈沖的激光功率就是固定的,將單個(gè)脈沖的能量在極短的時(shí)間釋放出去,造成瞬時(shí)功率極高(兆瓦及以上),瞬間改變材料性質(zhì),平均功率很低對(duì)材料加工區(qū)域熱影響很小的加工效果即激光冷加工。超短脈沖激光加工具有諸多獨(dú)特的優(yōu)勢(shì):

晶圓切割是半導(dǎo)體芯片制造工藝流程中的一道必不可少的工序,在晶圓制造中屬后道工序。將做好芯片的整片晶圓按芯片大小分割成單一的芯片,稱之為晶圓劃片。激光作為新型的加工方式之一,屬于無接觸式加工,不對(duì)晶圓產(chǎn)生機(jī)械應(yīng)力的作用,對(duì)晶圓損傷較小。由于激光在聚焦上的優(yōu)點(diǎn),聚焦點(diǎn)可小到亞微米數(shù)量級(jí),從而對(duì)晶圓的微處理更具優(yōu)越性,可以進(jìn)行小部件的加工;即使在不高的脈沖能量水平下,也能得到較高的能量密度,有效地進(jìn)行材料加工。超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的廠家哪個(gè)好?無錫超通智能告訴您。

硅作為第三代半導(dǎo)體材料,一直受到業(yè)界追捧,可材料始終是材料,就好比礦,沒有復(fù)雜的工藝處理,他就是一堆石頭,那半導(dǎo)體材料這樣偏精細(xì)的物質(zhì),那自然得有一套成熟的工藝,那首要的就是晶圓的加工。我們常用的半導(dǎo)體材料精細(xì),成本高,而且刀片劃片容易產(chǎn)生圓晶破損和刀具損壞,刀具還要頻繁的更換,后期運(yùn)行成本高。激光劃片屬于無接觸式加工,對(duì)圓晶損傷小,聚焦的優(yōu)點(diǎn)更是在晶圓的微處理上更具優(yōu)越性等更適用于圓晶劃片處理。超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的品牌哪個(gè)好?無錫超通智能告訴您。山西加工超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備解決方案

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與YAG和CO2激光通過熱效應(yīng)來切割不同,紫外激光直接破壞被加工材料的化學(xué)鍵,從而達(dá)到切割目的,這是一個(gè)“冷”過程,熱影響區(qū)域小。另外,紫外激光的波長短、能量集中且切縫寬度小,因此在精密切割和微加工領(lǐng)域具有***的應(yīng)用,目前,激光劃片設(shè)備采用工業(yè)激光器,波長主要有 1064nm、532nm、355nm 三種,脈寬為ns(納秒)、ps(皮秒)和fs(飛秒)級(jí)。理論上,激光波長越短脈寬越短,加工熱效應(yīng)越小,越有利于微細(xì)精密加工,但成本相對(duì)較高。江蘇國產(chǎn)超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備服務(wù)電話

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