氦檢儀產(chǎn)生測(cè)量誤差主要包括哪幾個(gè)方面？第1，當(dāng)氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器校準(zhǔn)靈敏度時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)泄漏的位置與檢測(cè)泄漏的位置不同，即標(biāo)準(zhǔn)泄漏與檢測(cè)泄漏檢測(cè)器之間的距離太大，在途中泄漏氦的損失不相等，導(dǎo)致進(jìn)入檢測(cè)泄漏檢測(cè)器的氦量可比性差。第二，進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無(wú)法換算，這時(shí)也會(huì)產(chǎn)生漏率測(cè)量誤差。第三，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱(chēng)漏率有誤差。第四，氦檢儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。第五，校準(zhǔn)靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時(shí)，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。第六，氦檢儀的性能不穩(wěn)定。第七，氦氣純度不穩(wěn)定或存在誤差。氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù)，它是儀器在出廠時(shí)經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的在較佳條件下所能實(shí)現(xiàn)的儀器靈敏度。智能氦氣檢測(cè)機(jī)技術(shù)指導(dǎo)
氦檢儀開(kāi)機(jī)如何操作？1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級(jí)泵”，低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa，開(kāi)抽速閥，開(kāi)漏孔開(kāi)關(guān)，表頭示值也應(yīng)能抽到原來(lái)位置，再關(guān)抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴(kuò)散泵”，燈亮，擴(kuò)散泵開(kāi)始加熱。3、等20分鐘左右，擴(kuò)散泵排氣管應(yīng)熱，開(kāi)冷規(guī)開(kāi)關(guān)，“質(zhì)譜室壓強(qiáng)”表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。4、開(kāi)抽速閥，過(guò)幾分鐘后開(kāi)冷規(guī)，表頭指針應(yīng)從左打向右，再?gòu)挠蚁蜃笾饾u上升(真空示值在1×10-2Pa以下請(qǐng)不要長(zhǎng)時(shí)間開(kāi)冷規(guī)，可等一會(huì)兒再開(kāi))，當(dāng)真空示值超過(guò)1×10-2Pa后，可啟動(dòng)燈絲，燈亮，“發(fā)射電流”有指示，開(kāi)、關(guān)漏孔檢查氦檢儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號(hào)指示Zda)，靈敏度達(dá)要求后關(guān)漏孔。將工件用外接泵抽上真空后，開(kāi)節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間，對(duì)工件噴氦檢漏。檢漏完，關(guān)節(jié)流閥。智能氦氣檢測(cè)機(jī)技術(shù)指導(dǎo)氦質(zhì)譜檢漏儀安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏。
氦質(zhì)譜檢漏儀的保養(yǎng)注意事項(xiàng)：1.如果儀器不是每天使用，建議每周開(kāi)機(jī)檢查一下，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空，縮短儀器使用時(shí)的開(kāi)機(jī)時(shí)間2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏。3.適時(shí)對(duì)儀器可能出現(xiàn)的泄漏處（如放氣閥等）進(jìn)行自身檢漏，發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)后要及時(shí)取下清洗或固緊，以免在檢漏時(shí)干擾檢漏工作。4.氦質(zhì)譜檢漏儀維修每隔一段時(shí)間保養(yǎng)油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）。5.禁止任何外來(lái)物掉在或?yàn)⒃诤べ|(zhì)譜檢漏儀上，尤其是進(jìn)氣口中，由于氦質(zhì)譜檢漏儀為高精度精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。
氦質(zhì)譜檢漏儀是對(duì)比性測(cè)試儀器，其工作原理是對(duì)進(jìn)入質(zhì)譜室的氦氣分子電離，轟擊靶心產(chǎn)生電離，并放大，通過(guò)電流大小的判斷氦氣分子的多少！進(jìn)入質(zhì)譜室氦氣分子的比例（分流比），還有電氣參數(shù)的不同，電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同；所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對(duì)應(yīng)的漏率是多少，需要參照物，這個(gè)參照物就是標(biāo)準(zhǔn)漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識(shí)：（1）前級(jí)真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護(hù)。氦檢儀的撿漏方法有哪些？
氦質(zhì)譜檢漏儀的泄漏測(cè)試后如果泄漏檢測(cè)氣體排放到泄漏檢測(cè)區(qū)域，背景濃度將在整個(gè)工作日持續(xù)增加。此外，在加注或排放過(guò)程中，確保沒(méi)有氣體溢出，并定期檢查連接件是否有泄漏。氦質(zhì)譜檢漏儀以其高靈敏度和準(zhǔn)確性而通常應(yīng)用于整體防漏等級(jí)較高的壓力容器上。影響氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度的因素包括實(shí)際檢測(cè)條件、輔助真空系統(tǒng)以及操作人員的技術(shù)等多方面。氦質(zhì)譜檢漏儀如何選擇檢漏方式，與檢測(cè)對(duì)象的工作環(huán)境有很大關(guān)系，盡量做到與檢測(cè)對(duì)象的工作狀態(tài)一致。如檢測(cè)對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于正壓，則用正壓模式，如檢測(cè)對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于負(fù)壓，則用真空模式。氦檢儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。智能氦氣檢測(cè)機(jī)技術(shù)指導(dǎo)
氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)每隔一段時(shí)間保養(yǎng)油泵。智能氦氣檢測(cè)機(jī)技術(shù)指導(dǎo)
氦質(zhì)譜檢漏儀操作步驟：1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級(jí)泵”，低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa，開(kāi)抽速閥，開(kāi)漏孔開(kāi)關(guān)，表頭示值也應(yīng)能抽到原來(lái)位置，再關(guān)抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴(kuò)散泵”，燈亮，擴(kuò)散泵開(kāi)始加熱。3、等20分鐘左右，擴(kuò)散泵排氣管應(yīng)熱，開(kāi)冷規(guī)開(kāi)關(guān)，“質(zhì)譜室壓強(qiáng)”表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。4、開(kāi)抽速閥，過(guò)幾分鐘后開(kāi)冷規(guī)，表頭指針應(yīng)從左打向右，再?gòu)挠蚁蜃笾饾u上升(真空示值在1×10-2Pa以下請(qǐng)不要長(zhǎng)時(shí)間開(kāi)冷規(guī)，可等一會(huì)兒再開(kāi))，當(dāng)真空示值超過(guò)1×10-2Pa后，可啟動(dòng)燈絲，燈亮，“發(fā)射電流”有指示，開(kāi)、關(guān)漏孔檢查氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號(hào)指示Zda)，靈敏度達(dá)要求后關(guān)漏孔。智能氦氣檢測(cè)機(jī)技術(shù)指導(dǎo)
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