氦質(zhì)譜檢漏儀主要性能指標(biāo)試驗(yàn)方法：靈敏度、反應(yīng)時(shí)間、清理時(shí)間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評(píng)價(jià)氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)。反應(yīng)時(shí)間、清理時(shí)間及其測(cè)定：反應(yīng)時(shí)間是指儀器節(jié)流閥完全開(kāi)啟，本底訊號(hào)為零（或補(bǔ)償?shù)搅悖r(shí)，由恒定的氦流量使輸儀表訊號(hào)上升到值的（1-e-1）倍（即O.63）所需要的時(shí)間，記為τR。清理時(shí)間是指輸出儀表訊號(hào)穩(wěn)定到值后，停止送氦，其訊號(hào)下降到值的e-1倍（即O.37）所需要的時(shí)間，記為τC。工作真空、極限真空及入口處抽速，質(zhì)譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用檢漏儀的真空規(guī)可以測(cè)定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計(jì)可測(cè)定儀器入口處抽速。氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲高是什么原因？蘇州真空氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)
氦質(zhì)譜檢漏儀的日常保養(yǎng)與維護(hù)：1.如果儀器不是每天使用，建議每周開(kāi)機(jī)檢查一下，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空，縮短儀器使用時(shí)的開(kāi)機(jī)時(shí)間。2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏。3.適時(shí)對(duì)儀器可能出現(xiàn)的泄漏處（如放氣閥等）進(jìn)行自身檢漏，發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)后要及時(shí)取下清洗或固緊，以免在檢漏時(shí)干擾檢漏工作。4.檢漏儀維修每隔一段時(shí)間保養(yǎng)油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）。5.禁止任何外來(lái)物掉在或?yàn)⒃跈z漏儀上，尤其是進(jìn)氣口中，由于氦檢漏儀為高精度精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。只有經(jīng)過(guò)培訓(xùn)或有資格的設(shè)備維護(hù)工程師，才能使用此儀器。6.使用時(shí)，注意觀察儀器的運(yùn)行情況，一旦發(fā)現(xiàn)問(wèn)題（如較大振動(dòng)、高噪音等），儀器在運(yùn)行過(guò)程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中，若搬動(dòng)檢漏儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。馬上切斷電源，并排除故障。蘇州真空氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)氦質(zhì)譜檢漏儀雖然是因?yàn)檫x用氦氣作為示漏氣體而得名，但實(shí)際上涉及的示漏氣體包括氦氣、氫氣等。
氦質(zhì)譜儀檢漏儀通常用于電子組件的背壓檢測(cè)。在進(jìn)行泄漏檢測(cè)之前，用專(zhuān)門(mén)使用的加壓容器將氦氣加壓到試件中（壓力的大小由壓力和時(shí)間控制），然后取出試件，吹走表面以吸收氦氣，然后將其放置在專(zhuān)門(mén)使用的專(zhuān)門(mén)使用容器中。檢漏罐。泄漏檢測(cè)箱連接到泄漏檢測(cè)器的泄漏檢測(cè)端口，并排空泄漏檢測(cè)箱以執(zhí)行泄漏檢測(cè)。如果設(shè)備中存在泄漏，則被泄漏壓過(guò)的氦會(huì)釋放到泄漏檢測(cè)罐中到達(dá)質(zhì)譜儀管。用這種方法測(cè)得的泄漏率也是總泄漏率。將測(cè)試件連接到儀器的泄漏檢測(cè)端口以排空，并用裝滿(mǎn)氦氣的容器覆蓋測(cè)試件。如果測(cè)試件有泄漏，氦氣會(huì)通過(guò)泄漏進(jìn)入測(cè)試件，后到達(dá)質(zhì)譜儀管。檢測(cè)。測(cè)得的泄漏率是被測(cè)零件的總泄漏率。無(wú)法確定有多少泄漏以及每個(gè)泄漏的確切位置?？梢钥闯觯娬址ㄊ腔趪婌F法的檢漏法。
