氦檢儀的組成部分有哪些？真空系統(tǒng)，儀器的真空系統(tǒng)提供質(zhì)譜正常工作所需要的真空條件，不同型號的氦檢儀其真空系統(tǒng)有較大的差別。真空系統(tǒng)一般包括：1）主泵。一般用擴散泵或渦輪分子泵。極限壓力小于5×10-1Pa，其抽速應與氣載匹配。2）前級真空泵。一般采用旋片式機械真空泵，在以分子示為主泵的系統(tǒng)中，也有采用薄膜泵或干泵的。抽速與主泵匹配。3）預抽真空泵。一般與前級真空泵共同一個泵，預抽真空泵一般采用旋片式機械真空泵，其抽速視被檢件大小而定，因此預抽真空泵大都由用戶自配。氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的優(yōu)點。上海氦檢儀
選擇氦檢儀時主要考慮以下問題：（1）儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合正壓法檢漏；有些儀器沒有報廢漏率的設置功能，不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時應選擇有多工位的氦檢儀。（2）儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦檢儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認真選擇。（3）被檢件如果害怕油的污染，就應選擇無油真空系統(tǒng)的氦檢儀。（4）被檢件容積如果較大，必須選用預抽泵抽速大的氦檢儀，否則就要外加預抽泵。（5）如果被檢對象不固定，體積時大時小，靈敏度要求時高時低，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的氦檢儀。（6）如果檢漏地點不固定，需要經(jīng)常搬運儀器時，就要選擇小型便攜式儀器。（7）在滿足上述檢漏基本要求的基礎上，還要綜合考慮儀器的價格是否低、操作是否簡易、維修是否方便等方面的問題。智能氦檢機多少錢有些國家生產(chǎn)的氦檢儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果。
氦檢儀現(xiàn)已普遍應用于半導體設備檢漏。半導體設備及材料需要檢漏原因：1、半導體設備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設備。出現(xiàn)泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間，耗時耗力；2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染，對半導體的特性改變并破壞其性能，因此在半導體器件生產(chǎn)過程中必須進行氦質(zhì)譜檢漏；3、一些半導體設備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設備能及時抽走未反應氣體和氣態(tài)反應產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會失效。綜上所述，氦檢儀在半導體行業(yè)起著至關重要的作用。
氦檢儀的型號較多，但基本結(jié)構(gòu)大同小異。它主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣部分組成。質(zhì)譜室：不同類型的氦檢儀的質(zhì)譜室結(jié)構(gòu)大同小異，都是由離子源、分析器和收集器三部分組成，它們放在一個抽成高真空的質(zhì)譜室外殼中。1）離子源。離子源的作用是使氣體分子電離，形成一束具有一定能量的離子。它由燈絲（陰極）、離化室及離子加速極組成。2）分析器。分析器作用是使不同質(zhì)荷比的離子按不同軌跡運動，從而將它們彼此分開，只使氦離子通過其出口隙縫。分析器由一個外加均勻磁場及一個出口電極組成，磁場方向與離子束入射方向垂直。3）收集極。收集極是對準出口電極狹縫安裝的，其作用是收集穿過出口電極狹縫的氦離子并通過一個電阻輸入到小電流放大器進行離子流的放大和測量。由于氦離子一般只有10-13~10-12A，要使小電流放大器第1極輸入信號電壓足夠大，則輸入電阻必需很大（一般高于1010歐），第1級放大用的靜電計管必須要高度絕緣，所以把高阻及靜電計管放在高真空的質(zhì)譜室中。氦檢儀普遍應用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領域。
氦質(zhì)譜檢漏儀換燈絲步驟：當冷規(guī)指針已過1×10-2Pa，按燈絲啟動，燈很亮，發(fā)射電流無指示，量離子源插頭①②足不通，即為燈絲斷，燈絲壽命一般正常使用為1至3個月。1、停機換燈絲：可直接取下離子源更換燈絲，裝好后按正常開機步驟進行。2、不停機換燈絲：關冷規(guī)，關抽速閥，取離子源插頭，取下離子源，更換燈絲后裝上離子源，插離子源插頭，此時“加速電壓”示值不應有變化，“發(fā)射電流”示值應為零。如其中有一示值與上不符，則是離子源內(nèi)有短路，應取下排除。將閥開關由“前置”轉(zhuǎn)向“粗抽”(注意：閥開關在“粗抽”的時間不要超過五分鐘)，全開節(jié)流閥，等真空抽上后，關閉節(jié)流閥，將“粗抽”轉(zhuǎn)向“前置”，開抽速閥，開冷規(guī)，等真空過1×10-2Pa后可啟動燈絲，調(diào)氦峰。噴氦法、吸氦法是氦檢儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。智能氦檢機多少錢
氦質(zhì)譜檢漏儀的主要根據(jù)被檢漏設備的允許漏率為依據(jù)。上海氦檢儀
氦質(zhì)譜檢漏儀特點：1.檢測時間和周期非常短，可以達到5s以內(nèi)；2.檢測的介質(zhì)比較常用，只需壓縮空氣即可；3.不會受到主觀因素判斷的影響；4.檢測的數(shù)據(jù)精確；5.自動生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來源。氫質(zhì)譜檢漏儀能為不同的應用提供不同的測試方法，含有渦輪分子泵、內(nèi)置機械泵、外置機械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面，以及可選功能組件。氨質(zhì)譜檢漏儀在許多領域里得到普遍的應用，例如，在航空航天領域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、衛(wèi)星、飛機等這些都要用到真空檢漏技術。上海氦檢儀
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