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氦質(zhì)譜檢漏儀主要性能指標(biāo)試驗(yàn)方法:靈敏度、反應(yīng)時(shí)間、清理時(shí)間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評(píng)價(jià)氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)。反應(yīng)時(shí)間、清理時(shí)間及其測(cè)定:反應(yīng)時(shí)間是指儀器節(jié)流閥完全開(kāi)啟,本底訊號(hào)為零(或補(bǔ)償?shù)搅悖r(shí),由恒定的氦流量使輸儀表訊號(hào)上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時(shí)間,記為τR。清理時(shí)間是指輸出儀表訊號(hào)穩(wěn)定到值后,停止送氦,其訊號(hào)下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的時(shí)間,記為τC。工作真空、極限真空及入口處抽速,質(zhì)譜室極限真空,尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用檢漏儀的真空規(guī)可以測(cè)定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計(jì)可測(cè)定儀器入口處抽速。氦質(zhì)譜檢漏儀堅(jiān)固耐用,抗震性能好。溫州便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)
氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo):1、可檢漏率:即氦質(zhì)譜檢漏儀所能檢出的漏孔的漏率。2、響應(yīng)(消除)時(shí)間:指一定流量的探索氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀后,電子和真空系統(tǒng)需要一定的響應(yīng)時(shí)間,漏率指示才能達(dá)到較大值;反之,停止供氣后,漏率指示不能立即回零,需要一定時(shí)間的下降過(guò)程,通常由于氦氣的吸附和脫附作用,消除時(shí)間稍長(zhǎng)于響應(yīng)時(shí)間。3、啟動(dòng)時(shí)間:指氦質(zhì)譜檢漏儀自接通電源到能進(jìn)行檢漏的時(shí)間。要注意使用的環(huán)境。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的生產(chǎn)、檢測(cè),都是在20-25℃的室溫下進(jìn)行。尤其有些標(biāo)準(zhǔn)漏孔,對(duì)溫度特別敏感。溫度每變化1℃,標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率就有3%以上的誤差。例如,夏天,室溫達(dá)到30℃,這種標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率誤差增加30%。浙江全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢(qián)氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。
氦質(zhì)譜檢漏儀的使用方法:1、氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù),由于檢漏效率高,簡(jiǎn)便易操作,儀器反應(yīng)靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了普遍應(yīng)用。2、是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。3、質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子,在室內(nèi)來(lái)回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)人磁場(chǎng)。4、由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。噴氦法、吸氦法是在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。
氦質(zhì)譜檢漏儀有哪些結(jié)構(gòu)?電氣系統(tǒng),氦質(zhì)譜儀電氣部分的重點(diǎn)是質(zhì)譜室的供電和測(cè)量,其他部分包括真空系統(tǒng)的電源與控制部分,操縱面板及輸出儀表等。主要含有小電流放大器及輸出裝置、低頻發(fā)生器、高壓整流器及發(fā)射電流穩(wěn)定裝置、高壓整流器供給冷陰極磁控規(guī)電源。質(zhì)譜室,形象的說(shuō),質(zhì)譜室是氦質(zhì)譜檢漏儀的心臟,由離子源、分析器和電氣系統(tǒng)三個(gè)部分組成,并將冷陰極磁控規(guī)也放在其內(nèi),共用其磁場(chǎng)。為了有利于微小的粒子流放大,將一級(jí)放大用高阻及靜電計(jì)管也放在質(zhì)譜室之內(nèi)。質(zhì)譜室殼由非磁性材料制成,內(nèi)部抽空,而外部設(shè)置成磁鐵形成磁分析器的磁場(chǎng)。氦質(zhì)譜檢漏儀可以切實(shí)提高汽泵小機(jī)真空系統(tǒng)的檢漏效率。
氦質(zhì)譜檢漏儀常見(jiàn)的故障和處理:1、內(nèi)部的泄漏,當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時(shí),會(huì)對(duì)檢漏工作造成較大干擾,容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門(mén)組件、真空計(jì)與閥門(mén)組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點(diǎn),更換密封件。2、本底信號(hào)不穩(wěn)定,1)本底信號(hào)過(guò)高有可能是環(huán)境本底被污染,注意檢查室內(nèi)是否有氦氣源在泄漏,將室內(nèi)的門(mén)窗打開(kāi)通風(fēng),降低環(huán)境本底。2)本底信號(hào)過(guò)高也有可能是因?yàn)橘|(zhì)譜室被污染。檢漏儀若經(jīng)常檢測(cè)含有油污、粉塵等雜質(zhì)較多的被檢件時(shí),質(zhì)譜室極易被污染,需返廠進(jìn)行清洗,本底信號(hào)不穩(wěn)定,檢查電源電壓是否穩(wěn)定,檢漏儀應(yīng)有可靠的接地。氦質(zhì)譜檢漏儀適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏。浙江全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢(qián)
氦質(zhì)譜檢漏儀相比于傳統(tǒng)檢漏方法有哪些優(yōu)勢(shì)?溫州便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)
氦質(zhì)譜檢漏儀可采用干式泵,達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果,為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。5.檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不但可檢測(cè)氦氣,而且能檢測(cè)其它氣體。在獲得氦氣信號(hào)值的基礎(chǔ)上,通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)的泄漏量比較,可以得到氦氣的泄漏量。氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門(mén)用于檢漏的儀器。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高,用得比較普遍的檢漏儀器。溫州便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)
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