四川氦質(zhì)譜檢漏儀檢修

來源: 發(fā)布時間:2022-08-18

氦質(zhì)譜檢漏儀是一種用氦氣作為示漏氣體進行泄漏檢測的專門使用儀器,具有性能穩(wěn)定、靈敏度高等特點。在真空檢漏技術(shù)中,采用的是通用型檢漏儀器,具有較高的靈敏度。氦質(zhì)譜檢漏儀是磁偏轉(zhuǎn)式質(zhì)譜分析儀。是一種靈敏度較高的儀器,普遍應(yīng)用于檢測各種真空系統(tǒng)和零件的漏電,具有很好的實用價值。雙層串聯(lián)磁偏變裝置與單層磁偏變裝置相比,背景噪聲明顯降低,適用于超真空系統(tǒng)、元件和部件的檢漏。逆電流式氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局,將檢件放置在檢漏儀主抽泵的前級部位,因而具有在高壓條件下能檢漏,不會造成液氮污染和質(zhì)譜室污染等特點.適用于對大漏率、真空環(huán)境衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏。氦質(zhì)譜檢漏儀具有檢測速度快、檢測靈敏度高、抗干擾能力強等特點。四川氦質(zhì)譜檢漏儀檢修

氦質(zhì)譜檢漏儀產(chǎn)品概述:產(chǎn)品外觀:精心設(shè)計、外觀新穎、美觀大方、堅固耐用。操作簡便:體積小、重量適中、結(jié)構(gòu)合理、操作簡便、人性化面板。操作系統(tǒng):結(jié)合應(yīng)用領(lǐng)域的產(chǎn)品特性,控制系統(tǒng)可以根據(jù)客戶需求定制。性能好:部件采用進口器件,響應(yīng)時間快、測量范圍寬、靈敏度高、檢漏快速。功能強大:菜單設(shè)置選項豐富,多重權(quán)限管理控制,多種檢漏模式自動切換。多種接口:具有RS485/232,外觀IO設(shè)計,外部規(guī)管標準接口??煽啃愿撸翰捎每寡趸瘡姷难趸愩灍艚z提高燈絲壽命,降低熱量,極強的保護功能。檢漏精確:采用氦質(zhì)譜室與重要部件,確保檢漏精確。四川氦質(zhì)譜檢漏儀檢修氦質(zhì)譜檢漏儀能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準和自動量程切換。

氦質(zhì)譜檢漏儀日常維護:1、工件要保持清潔、干燥。2、對工件噴氦應(yīng)按以下順序進行:①從上往下。②從靠近測試口到遠離測試口。3、噴氦時應(yīng)經(jīng)常檢查噴口是否有氦氣噴出。4、檢完工件,必須將“節(jié)流閥”關(guān)閉,才能取工件。5、對同一工件,如有兩處以上漏點,應(yīng)排除大的漏點后,再對其它地方檢漏。6、裝工件時應(yīng)使連接處密封好,不能有漏。7、檢漏間應(yīng)通風良好,避免氦氣濃度增高,但應(yīng)避免強通風。8、氦氣屬貴重氣體,應(yīng)避免泄漏浪費。9、定期更換燈絲,清洗冷規(guī)。10、適時對氦質(zhì)譜檢漏儀可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥)進行清洗,排除漏點。

氦質(zhì)譜檢漏儀是由離子源、分析器、收集器、冷陰極離子儀等組成的質(zhì)譜室、抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。氦質(zhì)譜檢漏儀是一種用氦氣作為示漏氣體進行泄漏檢測的特定儀器,具有性能穩(wěn)定、靈敏度高等特點。在真空檢漏技術(shù)中,采用的是通用型檢漏儀器,具有較高的靈敏度。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進行細檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點,達到了細檢漏的目的。氦質(zhì)譜檢漏儀特點:1.檢測時間和周期非常短,可以達到5s以內(nèi);2.檢測的介質(zhì)比較常用,只需壓縮空氣即可;3.不會受到主觀因素判斷的影響;4.檢測的數(shù)據(jù)精確。禁止任何外來物掉在或灑在氦質(zhì)譜檢漏儀上,尤其是進氣口中。

影響氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度的因素有哪些?第1,氦質(zhì)譜檢漏儀在校準靈敏度時,標準漏孔的位置不同于被檢漏孔的位置,即標準漏孔與被檢漏孔到檢漏儀的距離相差太大,泄漏氦氣的損失在途中不同,會導(dǎo)致進入檢漏儀的氦量可比性差。第二,是進入被檢漏孔與標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等,或無法準確給出氦氣壓力和分壓比值,導(dǎo)致無法轉(zhuǎn)換,此時也會產(chǎn)生漏率測量誤差。第三,標準漏孔的標稱漏率有誤差。第四,是氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示與泄漏率線性關(guān)系差。第五,在校準靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時,標準漏孔的氣流特性與被檢漏孔不同。第六,檢漏儀性能不穩(wěn)定;第七,氦氣純度不穩(wěn)定或有誤差;第八,之后是檢漏操作人員的因素,包括素質(zhì)、責任感、技術(shù)水平和工作經(jīng)驗。影響氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度的因素有哪些?四川氦質(zhì)譜檢漏儀檢修

氦質(zhì)譜檢漏儀多種大漏保護模式,充分保護離子源不被氧化和暴漏大氣時分子泵不被沖擊。四川氦質(zhì)譜檢漏儀檢修

氦質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高,用得比較普遍的檢漏儀器。氦質(zhì)譜檢漏儀的性能、特性好壞取決于質(zhì)譜分析室。質(zhì)譜分析室的工作原理是對離子源氣體進行電離,電離出來的正離子經(jīng)過電場加速聚焦通過縫隙進入均勻磁場,離子束在磁場力的作用下,旋轉(zhuǎn)180o或90o按一定軌跡到達收集極,此種形式稱之為磁性偏轉(zhuǎn)分析形式。然后,經(jīng)小電流放大器、微處理器,控制器等線路處理直至液晶屏顯示出讀數(shù)的大小。四川氦質(zhì)譜檢漏儀檢修

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