氦質譜儀檢漏儀通常用于電子組件的背壓檢測。在進行泄漏檢測之前，用專門使用的加壓容器將氦氣加壓到試件中（壓力的大小由壓力和時間控制），然后取出試件，吹走表面以吸收氦氣，然后將其放置在專門使用的專門使用容器中。檢漏罐。泄漏檢測箱連接到泄漏檢測器的泄漏檢測端口，并排空泄漏檢測箱以執(zhí)行泄漏檢測。如果設備中存在泄漏，則被泄漏壓過的氦會釋放到泄漏檢測罐中到達質譜儀管。用這種方法測得的泄漏率也是總泄漏率。將測試件連接到儀器的泄漏檢測端口以排空，并用裝滿氦氣的容器覆蓋測試件。如果測試件有泄漏，氦氣會通過泄漏進入測試件，后到達質譜儀管。檢測。測得的泄漏率是被測零件的總泄漏率。無法確定有多少泄漏以及每個泄漏的確切位置。可以看出，鐘罩法是基于噴霧法的檢漏法。氦質譜檢漏儀要存放到陰涼、通風、沒有漏雨、火災等危險的房間。揚州國產氦質譜檢漏儀
氦質譜檢漏儀的日常保養(yǎng)與維護：1.如果儀器不是每天使用，建議每周開機檢查一下，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空，縮短儀器使用時的開機時間。2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進行自身檢漏。3.適時對儀器可能出現(xiàn)的泄漏處（如放氣閥等）進行自身檢漏，發(fā)現(xiàn)漏點后要及時取下清洗或固緊，以免在檢漏時干擾檢漏工作。4.檢漏儀維修每隔一段時間保養(yǎng)油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）。5.禁止任何外來物掉在或灑在檢漏儀上，尤其是進氣口中，由于氦檢漏儀為高精度精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。只有經過培訓或有資格的設備維護工程師，才能使用此儀器。6.使用時，注意觀察儀器的運行情況，一旦發(fā)現(xiàn)問題（如較大振動、高噪音等），儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉中，若搬動檢漏儀，容易使分子泵內的葉片與轉子的筒體相碰撞。馬上切斷電源，并排除故障。常州臺式氦質譜檢漏儀生產廠家氦質譜檢漏儀修長的體積，優(yōu)越的性能，適用于眾多行業(yè)。
氦質譜檢漏儀靈敏度降低應該如何維護？這個時候，就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來進行徹底的清洗。具體的清洗方法如下：先用細的高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內表面及離子源各電極部件，這里不能用粗砂紙，因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油或無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；較后用烘箱或電吹風進行干燥。整個清洗過程中需要注意，分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱，否則可能導致磁鐵退磁，使檢漏儀的靈敏度降低。如果操作正確，經過清洗維護后的氦質譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。
氦質譜檢漏儀正壓法原理：采用正壓法檢漏時，需對被檢產品內部密封室充入高于一個大氣壓力的氦氣，當被檢產品表面有漏孔時，氦氣就會通孔漏孔進入被檢外表面的周圍大氣環(huán)境中，再采用吸口的方式檢測被檢產品周圍大氣環(huán)境中的氦氣濃度增量，從而實現(xiàn)被檢產品泄漏測量。按照收集氦氣方式的不同，又可以將正壓法分為正壓吸口法和正壓累積法。其中正壓吸口法采用檢漏儀吸口對被檢產品外表面進行掃描探查，可以實現(xiàn)漏孔的精確定位; 正壓累積法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來，采用檢漏儀吸口測量一定時間段前后的氦罩內氦氣濃度變化量，實現(xiàn)被檢產品總漏率的精確測量。正壓法的優(yōu)點是不需要輔助的真空系統(tǒng)，可以精確定位，實現(xiàn)任何工作壓力下的檢測。氦質譜檢漏儀長期不使用時，用盲板將檢漏口、機械泵排氣口封上。
妤林JQ-3300型全自動氦質譜檢漏儀是一款液晶觸摸彩屏顯示的全自動氦質譜檢漏儀。主要配置采用檢漏儀定制產品。設備內芯的制造借鑒國外先進技術，整機設計合理、性能穩(wěn)定。具有靈敏度高，反應快，開機時間短等特點。檢漏效果達到國外先進水平。電氣部件采用模塊式設計，使維護更方便，信號干擾更少，檢漏效果更好。 放大器采用世界先進技術的晶圓(原裝），相比老款設備使用的美國 AD 放大器，有效降低了檢漏儀本身的噪音，提高了檢漏儀的反應時間，靈敏度和檢漏效果。產品具有快速清理本底的功能。在一般檢漏情況下，本儀器不需要按下調零鍵，就能快速清理氦本底信號，這一技術在國內是創(chuàng)新。氦質譜檢漏儀維護保養(yǎng)方法：機械泵維護，檢查機械泵油量，如低于較低標線則添加泵油。常州真空氦質譜檢漏儀氦檢模塊
氦質譜檢漏儀的性能、特性好壞取決于質譜分析室。揚州國產氦質譜檢漏儀
氦質譜檢漏儀的維護方法及常見故障的處理：一、機械維護，檢查泵的油量，如果低于低標線，則加入泵油；如果變黑或渾濁，則更換泵。使用方法見機械泵說明書。二、清洗，泄漏探測器沒有氦進入，但有一定的泄漏率指示，長期存在。這主要是由于檢漏口、波紋管、密封圈等被污染后吸附的氦氣，在檢漏時又被釋放，造成較大的底部。為防止油污、粉塵和雜物進入氦質譜檢漏儀，在氦質譜檢漏儀下方設置過濾器，將其拆下，用酒精浸泡清洗。檢查泄漏，用棉布擦拭波紋管。三、處理以下是常見的故障現(xiàn)象、原因及解決方法。斷電:1.電源線連接不當；2、保險管熔斷。3、重新接通電源。4.更換相同規(guī)格的保險管。揚州國產氦質譜檢漏儀
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