氦質(zhì)譜檢漏儀的注意事項(xiàng):1.設(shè)備應(yīng)在施工工作完成后進(jìn)行本測(cè)試,測(cè)試完成后不得進(jìn)行焊縫的修磨等。2.若設(shè)備被浸濕或有殘余的液體都會(huì)影響毛細(xì)管的泄漏而影響測(cè)試結(jié)果的真實(shí)性。3.因氦比空氣輕,因此要注意檢漏的順序,檢查順序應(yīng)依照由下而上,由近而遠(yuǎn)的順序進(jìn)行。4.檢漏過程中,如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)人質(zhì)譜檢漏儀,應(yīng)立即移去吸口,防止因儀器長(zhǎng)時(shí)間消除不掉氦影響而延誤測(cè)試。氦質(zhì)譜檢漏儀的特點(diǎn):1.操作方便:體積小,重量輕,結(jié)構(gòu)緊湊,操作面板簡(jiǎn)單;2.性能高:采用了進(jìn)口檢漏儀儀分了泵與高性能的質(zhì)譜系統(tǒng),靈敏度度高,響應(yīng)時(shí)間快,檢測(cè)壓強(qiáng)高;3.功能強(qiáng)大:多種模自動(dòng)切換,豐富的菜單選項(xiàng),具有權(quán)限管理功能。如果氦質(zhì)譜檢漏儀不是每天使用,建議每周開機(jī)檢查一下。金華臺(tái)式氦質(zhì)譜檢漏儀
氦質(zhì)譜檢漏儀常見的故障和處理:1、內(nèi)部的泄漏,當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時(shí),會(huì)對(duì)檢漏工作造成較大干擾,容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門組件、真空計(jì)與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點(diǎn),更換密封件。2、本底信號(hào)不穩(wěn)定,1)本底信號(hào)過高有可能是環(huán)境本底被污染,注意檢查室內(nèi)是否有氦氣源在泄漏,將室內(nèi)的門窗打開通風(fēng),降低環(huán)境本底。2)本底信號(hào)過高也有可能是因?yàn)橘|(zhì)譜室被污染。檢漏儀若經(jīng)常檢測(cè)含有油污、粉塵等雜質(zhì)較多的被檢件時(shí),質(zhì)譜室極易被污染,需返廠進(jìn)行清洗,本底信號(hào)不穩(wěn)定,檢查電源電壓是否穩(wěn)定,檢漏儀應(yīng)有可靠的接地。金華臺(tái)式氦質(zhì)譜檢漏儀氦質(zhì)譜檢漏儀作為一種測(cè)量?jī)x器。
氦質(zhì)譜檢漏儀開機(jī)如何操作?1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級(jí)泵”,低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa,開抽速閥,開漏孔開關(guān),表頭示值也應(yīng)能抽到原來位置,再關(guān)抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴(kuò)散泵”,燈亮,擴(kuò)散泵開始加熱。3、等20分鐘左右,擴(kuò)散泵排氣管應(yīng)熱,開冷規(guī)開關(guān),“質(zhì)譜室壓強(qiáng)”表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。4、開抽速閥,過幾分鐘后開冷規(guī),表頭指針應(yīng)從左打向右,再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請(qǐng)不要長(zhǎng)時(shí)間開冷規(guī),可等一會(huì)兒再開),當(dāng)真空示值超過1×10-2Pa后,可啟動(dòng)燈絲,燈亮,“發(fā)射電流”有指示,開、關(guān)漏孔檢查氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號(hào)指示Zda),靈敏度達(dá)要求后關(guān)漏孔。將工件用外接泵抽上真空后,開節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間,對(duì)工件噴氦檢漏。檢漏完,關(guān)節(jié)流閥。
氦質(zhì)譜檢漏儀是由離子源、分析器、收集器、冷陰極離子儀等組成的質(zhì)譜室、抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。氦質(zhì)譜檢漏儀是一種用氦氣作為示漏氣體進(jìn)行泄漏檢測(cè)的特定儀器,具有性能穩(wěn)定、靈敏度高等特點(diǎn)。在真空檢漏技術(shù)中,采用的是通用型檢漏儀器,具有較高的靈敏度。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。此檢測(cè)方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn),達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn):1.檢測(cè)時(shí)間和周期非常短,可以達(dá)到5s以內(nèi);2.檢測(cè)的介質(zhì)比較常用,只需壓縮空氣即可;3.不會(huì)受到主觀因素判斷的影響;4.檢測(cè)的數(shù)據(jù)精確。氦質(zhì)譜檢漏儀能夠雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換。
使用氦質(zhì)譜檢漏儀要注意哪些問題?1、切勿放空或溢出檢漏氣體至試漏區(qū),試漏中的可檢漏率與檢漏氣體的本底濃度關(guān)系甚大,盡管檢漏儀只檢測(cè)檢漏氣體的濃度變化,高的本底濃度還趨于出現(xiàn)高的波動(dòng)。如果在試漏后將檢漏氣體排放在試漏區(qū)內(nèi),那么在整個(gè)工作日內(nèi)本底濃度將不斷地增長(zhǎng)。此外,在充注或排放中要確保無氣體溢出,并定期檢查連接件是否有漏。2、充注檢漏氣體前先檢查大漏,在充注檢漏氣體前應(yīng)快速測(cè)試是否存在大漏。否則,從大漏孔中溢出的檢漏氣體將污染試漏區(qū)。大漏孔的簡(jiǎn)易測(cè)漏方法是將試件抽空,在短時(shí)間內(nèi)觀察是否保持抽空壓強(qiáng),如試件能保持抽空壓強(qiáng),則表明它不存在任何大漏孔,可充注檢漏氣體。維護(hù)氦質(zhì)譜檢漏儀可以利用附送的防護(hù)罩防止灰塵、水汽、油脂阻塞探頭。上海自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀售后服務(wù)
以往的氦質(zhì)譜檢漏儀操作非常輔助,而現(xiàn)在的觸屏式可自動(dòng)檢測(cè)。金華臺(tái)式氦質(zhì)譜檢漏儀
妤林JQ-3300型全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀是一款液晶觸摸彩屏顯示的全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀。主要配置采用檢漏儀定制產(chǎn)品。設(shè)備內(nèi)芯的制造借鑒國外先進(jìn)技術(shù),整機(jī)設(shè)計(jì)合理、性能穩(wěn)定。具有靈敏度高,反應(yīng)快,開機(jī)時(shí)間短等特點(diǎn)。檢漏效果達(dá)到國外先進(jìn)水平。電氣部件采用模塊式設(shè)計(jì),使維護(hù)更方便,信號(hào)干擾更少,檢漏效果更好。 放大器采用世界先進(jìn)技術(shù)的晶圓(原裝),相比老款設(shè)備使用的美國 AD 放大器,有效降低了檢漏儀本身的噪音,提高了檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間,靈敏度和檢漏效果。產(chǎn)品具有快速清理本底的功能。在一般檢漏情況下,本儀器不需要按下調(diào)零鍵,就能快速清理氦本底信號(hào),這一技術(shù)在國內(nèi)是創(chuàng)新。金華臺(tái)式氦質(zhì)譜檢漏儀
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