氦質譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過漏孔并易擴散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調整到只對氦氣反應的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應,從而可知漏孔所在及漏氣量大小。關鍵部件均為進口,性能穩(wěn)定可靠。不但靈敏度高,而且操作方便,能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。氦檢儀噪聲是哪兒來的?進口氦氣檢測機品牌推薦
氦檢儀的組成部分有哪些?真空系統(tǒng),儀器的真空系統(tǒng)提供質譜正常工作所需要的真空條件,不同型號的氦檢儀其真空系統(tǒng)有較大的差別。真空系統(tǒng)一般包括:1)主泵。一般用擴散泵或渦輪分子泵。極限壓力小于5×10-1Pa,其抽速應與氣載匹配。2)前級真空泵。一般采用旋片式機械真空泵,在以分子示為主泵的系統(tǒng)中,也有采用薄膜泵或干泵的。抽速與主泵匹配。3)預抽真空泵。一般與前級真空泵共同一個泵,預抽真空泵一般采用旋片式機械真空泵,其抽速視被檢件大小而定,因此預抽真空泵大都由用戶自配。便攜式氦檢設備工作原理檢漏過程中,如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進人氦質譜檢漏儀,應立即移去吸口。
氦檢儀的示蹤氣體也可以是其他元素,但通常選用氦氣,因為氦氣具有以下特性:①氦氣在空氣中的含量極少,只占約二十萬分之一,這樣氦氣的本底值就小,有利于發(fā)現(xiàn)極微量的氦氣;②氦分子小、質量輕、易擴散、易穿越漏孔,易于檢測也易于清理;③氦離子荷質比小,易于進行質譜分析;④氦氣是惰性氣體,化學性質穩(wěn)定,不會腐蝕和損傷任何設備;⑤氦氣無毒,不凝結,極難容于水。氦質譜檢漏技術用于火力發(fā)電廠的檢漏工作,具有操作方便、靈敏度高和無損傷性等優(yōu)點,特別是可以在正常運行中準確快捷地對機組進行檢漏,減少停機帶來的經(jīng)濟損失。
氦質譜檢漏儀的保養(yǎng)注意事項:1.如果儀器不是每天使用,建議每周開機檢查一下,使儀器高真空系統(tǒng)保持真空,縮短儀器使用時的開機時間2.拆卸儀器部件(如離子源)后,安裝時要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏,可用儀器進行自身檢漏。3.適時對儀器可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥等)進行自身檢漏,發(fā)現(xiàn)漏點后要及時取下清洗或固緊,以免在檢漏時干擾檢漏工作。4.氦質譜檢漏儀維修每隔一段時間保養(yǎng)油泵。(散熱口灰塵處理,和泵油的檢查更換)。5.禁止任何外來物掉在或灑在氦質譜檢漏儀上,尤其是進氣口中,由于氦質譜檢漏儀為高精度精密儀器,其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。氦質譜檢漏儀的可檢漏率:5×10-12Pa·m3/s。
氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù),它是儀器在出廠時經(jīng)過校準的在較佳條件下所能實現(xiàn)的儀器靈敏度,但平常實際使用時其靈敏度是低于該參數(shù)的,稱之為檢漏靈敏度。然后在具體檢漏過程中,氦檢儀的檢漏方法也較多,有噴吹法、氦罩法、檢漏盒法、充壓法、吸嘴法、累積檢漏法、背壓法、選擇性抽氣法、逆流氦檢漏法等眾多形式,可結合實際情況靈活運用。如較簡單常用的噴吹法,與鹵素氦檢儀的真空法類似,將被檢件抽真空,調整好氦檢儀并與被檢件連通,隨后用噴頭在可疑處噴吹氦氣,如果存在漏洞,噴吹一定時間后,氦檢儀即可發(fā)出信號。氦檢儀的型號較多,但基本結構大同小異。便攜式氦檢設備工作原理
為防止油污、粉塵和雜物進入氦質譜檢漏儀,應在氦質譜檢漏儀下方設置過濾器。進口氦氣檢測機品牌推薦
氦質譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過漏孔并易擴散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調整到只對氦氣反應的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應,從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,氦氣具有質量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點,達到了細檢漏的目的。進口氦氣檢測機品牌推薦
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