氦質(zhì)譜檢漏儀性能試驗方法：1、反應(yīng)時間、消除時間及其測定，反應(yīng)時間是指儀器節(jié)流閥完全開啟，本底訊號為零(或補償?shù)搅?時，由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時間，記為τR。消除時間是指輸出儀表訊號穩(wěn)定到固定值后，停止送氦，其訊號下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的時間，記為τC。2、工作真空、極限真空及入口處抽速，質(zhì)譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用氦質(zhì)譜檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速。氦檢儀同時擁有兩種檢漏模式，真空模式及正壓模式，可根據(jù)客戶不同需求，選擇不同的檢漏方法。舟山真空氦檢儀
氦質(zhì)譜檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲，目前設(shè)備電子線路和電子元件的改進，使得電路噪聲已經(jīng)降得很低，因此氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲成為影響設(shè)備性能的主要因素。而其本底噪聲的產(chǎn)生主要是由于本底峰的不穩(wěn)定造成的，主要形成的原因包括：一、離子源中的發(fā)射電流、加速電壓以及分析器的電磁參數(shù)不穩(wěn)定。二、真空油脂、橡膠材料、有機絕緣材料都可吸附和再釋放出氦氣，而電離規(guī)，特別是磁放電真空規(guī)對氦有記憶效應(yīng)，其表面污染時就更為嚴重。三、抽氣系統(tǒng)中抽速不穩(wěn)定和氦的反擴散。四、氦質(zhì)譜檢漏儀中空氣的本底影響。為盡量消除氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲，需要針對性的采取措施，如減少采用有機材料，不用磁放電規(guī)等。無損氦檢設(shè)備費用氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進行細檢漏。
氦檢儀（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。專業(yè)用于電廠檢漏的氦檢儀。關(guān)鍵部件均為進口，性能穩(wěn)定可靠。不只靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準和自動量程切換。
氦檢儀產(chǎn)生測量誤差主要包括哪幾個方面？第1，當氦質(zhì)譜泄漏檢測器校準靈敏度時，標準泄漏的位置與檢測泄漏的位置不同，即標準泄漏與檢測泄漏檢測器之間的距離太大，在途中泄漏氦的損失不相等，導(dǎo)致進入檢測泄漏檢測器的氦量可比性差。第二，進入被檢漏孔和標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無法換算，這時也會產(chǎn)生漏率測量誤差。第三，所用標準漏孔的標稱漏率有誤差。第四，氦檢儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。第五，校準靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時，所用標準漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。第六，氦檢儀的性能不穩(wěn)定。第七，氦氣純度不穩(wěn)定或存在誤差。氦質(zhì)譜檢漏儀的的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。
氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點體現(xiàn)在以下幾個方面：（1）便攜式：很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。（3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調(diào)節(jié)零點，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的優(yōu)點。舟山真空氦檢儀
氦質(zhì)譜檢漏儀能夠?qū)崿F(xiàn)雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準和自動量程切換。舟山真空氦檢儀
氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜儀學(xué)原理，用氦氣作為搜索氣體制成的氣密性檢測儀器。氦質(zhì)譜檢漏儀電源電壓220V頻率50HZ額定功率2000W。儀器應(yīng)安裝在符合儀器使用的環(huán)境要求的場所，特別是儀器的電源插座，應(yīng)符合要求，要有良好的地線，左右要留有30CM的通風(fēng)間距。放置好氦質(zhì)譜檢漏儀，以避免儀器有傾斜或傾倒的危險。氦質(zhì)譜檢漏儀的底部有安裝孔，可以將其固定在桌子或支架上。在儀器運行前要確保真空泵中的機械泵油是否足夠，機械泵油必須用特定的針對機械泵型號的油。舟山真空氦檢儀
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