氦質(zhì)譜檢漏儀背壓法原理：采用背壓法檢漏時(shí)，首先將被檢產(chǎn)品置于高壓的氦氣室中，浸泡數(shù)小時(shí)或數(shù)天，如果被檢產(chǎn)品表面有漏孔，氦氣便通過漏孔壓入被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔中，使內(nèi)部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產(chǎn)品，將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產(chǎn)品放入與檢漏儀相連的真空容器內(nèi)，被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔內(nèi)的氦氣會通過漏孔泄漏到真空容器，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率測量。檢漏儀給出的漏率值為測量漏率，需要通過換算公式計(jì)算出被檢產(chǎn)品的等效標(biāo)準(zhǔn)漏率。背壓法的優(yōu)點(diǎn)是檢測靈敏度高，能實(shí)現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測，可以進(jìn)行批量化檢測。氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點(diǎn)有便攜性、高壓強(qiáng)下檢漏、高度自動化、完全無油的干式檢漏。蘇州自動氦質(zhì)譜檢漏儀大概多少錢
氦質(zhì)譜檢漏儀使用方法有哪些？背壓法，測總漏率，電子元器件進(jìn)行的氣密性檢測時(shí)常用背壓法。檢漏前用專門使用加壓容器向被檢件壓入氦氣(由壓力和時(shí)間控制壓入的量)，然后取出被檢件，吹去表面吸附氦后放入專門使用檢漏罐中，再將檢漏罐聯(lián)接到檢漏儀的檢漏口上，對檢漏罐抽真空，實(shí)施檢漏。若器件有漏，則通過該漏孔壓人的氦氣又釋放出來進(jìn)入檢漏罐，終到達(dá)質(zhì)譜管。用這種方法測得的漏率也是總漏率。輔助真空系統(tǒng)，對子漏氣速率和放氣速率較大或者體積較大的被檢件，若直接與檢漏儀相連，檢漏儀的真空度可能抽不上去，使檢漏儀無法工作。此種情況須加接輔助真空系統(tǒng)，提高對被檢件的抽速。蘇州自動氦質(zhì)譜檢漏儀大概多少錢氦質(zhì)譜檢漏儀雖然是因?yàn)檫x用氦氣作為示漏氣體而得名，但實(shí)際上涉及的示漏氣體包括氦氣、氫氣等。
氦質(zhì)譜儀的泄漏檢測方法通常有兩種，一種是常規(guī)泄漏檢測，另一種是反向擴(kuò)散泄漏檢測。反向擴(kuò)散泄漏檢測是將測試件連接到分子泵出氣口的末端，并且泄漏的氦氣從分子泵出氣口進(jìn)入安裝在泵進(jìn)氣口的質(zhì)譜儀管中，方向相反。泵排氣。這種泄漏檢測方法基于以下事實(shí)：分子泵對不同的氣體質(zhì)量具有不同的壓縮率（分子泵出口處的氣壓與入口處的壓力之比），即不同氣體的反向擴(kuò)散。反向擴(kuò)散法檢漏可以使試件的內(nèi)部壓力更高。氦質(zhì)譜儀檢漏儀可達(dá)到300Pa（通常傳統(tǒng)檢漏儀小于0.05Pa），適用于檢測大型容器或泄漏較大的設(shè)備。泄漏。反向擴(kuò)散法還具有不易污染質(zhì)譜儀管且燈絲壽命長的優(yōu)點(diǎn)。
氦質(zhì)譜檢漏儀常用的檢漏方法：1、噴氦法，這是比較常用的一種方法，一般用于檢測體積相對較小的部件，將被檢器件和儀器連通，在抽好真空后，在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭，焊縫等)噴氦，如果被檢器件某處有漏孔，當(dāng)氦噴到漏孔上時(shí)，氦氣立即會被吸入到真空系統(tǒng)，從而擴(kuò)散到質(zhì)譜室中，氦質(zhì)譜檢漏儀的輸出就會立即有響應(yīng)。2、吸氦法，吸氦法主要用于檢查某些大型密封容器。如導(dǎo)彈彈體、彈頭、氣罐、油罐等，先將容器抽真空，再給容器充入氦氣(為了節(jié)省用氦量，可以用低濃度氦氣)，在氦質(zhì)譜檢漏儀的進(jìn)氣法蘭處接上橡皮管，橡皮管的前端有直徑很小的毛細(xì)管，使毛細(xì)管在充了氦的被檢容器外壁的焊縫和密封接頭等處移動，如果該容器有漏隙，經(jīng)漏隙滲出的氦會被毛細(xì)管吸入，檢漏儀就會響應(yīng)。氦質(zhì)譜檢漏方法是基于氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓測量原理。
氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點(diǎn)集中在以下幾個(gè)方面:(1)便攜性:許多小型便攜式檢漏儀不只靈敏度高，而且便于攜帶，為野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了極大的便利。(2)高壓強(qiáng)下檢漏:檢漏口的壓力可高達(dá)數(shù)百帕，對于檢測大系統(tǒng)和泄漏工件非常有用。(3)高度自動化：氦峰自動標(biāo)定，零點(diǎn)自動調(diào)整，量程自動轉(zhuǎn)換，數(shù)據(jù)自動處理，可外接打印機(jī)。全機(jī)由微電腦控制，具有選菜功能，一鍵完成全檢漏過程。(4)完全無油的干式檢漏:一些國家生產(chǎn)的檢漏儀可以采用干式泵，達(dá)到無油蒸汽的效果，為無油系統(tǒng)、晶片等半導(dǎo)體器件的檢漏提供了有利條件。為適應(yīng)檢漏口壓力的變化和對靈敏度的不同要求，分子泵一般采用多段結(jié)構(gòu)，多速。如果改變分子泵的轉(zhuǎn)速，可以達(dá)到這個(gè)目的，提高檢漏靈敏度。此外，反擴(kuò)散檢漏方法實(shí)現(xiàn)了高壓強(qiáng)下檢漏，也為正壓吸口檢漏提供了良好的條件。氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。蘇州自動氦質(zhì)譜檢漏儀大概多少錢
氦質(zhì)譜檢漏儀有哪些結(jié)構(gòu)？蘇州自動氦質(zhì)譜檢漏儀大概多少錢
氦質(zhì)譜檢漏儀背壓法檢漏的注意事項(xiàng)：檢漏過程會有以下現(xiàn)象：1.氦質(zhì)譜檢漏儀只能檢測微漏的工件；大漏的工件，在清氦過程，壓入內(nèi)部的氦氣就可能泄露出來，在氦檢時(shí)就檢測不到氦氣漏出。2.工件清氦后，放置待檢時(shí)間不要超過1小時(shí)，防止壓入的氦氣漏出。3.實(shí)驗(yàn)測試時(shí)是單獨(dú)檢測工件；批量檢測時(shí)檢漏儀的本底值會成倍的大于單獨(dú)檢測的本底值。4.批量檢測時(shí)，發(fā)現(xiàn)有漏件，可以逐漸減半的方式，找到具體的漏件。5.每次檢測時(shí)，可以空檢檢漏罐并記錄相應(yīng)的漏率值，做為檢測的對比參數(shù)。氦質(zhì)譜檢漏儀從以往的單方面領(lǐng)域的應(yīng)用到現(xiàn)在多領(lǐng)域的應(yīng)用，如：航空航天高科技工業(yè)、電力行業(yè)、電子行業(yè)、真空儀器儀表行業(yè)、核工業(yè)、制冷行業(yè)、不銹鋼保溫器皿等。蘇州自動氦質(zhì)譜檢漏儀大概多少錢
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