氦質(zhì)譜檢漏儀操作注意事項：1、產(chǎn)品放入加壓罐中加壓時，不能直接拆除加壓罐。必須先把加壓罐里面的氣體排出才能打開。由于加壓罐中壓力比空氣中的壓力大以防造成一定的傷害因此在加壓過程中不能讓不相干的人員靠近并在加壓罐上方貼一個警告標識。2、氦氣減壓閥連接氣瓶接口處要鎖緊不能有松動情況。以防氣體沖擊帶來傷害。3、產(chǎn)品半檢漏時，按壓住的組件不能挪動或者強行扳開。以防氣體沖擊帶來傷害。4、在進行重氟油檢漏時，產(chǎn)品不能直接放進油箱中，而應把油箱中的托盤拿出，把產(chǎn)品放在其上在慢慢放入油中。以防止油飛濺燙傷。氦檢儀內(nèi)部配有一臺旋片式真空泵,用以維持儀器內(nèi)部的高真空。泰州氦檢儀大概價格多少
在使用氦檢儀時要如何保養(yǎng)？①如果儀器不是每天都使用，建議每周啟動并檢查一次，以保持儀器的高真空系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，在后期使用過程中可以縮短儀器的啟動時間。②儀器部件（如離子源）拆卸后，安裝過程中應避免在安裝現(xiàn)場發(fā)生泄漏，儀器可用于泄漏檢測。③及時對泄漏處（如放氣閥等）進行自檢。）可能出現(xiàn)在儀器上，并在發(fā)現(xiàn)泄漏點后及時移除、清潔或緊固，以免在泄漏檢測過程中干擾泄漏檢測。④氦檢儀維護定期維護油泵。（散熱口粉塵處理及泵油的檢查和更換）⑤嚴禁在氦檢儀上，尤其是進氣口處掉落或噴灑任何異物。由于氦檢儀是一種高精度儀器，其儲存和使用環(huán)境應保持清潔衛(wèi)生。只有經(jīng)過培訓或合格的設備維護工程師才能使用該儀器。⑥使用時，請注意儀器的操作。一旦出現(xiàn)大振動、高噪音等狀況時，儀器在操作過程中不能移動。渦輪分子泵正在高速運轉(zhuǎn)。如果泄漏檢測器移動，渦輪分子泵中的葉片將很容易與轉(zhuǎn)子的圓筒碰撞。立即切斷電源并排除故障，否則會對氦檢儀造成不良影響。北京氦檢儀廠家氦檢儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。
氦檢儀噴氦法檢測優(yōu)點：1．檢測靈敏度高，可精確定位。2．能實現(xiàn)大容器或復雜結構產(chǎn)品的檢漏。氦檢儀噴氦法法檢測標準：檢測標準主要有QJ3123-2000《氦質(zhì)譜真空檢漏方法》、GB／T15823-2009《氦泄漏檢驗》。氦檢儀噴氨法檢漏流程:1.將工件組裝好后，再使用相應的工裝，將工件連接到氦檢儀上。2.待確認連接OK后，按下氦檢儀“開始”按鍵，氦檢儀進入抽空檢漏狀態(tài)。3.觀察氦檢儀顯示屏上的顯示的本底值達到4.0×10-10Pa.m3/s.4.使用99.99%或999%的氨氣，對工件可疑漏點，進行噴氨檢測。5.每個可疑漏點，噴氨1秒，觀察氦檢儀本底值3-5秒。觀察氦檢儀本底值有沒有增加或氦檢儀是否有報警輸出。6.按照步驟5依次檢測其它可疑漏點。7.噴氨氣檢測順序是從上而下，先確認大漏點，8.檢測結束后，先按下氦檢儀“停止按鍵，待氦檢儀顯示屏出現(xiàn)待機畫面后，再拆卸工件。
提高氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度方法：1、盡量開大節(jié)流閥。2、盡量減小外接泵對工件的分流或采用不分流檢漏(當工件抽上真空后，關閉工件與外接泵之間的閥門)。3、將工件用塑料袋包扎，袋內(nèi)再充入氦氣，(但此法不能測出具體漏點)。4、使用液氮，全開節(jié)流閥，采用不分流檢漏，必要時可將抽速閥關小。氦質(zhì)譜檢漏儀日常維護：1、定期更換燈絲，清洗冷規(guī)。2、定期更換機械泵油，適時對機械泵加油。3、如加液氮，需定期清洗冷阱。4、拆卸氦質(zhì)譜檢漏儀部件后，安裝時要避免安裝處出現(xiàn)泄漏。5、適時對氦質(zhì)譜檢漏儀可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥)進行清洗，排除漏點。氦檢儀整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
氦質(zhì)譜檢漏儀性能試驗方法：1、反應時間、消除時間及其測定，反應時間是指儀器節(jié)流閥完全開啟，本底訊號為零(或補償?shù)搅?時，由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時間，記為τR。消除時間是指輸出儀表訊號穩(wěn)定到固定值后，停止送氦，其訊號下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的時間，記為τC。2、工作真空、極限真空及入口處抽速，質(zhì)譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用氦質(zhì)譜檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速。氦檢儀現(xiàn)已普遍應用于半導體設備檢漏。泰州氦檢儀大概價格多少
高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種，一個是離子流接收放大機輸出電路的噪聲，另一個是本底噪聲。泰州氦檢儀大概價格多少
氦檢儀的組成部分有哪些？真空系統(tǒng)：冷阱。分子泵型真空系統(tǒng)一般不加冷阱。擴散泵型真空系統(tǒng)的冷阱加在質(zhì)譜室、檢漏口與擴散泵之間，使三者被冷阱隔離，冷阱加入液氮后便可阻止擴散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進入質(zhì)譜室，保持質(zhì)譜室的清潔，并幫助擴散泵迅速獲得較高真空。檢漏閥。按在質(zhì)譜室和被檢件之間的管道上。真空規(guī)。一般采用冷陰極磁控放電真室規(guī)來測量質(zhì)譜室中的壓力。也有用電阻規(guī)或熱偶規(guī)測量被檢件的預抽壓力和系統(tǒng)的前級壓力的。標準漏孔。一般儀器內(nèi)都附有標準漏孔，用它來校準儀器的較小可檢漏率和對儀器輸出指示進行定標。泰州氦檢儀大概價格多少
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