氦質(zhì)譜檢漏儀常見(jiàn)的檢漏法：1、負(fù)壓法檢漏，負(fù)壓法檢漏是將被檢件接到檢漏儀的檢測(cè)口，連續(xù)向可疑的漏孔噴射示蹤氣體，示蹤氣體通過(guò)漏孔進(jìn)入檢漏儀并被檢測(cè)。一般電子器件的外殼、高壓開(kāi)關(guān)管、氧化鋅、避雷器等都應(yīng)采用這種方法檢漏。2、正壓法檢漏，正壓法檢漏與負(fù)壓法檢漏相反，吸口接在檢漏儀的檢測(cè)口，而被檢件充入規(guī)定壓力的示蹤氣體，漏孔泄漏出來(lái)氦氣被吸入檢漏儀被檢測(cè)。大型容器或內(nèi)部放氣管量很大的容器做負(fù)壓檢漏很不經(jīng)濟(jì)，而且檢漏速度慢，一般采取正壓檢漏。3、壓氦法檢漏，壓氦法檢漏是將壓有一定壓力的示蹤氣體的被檢件放入檢漏夾具中，然后連至檢漏儀將其抽空，示蹤氣體通過(guò)漏孔泄漏出來(lái)，經(jīng)檢漏儀檢測(cè)總泄漏量。氦質(zhì)譜檢漏儀，顧名思義一般都會(huì)采用氦氣作為主要的示漏氣體。
?氦質(zhì)譜檢漏儀在真空度校驗(yàn)中的應(yīng)用：氦是一種惰性氣體，不會(huì)對(duì)設(shè)備產(chǎn)生腐蝕，不與真空器件起化學(xué)反應(yīng)，無(wú)毒，也不會(huì)污染環(huán)境，因此使用起來(lái)也十分安全。對(duì)容器環(huán)境和質(zhì)譜環(huán)境干擾較小，常作為泄漏氣體使用。在接有檢漏儀(即調(diào)整到只對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)的氣體剖析儀)的被檢容器上噴射該氣體，如果容器有漏孔，分析儀就會(huì)發(fā)出響聲，從而知道漏孔的位置和漏氣量。氦質(zhì)譜檢測(cè)泄漏技術(shù)是真空檢測(cè)領(lǐng)域中不可缺少的一項(xiàng)技術(shù)，由于其檢測(cè)效率高、簡(jiǎn)便易行、儀器反應(yīng)靈敏、準(zhǔn)確度高、不受其它氣體干擾等特點(diǎn)，在電阻爐檢測(cè)泄漏中被普遍應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)時(shí)間和響應(yīng)周期非常短，可以達(dá)到2s以?xún)?nèi)。無(wú)錫移動(dòng)式氦質(zhì)譜檢漏儀一臺(tái)多少錢(qián)
氦質(zhì)譜儀檢漏儀通常用于電子組件的背壓檢測(cè)。蘇州真空氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)
氦質(zhì)譜檢漏儀使用方法有哪些？背壓法，測(cè)總漏率，電子元器件進(jìn)行的氣密性檢測(cè)時(shí)常用背壓法。檢漏前用專(zhuān)門(mén)使用加壓容器向被檢件壓入氦氣(由壓力和時(shí)間控制壓入的量)，然后取出被檢件，吹去表面吸附氦后放入專(zhuān)門(mén)使用檢漏罐中，再將檢漏罐聯(lián)接到檢漏儀的檢漏口上，對(duì)檢漏罐抽真空，實(shí)施檢漏。若器件有漏，則通過(guò)該漏孔壓人的氦氣又釋放出來(lái)進(jìn)入檢漏罐，終到達(dá)質(zhì)譜管。用這種方法測(cè)得的漏率也是總漏率。輔助真空系統(tǒng)，對(duì)子漏氣速率和放氣速率較大或者體積較大的被檢件，若直接與檢漏儀相連，檢漏儀的真空度可能抽不上去，使檢漏儀無(wú)法工作。此種情況須加接輔助真空系統(tǒng)，提高對(duì)被檢件的抽速。蘇州真空氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)
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